軟件操作及分析講解

1、軟件操作及分析講解：操作講解,基本操作培訓(xùn)（A：開機(jī)順序：打開電腦(完全啟動(dòng))-打開臺(tái)階儀電源并查看激光和白光狀態(tài)是否正常（在臺(tái)階儀背面電源線正上方（可查看XP連線圖）-然后雙擊啟動(dòng)圖標(biāo)-點(diǎn)擊彈出對話框中的“Yes”開始儀器進(jìn)行初始化-等初始化完成后彈出“Homing is complete”對話框點(diǎn)擊“Yes”；B：操作界面的介紹 D:示范如何取放樣品（緊貼樣品臺(tái)并在左右方向大致定位被掃描區(qū)域，注意不要將樣品直接放在針尖下方，而是通過移動(dòng)樣品將樣品移到針尖下方）并完整的演示一遍如何測量（注意如何設(shè)置掃描參數(shù)：掃描長度，速度，Z方向的量程，力的大小，點(diǎn)數(shù)）C:操作界面下拉菜單介紹 (A:操作界

2、面各窗口意義作用；介紹每個(gè)按鈕的意義；B：Setup掃描參數(shù)設(shè)置問題（掃描速度和掃描長度的大小關(guān)系/1：10；掃描方式/三種掃描模式及其意義，應(yīng)用的模式是第三種；點(diǎn)數(shù)的多少/臺(tái)階測量點(diǎn)數(shù)幾百、粗糙度測量由長度決定多加點(diǎn)；力的大小對測量的影響/在不劃傷樣品的前提下力越大越好，常選擇的力為1或2mg/如何保存or調(diào)入掃描參數(shù)/操作界面Filesave setup file or load setup file）C：Stich選項(xiàng)在分析界面中有效，Stich中注意事項(xiàng)：如何較準(zhǔn)確的進(jìn)行連續(xù)性測量/在XP-2中可以應(yīng)用Stepping模式中的X/Y坐標(biāo)信息精確定位，在XP-1中可以進(jìn)行襯底式拼接，索要

3、拼接的圖形其掃描參數(shù)要一致；D：薄膜應(yīng)力測試注意事項(xiàng)/掃描參數(shù)一致、掃描位置的重復(fù)性要好（橡皮泥方式其誤差是1020um）、掃描的長度要盡可能大以此保證曲面的曲率半徑計(jì)算準(zhǔn)確、用掩模法或刻痕法自制備臺(tái)階；Stepping的應(yīng)用/多點(diǎn)（999）自動(dòng)測量、連續(xù)性測量（Stich）、均勻性測量；Stop按鈕的應(yīng)用及設(shè)備的初始化/Home Scan stage & X/Y stage,在初始化之前要保存測量位置)（4） 分析培訓(xùn)（對每個(gè)按鈕意義逐一說明；對其中（如果）要求筆記記錄問題A：多數(shù)據(jù)同時(shí)分析的應(yīng)用（看同組數(shù)據(jù)的變化范圍及變化快慢，同界面比較）；B：拉平方式的選擇，外界因素的干擾或臟點(diǎn)的影響等

4、原因選擇Cursor location選項(xiàng)進(jìn)行拉平，最小二次發(fā)時(shí)應(yīng)用于小波面起伏不定時(shí)對平面測量結(jié)果的一種拉平方法；C：Add cursor 的應(yīng)用及用法/通過右鍵圖形菜單中選取add cursor項(xiàng)可以添加光標(biāo)（最多可添加五對光標(biāo)），其用法和初始光標(biāo)用法一樣，只是數(shù)據(jù)的讀取需要右鍵圖形菜單中選取Calculate Measurements選項(xiàng)，從數(shù)據(jù)表格中按光標(biāo)顏色對應(yīng)讀取數(shù)據(jù)；D：粗糙度和波度的計(jì)算/濾波值，濾波目的是將被測面的原有波形和表面粗糙度完全分離，但是由于每種樣品的襯底起伏頻率各不一樣，所以沒有很一致的濾波標(biāo)準(zhǔn)能適應(yīng)各種表面測量。但可以自設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)測量后進(jìn)行對比。要計(jì)算濾波后的粗糙

5、度或波度必須選擇相應(yīng)的濾波方式，只有當(dāng)Rt大于1um是可以不進(jìn)行濾波而直接獲得粗糙度數(shù)據(jù)。F：軟件安裝的方法/將光盤中的XP文件拷貝到C盤根目錄下，并在桌面上建立運(yùn)行圖標(biāo)的快捷方式即可正常運(yùn)行）（5） 客戶操作、簡單的說明開機(jī)關(guān)機(jī)步驟（A：記錄下客戶操作時(shí)所犯的錯(cuò)誤同時(shí)也讓其他人關(guān)注錯(cuò)誤操作，以加深印象。B：有問題時(shí)先讓其他人回答，然后在作肯定和補(bǔ)充。C：對標(biāo)樣和被測區(qū)域進(jìn)行解說.D：注意事項(xiàng)的說明）D：客戶樣品測試較詳細(xì)的詢問樣品情況，對客戶要測量的參數(shù)詳細(xì)了解，包括被測參數(shù)值的預(yù)估值；從而設(shè)定掃描參數(shù)進(jìn)行掃描（掃描前進(jìn)行一次標(biāo)樣驗(yàn)證）。對掃描結(jié)果進(jìn)行分析，和客戶相互交流如何分析得到和客戶相關(guān)的信息。然客戶自行測試自己的樣品，對自己樣品掃描結(jié)果如何分析，并盡可能多地告訴客戶所測結(jié)果能反映的信息。E：收尾工作文件拷貝（基本原理PPD、操作手冊（對后面出現(xiàn)錯(cuò)誤信息解決方法作一特殊解說）、注意事項(xiàng)、操作步驟、