ATM機(jī)知識(shí)培訓(xùn)課程

1、歡迎進(jìn)入歡迎進(jìn)入atm機(jī)知識(shí)培訓(xùn)課堂機(jī)知識(shí)培訓(xùn)課堂 atm機(jī)知識(shí)培訓(xùn)機(jī)知識(shí)培訓(xùn) 一、一、atmatm機(jī)器開(kāi)關(guān)機(jī)知識(shí)機(jī)器開(kāi)關(guān)機(jī)知識(shí)二、二、atmatm機(jī)器測(cè)試基礎(chǔ)知識(shí)機(jī)器測(cè)試基礎(chǔ)知識(shí)三、機(jī)檢流程與內(nèi)容三、機(jī)檢流程與內(nèi)容四、機(jī)檢型號(hào)轉(zhuǎn)換與注意事項(xiàng)四、機(jī)檢型號(hào)轉(zhuǎn)換與注意事項(xiàng)五、機(jī)檢異常情況與處理方法五、機(jī)檢異常情況與處理方法六、六、atmatm日常保養(yǎng)日常保養(yǎng)一、一、atmatm機(jī)器開(kāi)關(guān)機(jī)知識(shí)機(jī)器開(kāi)關(guān)機(jī)知識(shí)開(kāi)關(guān)開(kāi)關(guān)機(jī)鍵機(jī)鍵備注：1、開(kāi)/關(guān)機(jī)鍵，時(shí)間間隔15s。2、atm機(jī)關(guān)機(jī)時(shí)間過(guò)長(zhǎng)無(wú)法正常復(fù)位時(shí)，正面主機(jī)上有一個(gè)reset復(fù)位小孔，用回形針頂一下，若還無(wú)法復(fù)位，將所有模塊分別關(guān)閉完全后，將主機(jī)電源

2、關(guān)閉，待十分鐘再開(kāi)。二、二、atmatm機(jī)器測(cè)試基礎(chǔ)知識(shí)機(jī)器測(cè)試基礎(chǔ)知識(shí)a) a)atmatm檢測(cè)機(jī)器簡(jiǎn)介檢測(cè)機(jī)器簡(jiǎn)介1、6大測(cè)試模塊2、上料盒3、下料盒b)b)atmatm檢測(cè)機(jī)器校準(zhǔn)操作步驟及流程檢測(cè)機(jī)器校準(zhǔn)操作步驟及流程1、電阻率/厚度校準(zhǔn)操作步驟及流程2、少子壽命校準(zhǔn)操作步驟及流程3、ttv校準(zhǔn)操作步驟及流程1. 1.atmatm測(cè)試機(jī)器簡(jiǎn)介測(cè)試機(jī)器簡(jiǎn)介測(cè)試模塊簡(jiǎn)介測(cè)試模塊簡(jiǎn)介主界面主界面下料盒設(shè)置下料盒設(shè)置1、裂紋、孔洞測(cè)試模塊測(cè)試界面2、少子壽命測(cè)試模塊測(cè)試界面3、外觀測(cè)試模塊測(cè)試界面4、電阻率測(cè)試模塊測(cè)試界面5、ttv測(cè)試模塊測(cè)試界面、外觀測(cè)試模塊測(cè)試界面主界面?zhèn)渥ⅲ?、顯示各測(cè)

3、試模塊信息；2、顯示各下料盒內(nèi)數(shù)據(jù)；3、顯示atm機(jī)異常信息；下料盒設(shè)置備注：1、電阻率0.5-32、電阻率0.5-33、電阻率3-64、未響應(yīng)（重測(cè)）備注：5、裂紋、孔洞6、ttv不良7、其他不良8、未響應(yīng)（重測(cè)）2. 2.atmatm測(cè)試機(jī)器校準(zhǔn)測(cè)試機(jī)器校準(zhǔn)步驟及流程步驟及流程stopstoprecorderrecorderautosettingautosetting少子壽命校準(zhǔn)：少子壽命校準(zhǔn)：ctrl兩下 2 enter進(jìn)入2號(hào)模塊步驟：步驟：1. 進(jìn)入2號(hào)模塊：點(diǎn)擊stop進(jìn)入recorder 放入正常硅片點(diǎn)擊autosetting測(cè)試；2. 測(cè)試完畢后取回硅片，點(diǎn)擊 star正常測(cè)試

4、。注：少子壽命每班需校準(zhǔn)一次。2. 2.atmatm測(cè)試機(jī)器校準(zhǔn)測(cè)試機(jī)器校準(zhǔn)電阻率及厚度校準(zhǔn)：電阻率及厚度校準(zhǔn)：1) ctrl兩下 2 enter進(jìn)入4號(hào)模塊，點(diǎn)擊stop2)點(diǎn)擊calibrate thickness（校準(zhǔn)厚度），在隨后彈出的界面中輸入標(biāo)片的厚度數(shù)值，點(diǎn)擊“ok”，并查看校準(zhǔn)厚度值是否在此范圍內(nèi)，若在此范圍內(nèi)需記錄其校準(zhǔn)值，若不在此范圍內(nèi)需重新校準(zhǔn)。3)電阻率校準(zhǔn)：取出標(biāo)片 再將標(biāo)片置于電阻率探頭下 點(diǎn)擊compensate resistivity(補(bǔ)償電阻）點(diǎn)擊new。4)點(diǎn)擊calibrate resistivity(校準(zhǔn)電阻）輸入電阻率標(biāo)準(zhǔn)值點(diǎn)擊ok并查看電阻率值是否在

5、此范圍內(nèi)，若在此范圍內(nèi)需記錄其校準(zhǔn)值，若不在需重新校準(zhǔn)拿出標(biāo)片。5)點(diǎn)擊options(選項(xiàng)）點(diǎn)擊save measurement options(保存測(cè)量選項(xiàng)） 輸入校準(zhǔn)時(shí)間.6)校準(zhǔn)完成后需點(diǎn)擊star。注意事項(xiàng)：注意事項(xiàng)： 放置標(biāo)片校準(zhǔn)時(shí)需與探頭對(duì)齊，否則影響其準(zhǔn)確性，厚度校準(zhǔn)區(qū)域勿與電阻率校準(zhǔn)區(qū)域混淆。 厚度校準(zhǔn)誤差值： 2um 電阻率校準(zhǔn)誤差值： 0.1 歐姆.厘米 校準(zhǔn)時(shí)間：每班校準(zhǔn)一次ttvttv校準(zhǔn)：校準(zhǔn)： 1） ctrl兩下 2 enter進(jìn)入第五模塊 點(diǎn)擊stop 點(diǎn)擊settings 擊password 輸入密碼12345。settingssettings輸入輸入密碼密碼

6、2 2）點(diǎn)擊newcalibration 找到相應(yīng)校準(zhǔn)文件（04/05）3） 放入校準(zhǔn)（04/05），標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)區(qū)域?qū)?zhǔn)模塊的三條紅外線。注意：儀器上的三個(gè)光點(diǎn)必須與標(biāo)片上的三點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)。4）連續(xù)點(diǎn)擊ok 十次 取出校準(zhǔn)片備注：備注：1、標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)區(qū)域應(yīng)對(duì)準(zhǔn)紅外線放置，否則影響其校準(zhǔn)準(zhǔn)確性；2、 04、05校準(zhǔn)片取用校準(zhǔn)時(shí)，應(yīng)一一對(duì)應(yīng)，勿混淆；3、校準(zhǔn)完畢后應(yīng)將此模塊關(guān)閉，再重新打開(kāi)測(cè)試，否則測(cè)試不出；三、三、atmatm檢測(cè)流程與內(nèi)容檢測(cè)流程與內(nèi)容a.a.每班上班檢驗(yàn)前應(yīng)做：每班上班檢驗(yàn)前應(yīng)做：1.查看下料盒是否與盒外標(biāo)識(shí)一致，如不一致應(yīng)及時(shí)將其更改過(guò)來(lái)；2.查看本班檢驗(yàn)的硅片供應(yīng)商及型號(hào)是否與

7、上個(gè)班檢驗(yàn)的一致，如一致就正常檢驗(yàn)，如不一致應(yīng)更改成本班硅片測(cè)試的型號(hào)及下料盒數(shù)量等；3.將所有測(cè)試模塊內(nèi)數(shù)據(jù)關(guān)閉清零，以便于記錄測(cè)試新數(shù)據(jù)；4.進(jìn)入4號(hào)模塊內(nèi)，對(duì)電阻率進(jìn)行保存（例如： jiang xi jing ke 125s-165 100000 c)；5.校準(zhǔn)電阻率、厚度、并如實(shí)填寫(xiě)校準(zhǔn)記錄；6.校準(zhǔn)少子壽命；7.如本班是周二（白班）應(yīng)對(duì)機(jī)器進(jìn)行周保養(yǎng)及對(duì)ttv的校準(zhǔn)； 上料檢驗(yàn)前；備注：備注：a. 檢驗(yàn)前，先確認(rèn)，來(lái)料規(guī)格與機(jī)器的檢測(cè)的規(guī)格是否一致，若一致，繼續(xù)下一步；若不一致，需進(jìn)行規(guī)格型號(hào)的切換/參數(shù)的更改，確認(rèn)信息統(tǒng)一后，方可進(jìn)行；b. 上料前，先進(jìn)行硅片外觀的大體檢驗(yàn)，若有不

8、良，挑選出放入不良品分選盒內(nèi)，并標(biāo)識(shí)相關(guān)信息（類(lèi)型、數(shù)量）；若無(wú)，進(jìn)行下一步；上料盒上料吸片機(jī)械臂不良品分選盒檢驗(yàn)流程及注意事項(xiàng)備注：備注：a. 上料時(shí)，應(yīng)將手拿的硅片對(duì)準(zhǔn)上料盒，避免硅片與盒子碰撞，造成人為缺角、碎片；b. 上料時(shí)，應(yīng)用小紙折成角度，拿硅片時(shí)，避免人為造成臟污片；c. 上料時(shí)，每次上料數(shù)量控制在100-150片內(nèi)； 上料時(shí)；白紙白紙 檢驗(yàn)中備注：備注：a. 檢驗(yàn)中，1號(hào)模塊，測(cè)試硅片的裂紋、孔洞；b. 每次檢測(cè)硅片前先確定一下，機(jī)器測(cè)試模塊的硬件是否處于工作狀態(tài)（如：測(cè)試的燈泡是否工作），若不工作應(yīng)根據(jù)正規(guī)操作手法，將其更換，保證其工作狀態(tài)（或通知設(shè)備進(jìn)行維修）； c. 每次

9、檢測(cè)前點(diǎn)檢確認(rèn)一下設(shè)備是否可正常測(cè)試出不良，若可以，繼續(xù)檢驗(yàn)；若不可以，應(yīng)及時(shí)通知設(shè)備進(jìn)行維修；裂紋/孔洞1備注：備注：a. 2號(hào)模塊測(cè)試少子壽命；b. 測(cè)試前需對(duì)2號(hào)模塊進(jìn)行校準(zhǔn)，根據(jù)校準(zhǔn)操作指導(dǎo)流程進(jìn)行；c. 若檢測(cè)的過(guò)程中，發(fā)現(xiàn)有少子壽命不良的硅片，應(yīng)將少子壽命再校準(zhǔn)一下，避免測(cè)試錯(cuò)誤；少子壽命少子壽命2備注：備注：a. 3號(hào)模塊測(cè)試硅片外觀的正面（是否存在硅晶脫落、崩邊等）；b. 準(zhǔn)備機(jī)檢時(shí)，需先確認(rèn)其模塊內(nèi)設(shè)置的各項(xiàng)參數(shù)是否與測(cè)試規(guī)格相符，若符合，繼續(xù)；若不符合，需進(jìn)行參數(shù)調(diào)整；c. 上機(jī)進(jìn)行檢測(cè)的硅片，上料前需確認(rèn)是否存在機(jī)器測(cè)試不出的不良（如：臟污、色差等）；外觀外觀3備注：備注

10、：a. 號(hào)模塊對(duì)硅片（電阻率、p/n型、厚度）進(jìn)行檢測(cè)；b. 每班進(jìn)行測(cè)試前需對(duì)電阻率及厚度進(jìn)行校準(zhǔn)（詳見(jiàn)操作指導(dǎo)書(shū)）；在4號(hào)模塊內(nèi)新建本班檢驗(yàn)文件名，存儲(chǔ)檢驗(yàn)數(shù)據(jù)；c. 準(zhǔn)備檢測(cè)前，確認(rèn)一下模塊內(nèi)設(shè)置的測(cè)試參數(shù)是否是正確的，若正確，繼續(xù)檢驗(yàn)；若不正確，需調(diào)整再進(jìn)行操作；電阻率電阻率/厚度厚度4備注：備注：a. 5號(hào)模塊為測(cè)試ttv模塊，此模塊可測(cè)試（彎曲bend;線痕saw mark; 厚度5點(diǎn)測(cè)試tv/ttv）值；b. 準(zhǔn)備測(cè)試前，先確認(rèn)測(cè)試模塊內(nèi)設(shè)置的參數(shù)是否正確，若正確，繼續(xù)檢驗(yàn)；若不正確，調(diào)整參數(shù)，再進(jìn)行操作；c. 此模塊通過(guò)條線進(jìn)行掃描；ttv5備注：備注：a. 6號(hào)模塊測(cè)試外觀的

11、反面，與3號(hào)模塊的測(cè)試功能類(lèi)似；b. 時(shí)刻觀注此模塊內(nèi)是否有硅片堵塞情況，若有硅片，及時(shí)清理，否則影響正常測(cè)試；若無(wú)硅片，則可正常測(cè)試；外觀反面外觀反面7備注：備注：1、主界面上顯示6大模塊的測(cè)試狀態(tài)；2、下料盒會(huì)自動(dòng)計(jì)入盒內(nèi)數(shù)量，當(dāng)達(dá)到設(shè)置的數(shù)量時(shí)，會(huì)自動(dòng)彈出；3、下料盒內(nèi)的硅片，是分選出，有合格的，也有不良的，每個(gè)都有對(duì)應(yīng)的參照；4、從測(cè)試狀態(tài)中可以看出測(cè)試的硅片是哪種不良；主界面主界面下料盒內(nèi)的數(shù)量測(cè)試狀態(tài)6 1 2 3下料時(shí)的操作步驟：1、下料盒彈出，將真空板放入，按圖示13進(jìn)行操作；2、兩手置于空檔處，平衡的將硅片取出；3、避免與盒子相磨擦人為造成硅片不良的產(chǎn)生；4、下料后，再倒一下

12、四個(gè)角，看一下外觀是否存在不良，然后每盒按一定數(shù)量包裝好，再包裝成箱；b.b.中途切換硅片檢驗(yàn)時(shí)中途切換硅片檢驗(yàn)時(shí)1.先確認(rèn)檢驗(yàn)型號(hào)是否一致，如不一致需將型號(hào)更改切換。2.確認(rèn)包裝數(shù)量是否一致，如不一致需調(diào)整下料盒內(nèi)數(shù)量：6號(hào)界面內(nèi)點(diǎn)擊confing更改1、2、3號(hào)盒內(nèi)的數(shù)量，點(diǎn)擊save保存。3.切換到4號(hào)模塊內(nèi)，點(diǎn)擊 clear statistcs更改電阻率保存的文件名（如jiang xi jing ke 125s-165 100000 c)。4.若此批來(lái)料很少時(shí)，此批檢驗(yàn)完后，又進(jìn)行上批檢驗(yàn)，須將之前更改的全部調(diào)回來(lái)（如盒內(nèi)數(shù)量、型號(hào)、電阻率文件名、測(cè)試記錄）。5.切到1、2模塊內(nèi)記錄測(cè)

13、試數(shù)據(jù)，再將它關(guān)閉清零，以便于記錄測(cè)試的數(shù)據(jù)。四、四、atm型號(hào)轉(zhuǎn)換與注意事項(xiàng)型號(hào)轉(zhuǎn)換與注意事項(xiàng)a) a)更換型號(hào)更換型號(hào)150- 150- 165 1651.切到3號(hào)模塊內(nèi)2.點(diǎn)擊 paramerization 點(diǎn)擊stop 點(diǎn)擊set parameters3.輸入密碼：123454.點(diǎn)擊save parameters as 點(diǎn)擊125*165型號(hào)，打開(kāi)保存5.修改參數(shù)： chamfer c12.55.00 deviatior distance ac0.301.00 arc length a11.0 2.00 diagonal distance -165 1.006.保養(yǎng)save param

14、eters 點(diǎn)擊start,進(jìn)行正常測(cè)試b)b)更換型號(hào)更換型號(hào) 165- 165- 150 1501.切到3號(hào)模塊里2.點(diǎn)擊 paramerization 點(diǎn)擊stop 點(diǎn)擊set parameters3.輸入密碼：123454.點(diǎn)擊save parameters as 點(diǎn)擊125*150型號(hào)，打開(kāi)保存5.修改參數(shù)： chamfer c30.05.00 deviatior distance ac1.501.00 arc length a27.0 2.00 diagonal distance -150 1.006.保養(yǎng)save parameters 點(diǎn)擊start,進(jìn)行正常測(cè)試注：輸入?yún)?shù)時(shí)應(yīng)

15、輸“，”而不是小數(shù)點(diǎn)。c) c)更換型號(hào)更換型號(hào) 165- 165- 219 2191.切到3號(hào)模塊里2.點(diǎn)擊 paramerization 點(diǎn)擊stop 點(diǎn)擊set parameters3.輸入密碼：123454.點(diǎn)擊save parameters as 點(diǎn)擊156e*219型號(hào)，打開(kāi)保存5.修改參數(shù)： wafer c1563.00 chamfer c1.501.50 deviatior distance ac1.001.00 arc length a1.50 1.50 diagonal distance -2194.006.保養(yǎng)save parameters 點(diǎn)擊start,進(jìn)行正常測(cè)試注

16、：輸入?yún)?shù)時(shí)應(yīng)輸“，”而不是小數(shù)點(diǎn)。d) d)更換型號(hào)更換型號(hào) 165- 165- 200 2001.切到3號(hào)模塊里2.點(diǎn)擊 paramerization 點(diǎn)擊stop 點(diǎn)擊set parameters3.輸入密碼：123454.點(diǎn)擊save parameters as 點(diǎn)擊156s*200型號(hào)，打開(kāi)保存5.修改參數(shù)： wafer c156.003.00 chamfer c22.005.00 deviatior distance ac0.301.00 arc length a19.00 2.00 diagonal distance -2004.006.保養(yǎng)save parameters 點(diǎn)擊s

17、tart,進(jìn)行正常測(cè)試注：輸入?yún)?shù)時(shí)應(yīng)輸“，”而不是小數(shù)點(diǎn)。c) c)更換型號(hào)邊長(zhǎng)更換型號(hào)邊長(zhǎng)125s-156e125s-156e1.調(diào)節(jié)吹氣口桿子的距離，吹氣口應(yīng)離硅片3cm(視情況而定）2.用156模板調(diào)節(jié)軌道，松緊適中3.6號(hào)主界面上點(diǎn)擊config內(nèi)125調(diào)成156的規(guī)格4.6號(hào)主界面進(jìn)入service to master pc,找到service .xml 文件，將其重命名為service 125.xml ,找到service 156.xml ，將此名稱(chēng)“156e”刪除。（如測(cè)試是156e，就顯示125s和156s；如測(cè)試是125s，就顯示156s和156e；如測(cè)的是156s，就顯示

18、125s和156e）5.切到3號(hào)模塊里，點(diǎn)擊paramerization 點(diǎn)擊stop 點(diǎn)擊set parameters 輸入密碼：12345 點(diǎn)擊save parameters as 點(diǎn)擊156e的型號(hào)打開(kāi)保存save parameters 點(diǎn)擊star 鍵6.將上料處機(jī)械手換成小的7.將承載盒內(nèi)4個(gè)白色的取出8.切到1號(hào)模塊里點(diǎn)擊paramerization 點(diǎn)擊stop 點(diǎn)擊set parameters 輸入密碼：0000，將“ ucracks”的值 調(diào)成35，點(diǎn)擊save 保存9.1號(hào)模塊的兩個(gè)光源，將上面的一個(gè)盒 子上的按鈕按向“l(fā)ocal ”，再將光源指數(shù)調(diào)到70%更換型號(hào)邊長(zhǎng)更換

19、型號(hào)邊長(zhǎng)125s-156e125s-156e1、調(diào)節(jié)吹氣口桿子的距離，吹氣口應(yīng)離硅片3cm(視情況而定）2、用156模板調(diào)節(jié)軌道，松緊適中3、6號(hào)主界面上點(diǎn)擊config內(nèi)125調(diào)成156的規(guī)格4、6號(hào)主界面進(jìn)入service to master pc,找到service .xml 文件，將其重命名為service 125.xml ,找到service 156.xml ，將此名稱(chēng)“156e”刪除。（如測(cè)試是156e，就顯示125s和156s；如測(cè)試是125s，就顯示156s和156e；如測(cè)的是156s，就顯示125s和156e）d) d)更換型號(hào)邊長(zhǎng)更換型號(hào)邊長(zhǎng)156e-125s156e-12

20、5s1.調(diào)節(jié)吹氣口桿子的距離，吹氣口應(yīng)離硅片3cm(視情況而定）2.用125模板調(diào)節(jié)軌道，松緊適中3.6號(hào)主界面上點(diǎn)擊config內(nèi)156調(diào)成125的規(guī)格4.6號(hào)主界面進(jìn)入service to master pc,找到service .xml 文件，將其重命名為service 156e.xml ,找到service 125s.xml ，將此名稱(chēng)“125”刪除。（如測(cè)試是156e，就顯示125s和156s；如測(cè)試是125s，就顯示156s和156e；如測(cè)的是156s，就顯示125s和156e）5.切到3號(hào)模塊里，點(diǎn)擊paramerization 點(diǎn)擊stop 點(diǎn)擊set parameters 輸

21、入密碼：12345 點(diǎn)擊save parameters as 點(diǎn)擊125-165/125-150的型號(hào)打開(kāi)保存save parameters 點(diǎn)擊star 鍵6.將上料處機(jī)械手換成小的7.將承載盒裝入4個(gè)白色的8.切到1號(hào)模塊里點(diǎn)擊paramerization 點(diǎn)擊stop 點(diǎn)擊set parameters 輸入密碼：0000，將“ ucracks”的值 調(diào)成0.50.55，點(diǎn)擊save 保存9.1號(hào)模塊的兩個(gè)光源，將上面的一個(gè)盒 子上的按鈕按向“remote ”，再將光源指數(shù)調(diào)到100%五、五、atmatm異?；咎幚磙k法異?；咎幚磙k法a.a.一號(hào)模塊測(cè)試不出不良品（裂紋、孔洞）一號(hào)模塊測(cè)

22、試不出不良品（裂紋、孔洞）1.原因：確認(rèn)測(cè)試燈泡光源是否還亮著，如果測(cè)試燈泡不亮了，就說(shuō)明是測(cè)試燈泡的原因（燈泡壞了）a)處理方法：先將燈源的開(kāi)關(guān)關(guān)閉，再將機(jī)器內(nèi)的黑管子（光纖）拔掉；將壞的燈泡取出，將新的燈泡換上；b)換一號(hào)燈泡注意事項(xiàng)：確認(rèn)燈泡的型號(hào)；不可用手直接接觸燈泡（帶手套），會(huì)留下手指印，會(huì)影響測(cè)試結(jié)果；c)換完后將黑管子安裝上去，再將燈源開(kāi)關(guān)打開(kāi)；d)完畢后需確認(rèn)是否測(cè)試出不良品（將裂紋、針孔片放在機(jī)器內(nèi)走一遍，測(cè)試出來(lái)才能進(jìn)行正常檢驗(yàn)）。2、原因：確認(rèn)測(cè)試模塊狀態(tài)是否打開(kāi)，如果測(cè)試模塊未打開(kāi)。 處理方法：進(jìn)入該模塊，雙擊該模塊圖標(biāo)，即打開(kāi)此模塊。3、原因：確認(rèn)測(cè)試模塊數(shù)據(jù)是否更

23、新，如果測(cè)試模塊數(shù)據(jù)不更新或不動(dòng)，則說(shuō)明該模塊存儲(chǔ)信息已滿(mǎn)。 處理方法：進(jìn)入該模塊，點(diǎn)擊 ，將文件夾內(nèi)的數(shù)據(jù)留一個(gè)最近的，其他信息都清理掉。然后，再測(cè)試幾片看，機(jī)器是否正常。b.b.一號(hào)模塊測(cè)試界面多出一塊一號(hào)模塊測(cè)試界面多出一塊1.原因：前軌道調(diào)的太寬了導(dǎo)致到了測(cè)試極限；2.處理方法：測(cè)試一片硅片查看是左邊還是右邊太寬了，將軌道向內(nèi)調(diào)一點(diǎn)點(diǎn)（注：不可調(diào)的太緊，防止軌道卡片）c.c.異?，F(xiàn)象：異?，F(xiàn)象： 主界面提示“axis 4 of robot 1 out of range”并且機(jī)器無(wú)法復(fù)位；1.原因：機(jī)械手轉(zhuǎn)動(dòng)超過(guò)180度；2.將機(jī)械手轉(zhuǎn)回180度（如不清楚是順時(shí)針還是逆時(shí)針轉(zhuǎn)，就先一個(gè)方

24、向試一下，再進(jìn)行復(fù)位，如果復(fù)不了位就反方向轉(zhuǎn)）；d.d.異?，F(xiàn)象：異?，F(xiàn)象： 測(cè)試正常就是測(cè)到最后一兩片時(shí)機(jī)器會(huì)急停；1.原因：機(jī)械手轉(zhuǎn)過(guò)頭了；2.處理方法：要讓機(jī)器自動(dòng)調(diào)節(jié)； 點(diǎn)擊star programs adept technology adept desktop adept desktop 4.2 file channect 彈出對(duì)話框（connect to controller ) 點(diǎn)擊connect 彈出的界面上會(huì)顯示測(cè)試速度，將它調(diào)到50上面，進(jìn)行測(cè)試，如看到機(jī)械手自身有3600 轉(zhuǎn)動(dòng)，就說(shuō)明已經(jīng)調(diào)好了，如果沒(méi)有3600 轉(zhuǎn)動(dòng)，測(cè)完100片后再跳到60上測(cè)試，以此類(lèi)推，調(diào)完后測(cè)試

25、速度跳到100（正常測(cè)試速度）e.e.如何截屏如何截屏 按prtsc sgs rq 鍵點(diǎn)擊start programs accessories paint 復(fù)制即可（ctrl +v)，再將復(fù)制的保存file save as f. f.三號(hào)模塊有誤抓現(xiàn)象三號(hào)模塊有誤抓現(xiàn)象 處理方法：調(diào)節(jié)光源 找到“optical wafer in spection”點(diǎn)擊右鍵properties find target 找到owi confing .xml 文件并打開(kāi)找到property name =“threshold factor”type =“double” value 19 /value （19此處是光源

26、值） 先將光源值調(diào)大點(diǎn)，關(guān)閉并保存，再將三號(hào)模塊打開(kāi)測(cè)試，如果還是有誤抓就以此類(lèi)推g.g.測(cè)試硅片時(shí)，某個(gè)模塊測(cè)試不出，一直往測(cè)試硅片時(shí)，某個(gè)模塊測(cè)試不出，一直往4 4、8 8號(hào)盒號(hào)盒內(nèi)放。內(nèi)放。a)原因：某個(gè)模塊測(cè)試時(shí)間有誤 處理方法：調(diào)節(jié)時(shí)間步驟：進(jìn)入六號(hào)主界面上找到times 點(diǎn)擊進(jìn)入找到需要調(diào)節(jié)的模塊，并算出十個(gè)時(shí)間的平均值，主界面上找到shortcut to msater pc 并進(jìn)入找到serice .xml 文件并進(jìn)入找到需要修改的模塊arrival time “ 時(shí)間”（此處是測(cè)試的時(shí)間） 將算出來(lái)的值填在測(cè)試時(shí)間處總結(jié)：一般測(cè)試時(shí)顯示是空格就應(yīng)該將時(shí)間調(diào)大點(diǎn)總結(jié)：一般測(cè)試時(shí)顯

27、示是空格就應(yīng)該將時(shí)間調(diào)大點(diǎn)。b)原因：測(cè)試模塊是否正常 處理方法：在主界面中，查看一下，具體是哪個(gè)模塊測(cè)試不出，然后ctrl兩次+模塊編號(hào)，enter進(jìn)入，確認(rèn)該模塊的狀態(tài)，無(wú)異常情況時(shí)，將此模塊關(guān)閉，再重新打開(kāi)，然后試測(cè)幾片，看是否運(yùn)行正常。h.h.六號(hào)模塊測(cè)試不出六號(hào)模塊測(cè)試不出1.查看六號(hào)模塊測(cè)試地區(qū)有無(wú)碎渣，如有需要清理掉，把模塊關(guān)閉，進(jìn)行測(cè)試，如還是測(cè)試不出，需要校準(zhǔn)光源2.校準(zhǔn)光源： 路徑：開(kāi)始intelican file open camsim-setup single grab 縮小桌面11 相機(jī)參數(shù)設(shè)定 輸入：（注：每次輸入必須回車(chē)，等待ok出現(xiàn)，再進(jìn)行下一次的輸入“”代表空格。）ecp-0-0sag-0-0gla-1-1(確認(rèn)3600max 4095)注：如不在此范圍1.模塊是否有碎片遮擋2.中間燈管是否傾斜3.調(diào)節(jié)光源度4.擦相機(jī)鏡頭ccg-4-0(2600/2800/3000)gpc確認(rèn)六位值（1、2、6、7的值在02.0之間，3、4、5的值在-3-6之間）灰度值10的遮擋住相機(jī)鏡頭ccf移開(kāi)遮擋物ccpepc-1-1wpc-1