008-晶圓入庫(kù)流程

1、晶圓入庫(kù)流程文件編號(hào)制訂日期制訂部門頁(yè)數(shù)WI-MD-0012016-7-1資材部1/4機(jī)密秘密普通晶圓入庫(kù)流程編制：審核：批準(zhǔn)：頒布日期：2016年7月1日實(shí)施日期：2016年7月1日Thisdocumentistheexclusivepropertyofourcompany,andshallnotbereproducedorcopiedortransformedtoanyotherformatwithoutpriorpermissionofourcompany本文件為本公司專有之財(cái)產(chǎn),非經(jīng)許可不得復(fù)制、翻印或轉(zhuǎn)變成其他形式使用制訂/修訂日期2016-7-1版本A.0晶圓入庫(kù)流程文件制訂/修訂

2、履歷制訂/修訂理由/內(nèi)容新全文制定文件編號(hào)制訂日期制訂部門頁(yè)數(shù)發(fā)行日期2016-7-1WI-MD-0012016-7-1資材部2/4備注文件適用部門I倉(cāng)庫(kù)及生產(chǎn)部Thisdocumentistheexclusivepropertyofourcompany,andshallnotbereproducedorcopiedortransformedtoanyotherformatwithoutpriorpermissionofourcompany本文件為本公司專有之財(cái)產(chǎn),非經(jīng)許可不得復(fù)制、翻印或轉(zhuǎn)變成其他形式使用晶圓入庫(kù)流程文件編號(hào)制訂日期制訂部門頁(yè)數(shù)WI-MD-0012016-7-1資材部3/41

3、目的對(duì)晶圓入庫(kù)進(jìn)行更好的管控，防止品質(zhì)發(fā)生變異。2范圍適應(yīng)于本公司晶圓入庫(kù)3權(quán)限4.1客戶：提供晶圓4.2業(yè)務(wù)部：填寫(xiě)入庫(kù)檢驗(yàn)通知單、提供CP/Map/Ink報(bào)告及相關(guān)信息4.3IQC：負(fù)責(zé)檢驗(yàn)芯片批號(hào)、名稱、花片/Map/Ink/盲封、厚度、片號(hào)、來(lái)料質(zhì)量、標(biāo)簽4.4倉(cāng)庫(kù)：負(fù)責(zé)核實(shí)入庫(kù)單與晶圓標(biāo)簽是否一致，進(jìn)行入庫(kù)MES及單據(jù)保存4流程：(見(jiàn)附件)5程序內(nèi)容5.1倉(cāng)庫(kù)每天至前臺(tái)收取快遞，通知業(yè)務(wù)至倉(cāng)庫(kù)拆箱、填寫(xiě)入庫(kù)檢驗(yàn)通知單（客戶代碼、晶圓批號(hào)、名稱、片數(shù)、花片/Map/Ink/盲封）5.2業(yè)務(wù)部將入庫(kù)檢驗(yàn)通知單、CP報(bào)告及晶圓一起移交至IQC檢驗(yàn)，CP晶圓無(wú)CP報(bào)告暫扣倉(cāng)庫(kù)5.3業(yè)務(wù)部、品

4、質(zhì)部按照檢驗(yàn)規(guī)范進(jìn)行品質(zhì)檢驗(yàn)；5.4IQC檢驗(yàn)合格入庫(kù)檢驗(yàn)單簽字，異常郵件通知業(yè)務(wù)部；5.5合格晶圓附入庫(kù)單及CP報(bào)告移交晶圓庫(kù)；5.6晶圓庫(kù)管員需對(duì)入庫(kù)晶圓客戶代碼、晶圓批號(hào)、名稱、片數(shù)、尺寸入庫(kù)單核對(duì)，將晶圓存放圓氮?dú)夤瘢?.7倉(cāng)管員根據(jù)入庫(kù)單上信息，維護(hù)MES，確保入庫(kù)產(chǎn)品在線狀態(tài)與實(shí)際一致；5.8入庫(kù)后整理相應(yīng)的表單及保存。6相關(guān)文件晶圓CP報(bào)告晶圓入庫(kù)單通知單晶圓來(lái)料檢驗(yàn)記錄表Thisdocumentistheexclusivepropertyofourcompany,andshallnotbereproducedorcopiedortransformedtoanyotherform

5、atwithoutpriorpermissionofourcompany本文件為本公司專有之財(cái)產(chǎn),非經(jīng)許可不得復(fù)制、翻印或轉(zhuǎn)變成其他形式使用晶圓入庫(kù)流程文件編號(hào)制訂日期制訂部門頁(yè)數(shù)WI-MD-0012016-7-1資材部4/4附件晶圓入庫(kù)流程圖文件編號(hào)：WI-MD-008A.0權(quán)限單位流程作業(yè)事項(xiàng)倉(cāng)庫(kù)接受貨物倉(cāng)庫(kù)接收快遞倉(cāng)庫(kù)登記表單芯片批號(hào)、名稱、倉(cāng)庫(kù)倉(cāng)庫(kù)填寫(xiě)入庫(kù)清單片數(shù)、測(cè)試情況（Map/Ink/花片/盲封）OK1.倉(cāng)庫(kù)將入庫(kù)清單、Map/Ink/花倉(cāng)庫(kù)通知IQC檢驗(yàn)OK片報(bào)告及晶圓交由IQC檢驗(yàn)2.Map/花片/Ink/圓片若無(wú)相關(guān)報(bào)告不檢驗(yàn)暫扣倉(cāng)庫(kù)通知業(yè)務(wù)部核對(duì)來(lái)料數(shù)量、厚度、NG批號(hào)、片號(hào)是否與入庫(kù)品質(zhì)部是否合格單一致。確認(rèn)來(lái)料質(zhì)量是否存在問(wèn)題（如有問(wèn)題，晶圓暫扣、通知倉(cāng)庫(kù)及業(yè)務(wù)部門）倉(cāng)庫(kù)放至晶圓柜指定位置OK儲(chǔ)存OK根據(jù)晶圓驗(yàn)收標(biāo)簽及CP倉(cāng)庫(kù)整理賬目報(bào)告入MES系統(tǒng)，并整理相應(yīng)表單編制：審核：批準(zhǔn)：Thisdocumentistheexclusivepropertyofourcompany,andshallnotbereproducedorcopiedortransf