氣體管路施工規(guī)范_2006FAB-B1-V1_

1、-cs氣體管路工程施工規(guī)范、工程簡介1、生產(chǎn)設(shè)備所需之二次側(cè)制程氣體管路工程。2、各系統(tǒng)分別由機(jī)臺接頭處，經(jīng)二次配管至 SUB-MAIN PIPE預(yù)留閥、系統(tǒng)界面1、與原系統(tǒng)一次側(cè)之介面為 SUB-MAIN PIPE預(yù)留閥。2、 與設(shè)備機(jī)臺之介面為設(shè)備出口接頭、承商應(yīng)按MOVE IN設(shè)備之實際接點來銜接管 線。三、工程基準(zhǔn)依本公司準(zhǔn)備之下列資料及圖說來進(jìn)行本工程：1、 制程氣體管路系統(tǒng)工程圖（附系統(tǒng)流程圖）。2、機(jī)臺位置圖。3、設(shè)備需求配管單線圖或utility matrix,動力安裝條件表4、制程氣體管路工程技術(shù)規(guī)范。5、設(shè)備機(jī)臺 MOVE IN SCHEDULE。四、工程施工規(guī)范。1、承包

2、商于進(jìn)行配管焊接時，必須穿戴上干凈無塵室專用手套及護(hù)具。2、配管材料氣體接觸部分，不可用污穢的手套或用手直接觸摸。3、配管時必須使用超高純度氬氣作為焊接之氣體，施工完后所有管路須用超高純度氬氣或 氮氣不間斷PURGE，PURGE排氣須接至室外排放，以避免人員窒息危險。4、配管焊接時，所有臨時管路須為 SUS 316硬管。5、所有配管焊接須于每日施工前，先做每一管徑試件試焊，并須記錄焊接機(jī)之焊接參數(shù)、 合格試件及焊接參數(shù)，經(jīng)監(jiān)工人員檢驗合格后，施工人員才能開始施工。6、焊接時，須使用內(nèi)壓管理。7、1/2英寸（含）以下管道可以使用彎管器，管彎半徑 R>5D（D為外徑）。若無法滿足上 述要求則

3、一律使用ELBOW施工。&配管時，切管、修倒角及端面，管子必須直立向下或平行，以避免鐵屑附著于管內(nèi)壁，且須小心進(jìn)刀避免刮傷管內(nèi)光滑表面。9、配管切割后須以潔凈N2 GUN氣體清除，管內(nèi)壁切割面應(yīng)位于下流方向。10、 施工進(jìn)行中，須按圖施工，如發(fā)現(xiàn)施工圖面出現(xiàn)問題或要求設(shè)計更改時， 應(yīng)立即回報監(jiān)潘文偉第2頁2006-1-16CSMC Technologies Corporation? ? ? ? ? ?csMC工處理，不可擅自做主。11、 所有VCR接頭，在確定不會再拆或作最后復(fù)原時，安裝Gasket鎖緊，并須于泄漏偵 測孔標(biāo)示圓圈標(biāo)記。12、 所有完工之管路每隔L5公尺及轉(zhuǎn)彎、穿墻后，

4、須加掛或貼上該種氣體名稱，流向之標(biāo) 簽，標(biāo)簽須以劃線對準(zhǔn)，務(wù)求整齊一致。13、 施工承包商應(yīng)將存儲及施工區(qū)域的機(jī)具、環(huán)境衛(wèi)生整理干凈。14、須符合驗收標(biāo)準(zhǔn)，若違反或不符此規(guī)定之項目，須配合重新施工至合乎規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)， 而因 此衍生出之成本增加及進(jìn)度延誤責(zé)任，一律由承包商自行吸收。15、臨時性潔凈棚裝設(shè)在現(xiàn)場。管路工作中，所有的預(yù)作管線部份均需在臨時潔凈棚內(nèi)進(jìn)行， 以控制其微塵數(shù)。16、焊接工作I. 焊接尾端覆以有孔之干凈塑料套蓋再接上差壓計做焊接管內(nèi)壓力控制管理，以隔絕大氣中之塵埃、水氣及不純物。II. 即使焊接完成也要繼續(xù)通氬氣保持循環(huán)狀態(tài)，并將焊接處金屬基底降溫。17、純度提升之過程在完成保壓

5、試驗后，為了提升管線內(nèi)部的純凈度，下列的過程可以一一進(jìn)行之。a、沖吹過程所有的次主管均以純氬氣或氮氣反復(fù)噴洗 (cycle purge)，其使用氣體的流速約 為15-20m / sec(見所附表)b、提純過程以純氬氣或氮氣持續(xù)沖吹，沖吹壓力以不超過各測試儀器最大入口壓力為原則。管線直徑及純度提升所需之氣體流速管線直徑氣體流量時間1/4"12N 1/min3/8"45N 1/min1/2"70N 1/min3/4"200N 1/min1"280N 1/min3/8B(10A)150N 1/min1/2B(15A)240N 1/min243/4B(

6、20A)410N 1/mi n時小1B(25A)670N 1/min1-3/4B(32A)1.1Nm/mi n1-1/2B(40A)1.5Nm/min2B(50A)2.3Nm/min2-1/2B(65A)3.7Nm/min3B(80A)5.1Nm/min4B(100A)8.6Nm/min附錄Q管道分析測試和驗收標(biāo)準(zhǔn)1. 測試前檢查要項a）所有管道測試前必須先確認(rèn)管路標(biāo)簽與實際氣體管路是否相符，標(biāo)簽氣體流向，焊道 品質(zhì)確認(rèn)。b）目測，查看是否有歪斜、扭曲，是否有管夾松脫。c）現(xiàn)場使用的測試儀器均要有校正記錄資料。2. 所有管路現(xiàn)場測試結(jié)果必須經(jīng)過測試人員和CSMC相關(guān)人員簽字。3. 所有焊點和V

7、CR連接點必須在通過測試后粘貼 Q.C.標(biāo)簽。4. 測試結(jié)果審核：a）測試結(jié)果，須經(jīng)過CSMC現(xiàn)場人員簽名認(rèn)可，才算完成。b）測試完成后，測試報告必須填寫完整并由相應(yīng)的CSMC人員簽名。5. 保壓測試a）記錄方式須采圓盤式或電子式記錄。b）須有連續(xù)記錄功能。c）測試時間Bulk Gas及Specialty Gas都須要保壓超過24hr，壓力正負(fù)值不得大于2 %d）所有管路一律使用PN2作為測試氣體。e）銜接完，開始測試前要先觀察保壓計上的表面壓力30分鐘，確認(rèn)壓力沒有變化，才開始記錄。f）保壓測試務(wù)必確認(rèn)記錄器通往測試管路之閥門已打開，否則等于沒在做氣密測試。g）嚴(yán)禁使用檢漏液作為測漏工具。h

8、）保壓壓力為1.5倍工作壓力。6. 管路吹掃N2 Purgea）管路吹掃的標(biāo)準(zhǔn)聯(lián)結(jié)與保壓測試相同，吹掃須用UHP N2b）N2 Purge必須排放廠外或 Ge neral Exhaust，禁止向Fab或Sub-fab排放。7. Helium Leak 測試a）測試時，CSMC人員必須在場。b）須確認(rèn)氦測漏機(jī)已經(jīng)抽至1X10-9atm*cc/sec,才可以進(jìn)行。c）測試人員須從焊接人員獲得焊點清單，并依照清單檢查實際焊點。在做He Leak Test時務(wù)必每一個焊道和VCR接點均做噴氦氣測試，確認(rèn)沒問題后于焊道旁邊貼He leak test pass ok標(biāo)簽并簽名，并予以記錄在焊點清單上。d）

9、測試點噴He時，務(wù)必遵行“由近而遠(yuǎn)，由上而下”的原則進(jìn)行測漏，以免He飄散而達(dá)不到測漏之效果與反應(yīng)真實漏率。e）噴氦氣測試時，當(dāng)管路較長時，噴 He氣測試一個焊道，需等3分鐘后確認(rèn)數(shù)值沒有 上升的情況下，才可以再對下一個焊道做測試。（根據(jù)管路的長度來適當(dāng)調(diào)節(jié)確認(rèn)數(shù)值 沒有上升的時間）f）氦測漏測試指標(biāo)：小于5x10-9atm c/sec.8. Moisture含量測試：a）須使用PN2作為purge氣體。b）分析時必須連續(xù)記錄顯示微水份含量之下降趨勢，在測試數(shù)值達(dá)到小于100ppb時，須 繼續(xù)記錄30分鐘，并確認(rèn)數(shù)值沒有再上升，測試記錄才可結(jié)束。c）測試時，管路不得加裝使用 Purifier，

10、接頭使用VCR接頭，禁止使用Teflon軟管。d）Moisture含量測試指標(biāo)：小于100ppb。9. 微02含量測試：a）須使用PN2作為purge氣體。b）分析時必須連續(xù)記錄分析值，以顯示微氧含量之下降趨勢。在測試數(shù)值達(dá)到小于 100ppb時，須繼續(xù)記錄30分鐘，并確認(rèn)數(shù)值沒有再上升，測試記錄才可結(jié)束。c）測試時，管路不得加裝使用 Purifier，接頭使用VCR接頭，禁止使用Teflon軟管。d）微O2含量測試指標(biāo)：100ppb（供參考，根據(jù)具體的制程要求確定）。10. Particle 測試：a）使用PN2作為purge采樣氣體。b）測試前所有Piping均須執(zhí)行加減壓沖吹（或Cycl

11、e Purge至少30次以上），徹底吹出 管路里之微塵。c）測試中，須使用橡膠槌輕敲管壁，以確認(rèn)無Particle殘留。d）測試時間為10分鐘，測試壓力3090psig，測試速率為7m/s。e）本項測試須連續(xù)3次通過測試標(biāo)準(zhǔn)（標(biāo)準(zhǔn)為大于或等于的0.1卩particle不得超過1個）f）指標(biāo)：w 1pcs/scf0.1 m11. 銜接管路a）銜接時盡量保持N2 purge，管路銜接完成后方可關(guān)閉 N2 purge，b）測試完成后，銜接管路時，于管路接點處，張貼“ QA/QC PASS OK ”易碎貼紙，防 止非相關(guān)人員拆除接點，并于貼紙上簽上員工號碼，易于查詢。c）注意:必須填寫Tie-in request form向CSMC人員申請,并嚴(yán)格遵照要求執(zhí)行。12. 套管測試步驟和要求測試步驟如下:測試要求同上。附錄R材料規(guī)范管道閥門fiting備注可燃爆/劇毒氣體EP,10RaCoxial-tube隔膜閥-EPVCR- EP,10RaH2O/O2/PAR/P/ heSiH4/PH3/B2H6等腐蝕性氣體EP,10Ra,V-V隔膜閥-EP-C20VCR-EP,10Ra-C20H20/O2/PAR/P/ heCl2,HBr,HCL,DCS,NF3,NH3超純惰性特氣EP,10Ra隔膜閥-EPVCR- E