008-晶圓入庫流程

1、晶圓入庫流程文件編號制訂日期制訂部門頁數(shù)WI-MD-0012016-7-1資材部1/4機(jī)密秘密普通晶圓入庫流程編制：審核：批準(zhǔn)：頒布日期：2016年7月1日實施日期：2016年7月1日Thisdocumentistheexclusivepropertyofourcompany,andshallnotbereproducedorcopiedortransformedtoanyotherformatwithoutpriorpermissionofourcompany本文件為本公司專有之財產(chǎn),非經(jīng)許可不得復(fù)制、翻印或轉(zhuǎn)變成其他形式使用制訂/修訂日期2016-7-1版本A.0晶圓入庫流程文件制訂/修訂

2、履歷制訂/修訂理由/內(nèi)容新全文制定文件編號制訂日期制訂部門頁數(shù)發(fā)行日期2016-7-1WI-MD-0012016-7-1資材部2/4備注文件適用部門I倉庫及生產(chǎn)部Thisdocumentistheexclusivepropertyofourcompany,andshallnotbereproducedorcopiedortransformedtoanyotherformatwithoutpriorpermissionofourcompany本文件為本公司專有之財產(chǎn),非經(jīng)許可不得復(fù)制、翻印或轉(zhuǎn)變成其他形式使用晶圓入庫流程文件編號制訂日期制訂部門頁數(shù)WI-MD-0012016-7-1資材部3/41

3、目的對晶圓入庫進(jìn)行更好的管控，防止品質(zhì)發(fā)生變異。2范圍適應(yīng)于本公司晶圓入庫3權(quán)限4.1客戶：提供晶圓4.2業(yè)務(wù)部：填寫入庫檢驗通知單、提供CP/Map/Ink報告及相關(guān)信息4.3IQC：負(fù)責(zé)檢驗芯片批號、名稱、花片/Map/Ink/盲封、厚度、片號、來料質(zhì)量、標(biāo)簽4.4倉庫：負(fù)責(zé)核實入庫單與晶圓標(biāo)簽是否一致，進(jìn)行入庫MES及單據(jù)保存4流程：(見附件)5程序內(nèi)容5.1倉庫每天至前臺收取快遞，通知業(yè)務(wù)至倉庫拆箱、填寫入庫檢驗通知單（客戶代碼、晶圓批號、名稱、片數(shù)、花片/Map/Ink/盲封）5.2業(yè)務(wù)部將入庫檢驗通知單、CP報告及晶圓一起移交至IQC檢驗，CP晶圓無CP報告暫扣倉庫5.3業(yè)務(wù)部、品

4、質(zhì)部按照檢驗規(guī)范進(jìn)行品質(zhì)檢驗；5.4IQC檢驗合格入庫檢驗單簽字，異常郵件通知業(yè)務(wù)部；5.5合格晶圓附入庫單及CP報告移交晶圓庫；5.6晶圓庫管員需對入庫晶圓客戶代碼、晶圓批號、名稱、片數(shù)、尺寸入庫單核對，將晶圓存放圓氮氣柜；5.7倉管員根據(jù)入庫單上信息，維護(hù)MES，確保入庫產(chǎn)品在線狀態(tài)與實際一致；5.8入庫后整理相應(yīng)的表單及保存。6相關(guān)文件晶圓CP報告晶圓入庫單通知單晶圓來料檢驗記錄表Thisdocumentistheexclusivepropertyofourcompany,andshallnotbereproducedorcopiedortransformedtoanyotherform

5、atwithoutpriorpermissionofourcompany本文件為本公司專有之財產(chǎn),非經(jīng)許可不得復(fù)制、翻印或轉(zhuǎn)變成其他形式使用晶圓入庫流程文件編號制訂日期制訂部門頁數(shù)WI-MD-0012016-7-1資材部4/4附件晶圓入庫流程圖文件編號：WI-MD-008A.0權(quán)限單位流程作業(yè)事項倉庫接受貨物倉庫接收快遞倉庫登記表單芯片批號、名稱、倉庫倉庫填寫入庫清單片數(shù)、測試情況（Map/Ink/花片/盲封）OK1.倉庫將入庫清單、Map/Ink/花倉庫通知IQC檢驗OK片報告及晶圓交由IQC檢驗2.Map/花片/Ink/圓片若無相關(guān)報告不檢驗暫扣倉庫通知業(yè)務(wù)部核對來料數(shù)量、厚度、NG批號、片號是否與入庫品質(zhì)部是否合格單一致。確認(rèn)來料質(zhì)量是否存在問題（如有問題，晶圓暫扣、通知倉庫及業(yè)務(wù)部門）倉庫放至晶圓柜指定位置OK儲存OK根據(jù)晶圓驗收標(biāo)簽及CP倉庫整理賬目報告入MES系統(tǒng)，并整理相應(yīng)表單編制：審核：批準(zhǔn)：Thisdocumentistheexclusivepropertyofourcompany,andshallnotbereproducedorcopiedortransf