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1、共聚焦拉曼光譜儀共聚焦拉曼光譜儀拉曼光譜系統(tǒng)的組成和工作原理拉曼光譜儀的操作共聚焦拉曼光譜儀u激光器(514.5nm)u樣品臺u光路系統(tǒng)u探測器u計算機控制部分共聚焦拉曼光譜儀物鏡標本針孔共聚焦拉曼光譜儀1.氬離子激光器;2.激光衰減器;3.物鏡(凸透鏡);4.反射鏡;5.全息濾光片 (全息陷波濾波器);6.光學(xué)顯微鏡;7.機械平臺;8.半波片;9.偏振片;10.狹縫;11.等邊棱鏡;12.衍射光柵 (反射光柵);13.CCD檢測器 (紫外/可見增強型CCD);14.尼克爾棱鏡;15.衍射光柵。 狹縫 E4共聚焦拉曼光譜儀 傳統(tǒng)的共焦光路的設(shè)計有一個針孔,作為空間濾波器。而Renishaw使用
2、新的共焦設(shè)計通過狹縫對焦平面的一維限制和通過對最終在CCD 上的讀取信號時對另一維度的信號的限制,同樣達到選擇樣品上相應(yīng)的小體積的信號。其共焦效果:完全可以達到橫向小于1m ,深度分辨率約2m 的空間分辨率。并且由于這樣的光路比針孔式(pinhole) 共焦光路中少兩透鏡一個針孔,信號損失減少。共聚焦拉曼光譜儀 因為拉曼信號收集的主要困難在于與激光同頻率的瑞利散射比拉曼散射要強10 個數(shù)量級以上,而拉曼峰又離激光很近。這種窄帶的陷波濾光片(Notch) 的特點是,能針對性地將以激光波長為中心的幾個納米的波長范圍內(nèi)的瑞利散射光能量有效地濾除達5到6 個數(shù)量級之多,而讓該波長范圍之外的光信號順利通過共聚焦拉曼光譜儀u校準硅片 首先采用自然光并調(diào)節(jié)樣品臺聚焦,直到視野中看到清晰的正八邊形為止。改用激光測量硅片的拉曼信號,擬合并查看峰位是否為5200.02cm-1 ,如不是則用軟件調(diào)節(jié)校準直到測量信號在5200.02cm-1 。u測量 重復(fù)上述聚焦步驟并設(shè)置相應(yīng)參數(shù)開始測量樣品。共聚焦拉曼光譜儀 靈敏度高 快速分析,鑒別各種材料的特性與結(jié)構(gòu) 微量樣品分析,樣品可小于2微米 對樣品無接觸,無損傷,樣品無需制備 適合黑色和含水樣品 高、低溫及高壓測量 光
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