光學(xué)平板量測_第1頁
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光學(xué)平板量測 實 習(xí) 單 元 十 四 光學(xué)平板乃由堅硬、耐磨、膨脹係數(shù)小的高品質(zhì)之”K”類光 學(xué)玻璃、石英石玻璃或具有同品質(zhì)以上之玻璃材料製成。通常以一組四片的方式製造，如圖14-1示。光學(xué)平板量測 實 習(xí) 單 元 十 四光學(xué)平板的形狀與尺度標(biāo)稱，如圖14-2所示。平板的形狀 應(yīng)為圓板狀，其尺度與許可差，如表14-2示。光學(xué)平板量測 實 習(xí) 單 元 十 四 光學(xué)平鏡乃應(yīng)用光波干涉原理，檢測經(jīng)過研磨或拋光加工工件的表面狀況，影響干涉結(jié)果的因素有二，以圖14-3說明之。光學(xué)平板量測 實 習(xí) 單 元 十 四 光學(xué)平鏡檢驗法中常用單色光源為氦氣燈，如圖14-4所示 光學(xué)平板量測 實 習(xí) 單 元 十 四 在氦光光源下，每一條色帶代表0.29m偏差量，由色帶的曲率可判別出被測平面平面狀況，如圖14-5示。光學(xué)平板量測 實 習(xí) 單 元 十 四 利用光學(xué)平板可進行分釐卡砧座的真平度檢測，如圖14-6所示。 光學(xué)平板量測 實 習(xí) 單 元 十 四 圖14-7中為常見的干涉圖形光學(xué)平板量測 實 習(xí) 單 元 十 四 檢驗大尺度的分釐卡時，可配合塊規(guī)與兩片平板進行量測，如圖14-8所示。 光學(xué)平板量測 實 習(xí) 單 元 十 四 干涉條紋數(shù)的觀察，受許多因素的影響，如果幾經(jīng)調(diào)整無法順利的找出基準(zhǔn)面時，可依圖14-9讀取平行度值。 光學(xué)平板量測 實

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