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文檔簡介
第5章絕緣柵場效應(yīng)晶體管場效應(yīng)晶體管(FieldEffectTransistor,F(xiàn)ET)是另一類重要的微電子器件。這是一種電壓控制型多子導(dǎo)電器件,又稱為單極型晶體管。這種器件與雙極型晶體管相比,有以下優(yōu)點①輸入阻抗高;(有利于制做靈敏的探測器)②溫度穩(wěn)定性好;③噪聲?。虎艽箅娏魈匦院?;⑤無少子存儲效應(yīng),開關(guān)速度高;⑥制造工藝簡單;結(jié)型柵場效應(yīng)晶體管(JFET)肖特基勢壘柵場效應(yīng)晶體管(MESFET)絕緣柵場效應(yīng)晶體管(IGFET或MOSFET)
場效應(yīng)晶體管(FET)的分類JFET和MESFET的工作原理相同。以JFET為例,用一個低摻雜的半導(dǎo)體作為導(dǎo)電溝道,在半導(dǎo)體的一側(cè)或兩側(cè)制作PN結(jié),并加上反向電壓。利用PN結(jié)勢壘區(qū)寬度隨反向電壓的變化而變化的特點來控制導(dǎo)電溝道的截面積,從而控制溝道的導(dǎo)電能力。兩種FET的不同之處僅在于,JFET是利用PN結(jié)作為控制柵,而MESFET則是利用金-半結(jié)(肖特基勢壘結(jié))來作為控制柵。IGFET的工作原理略有不同,利用電場能來控制半導(dǎo)體的表面狀態(tài),從而控制溝道的導(dǎo)電能力。根據(jù)溝道導(dǎo)電類型的不同,每類FET又可分為N
溝道器件和
P
溝道器件。
MESFET的基本結(jié)構(gòu)絕緣柵場效應(yīng)晶體管按其早期器件的縱向結(jié)構(gòu)又被稱為“金屬-氧化物-半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管”,簡稱為MOSFET,但現(xiàn)在這種器件的柵電極實際不一定是金屬,絕緣柵也不一定是氧化物,但仍被習(xí)慣地稱為MOSFET。
5.1MOSFET
基礎(chǔ)
5.1.1MOSFET
的結(jié)構(gòu)
MOSFET的立體結(jié)構(gòu)
5.1.2MOSFET
的工作原理當(dāng)
VGS<VT(稱為
閾電壓)時,N+
型的源區(qū)與漏區(qū)之間隔著P
型區(qū),且漏結(jié)反偏,故無漏極電流。當(dāng)
VGS
>VT時,柵下的P
型硅表面發(fā)生
強反型
,形成連通源、漏區(qū)的N
型
溝道
,在
VDS作用下產(chǎn)生漏極電流ID。對于恒定的
VDS
,VGS越大,溝道中的電子就越多,溝道電阻就越小,ID
就越大。所以MOSFET是通過改變
VGS來控制溝道的導(dǎo)電性,從而控制漏極電流ID
,是一種電壓控制型器件。
轉(zhuǎn)移特性曲線:VDS恒定時的VGS~
ID曲線。MOSFET的轉(zhuǎn)移特性反映了柵源電壓
VGS對漏極電流
ID的控制能力。N
溝道MOSFET
當(dāng)VT>0時,稱為
增強型
,為
常關(guān)型。VT
<0時,稱為
耗盡型
,為
常開型。IDVGSVT0IDVGSVT0P
溝道MOSFET
的特性與N
溝道MOSFET
相對稱,即:(1)襯底為N
型,源漏區(qū)為P+
型。(2)VGS、VDS的極性以及ID
的方向均與N
溝相反。(3)溝道中的可動載流子為空穴。(4)VT
<0時稱為增強型(常關(guān)型),VT>0時稱為耗盡型(常開型)。
5.1.3MOSFET
的類型②過渡區(qū)隨著VDS增大,漏附近的溝道變薄,溝道電阻增大,曲線逐漸下彎。當(dāng)VDS
增大到
VDsat(飽和漏源電壓)時,漏端處的可動電子消失,這稱為溝道被
夾斷,如圖中的AB段所示。線性區(qū)與過渡區(qū)統(tǒng)稱為
非飽和區(qū),有時也統(tǒng)稱為
線性區(qū)。③飽和區(qū)當(dāng)
VDS>VDsat后,溝道夾斷點左移,漏附近只剩下耗盡區(qū)。這時ID幾乎與
VDS無關(guān)而保持常數(shù)IDsat,曲線為水平直線,如圖中的BC段所示。實際上ID隨
VDS的增大而略有增大,曲線略向上翹。④擊穿區(qū)
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