場發(fā)射掃描電子顯微鏡系統(tǒng) 技術(shù)參數(shù)

場發(fā)射掃描電子顯微鏡系統(tǒng) 技術(shù)參數(shù)一、 貨物名稱及數(shù)量：場發(fā)射掃描電子顯微鏡系統(tǒng)一臺二、 主要技術(shù)規(guī)格及要求2.1基本要求2.1.1發(fā)射源：熱場發(fā)射電子槍*2.1.2物鏡系統(tǒng)：電磁/靜電式物鏡系統(tǒng)，電子束無交叉光路設(shè)計*2.1.3分辨率：0.8nm@15kV1.6nm@1kV*2.1.4加速電壓范圍：20V—30kV，連續(xù)可調(diào)*2.1.5放大倍數(shù)范圍：12X—1,000,000X，連續(xù)可調(diào)2.1.6探針電流：范圍4pA-20nA，連續(xù)可調(diào)穩(wěn)定度優(yōu)于0.2%/h2.1.7減震方式：自動水平系統(tǒng)2.2真空系統(tǒng)2.2.1樣品室極限真空度：@2X10-4Pa2.2.2換樣抽真空時間：小于3min。2.3樣品室及樣品臺*2.3.1樣品室尺寸（不小于）：內(nèi)部直徑520mm，高度300mm2.3.2集成8英寸樣品交換室*2.3.3配備四個探測器：環(huán)形高效完全內(nèi)置式In-lens二次電子探測器樣品室內(nèi)ETSE二次電子探測器4QBSDAsB背散射電子探測器樣品室內(nèi)紅外CCD攝像機(jī)*2.3.4樣品臺：類型6軸全自動馬達(dá)驅(qū)動超優(yōu)中心樣品臺安裝抽屜式控制雙操縱桿控制盒*2.3.5樣品臺馬達(dá)移動范圍（不小于）：152mm（X方向），152mm（Y方向），43mm（Z方向），10mm（Z’方向），-15-60°（傾斜），360°（旋轉(zhuǎn)）2.3.6能譜儀工作條件：工作距離8.5mm，X射線出射角35*2.3.7物鏡光欄：數(shù)量不少于6孔更換與對中方式電磁式2.4圖像處理系統(tǒng)配套計算機(jī)系統(tǒng)（不低于）：CPUIntelPentium2Quad;2.33GHzQuadCore，RAM4仔^硬盤1TB，光盤刻錄機(jī)，19〃TFT顯示屏，鍵盤，鼠標(biāo)，USB接口。2.4.2顯示圖像分辨率：不小于1024X768像素2.4.3最大存儲圖像分辨率：不小于3072X2304像素2.4.4存儲圖象格式：TIFF、BMP與JPEG2.4.5降噪方式：像素平均、幀/行平均、幀/行疊加2.5控制系統(tǒng)2.5.1操作系統(tǒng)WindowsXP，電鏡操作控制軟件。2.5.2自動功能：自動電子槍啟動，電子槍自動對中，自動偏壓調(diào)整，自動鏡筒參數(shù)控制，磁滯校正，自動聚焦，聚焦補(bǔ)償，動態(tài)聚焦，旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償，自動消像散，圖像混合，掃描旋轉(zhuǎn)，傾斜補(bǔ)償，圖像降噪處理。2.5.3分屏顯示，雙放大，直方圖，偽彩色，圖像注釋，圖像測量。3、附件及備件X射線能譜儀3.1.1探測器：3.1.1.1硅漂移品體，超薄窗口，完全獨(dú)立真空；晶體實際面積不小于30mm2，有效采集面積不小于20mm2,場效應(yīng)管（FET）與晶體分離，獨(dú)立封裝；適合低電壓或小束流分析，可以分析納米尺度的元素成份，有效延長燈絲壽命。3.1.1.2活性區(qū)面積：20mm23.1.1.3分辨率：MnKa優(yōu)于127eV；在不同計數(shù)率下譜峰穩(wěn)定，分辨率變化小于1eV。3.1.1.4探測元素范圍：Be（4）到Pu（94）3.1.1.5免維護(hù)性：無需加液氮，帕爾帖制冷，隨時可以斷電，探頭不結(jié)霜。3.1.1.6輸出最大計數(shù)率：大于 500,000CPS譜峰無畸變，可處理最大計數(shù)率優(yōu)于750,000CPS3.1.2軟件系統(tǒng)：3.1.2.1分析導(dǎo)航器。3.1.2.2全中文軟件操作界面。3.1.2.3信息管理系統(tǒng)。3.1.2.4實驗報告系統(tǒng)。3.1.2.5元素面分布分析軟件。具備點(diǎn)、線、面掃描分析功能，高帽法扣除背景避免人為誤差，可自動和手動進(jìn)行全譜元素譜峰識別，并具有檢驗重疊峰剝離準(zhǔn)確性以及合峰效應(yīng)的有效方法。3.1.2.6電子束任意定位和分析軟件。3.1.2.7定性、定量分析軟件。采用最先進(jìn)的XPP修正技術(shù),可對拋光表面或粗糙表面進(jìn)行點(diǎn)、線和面的分析；具有虛擬標(biāo)樣法（間接標(biāo)樣法）以及有標(biāo)樣法（直接標(biāo)樣法）；可以方便的得到歸一化和非歸一化結(jié)果。3.1.2.7離線分析：具備全譜離線分析功能，一次采集全譜元素可以重建和再定量。3.1.2.8輕元素分析準(zhǔn)確可靠，空間分辨率好。3.1.2.9圖像輸出：可在能譜平臺上采集電子圖像，支持BMP,TIFF,JPEG等流行的圖像格式，對視場上任選區(qū)域進(jìn)行能譜分析和線、面掃描，可得到元素的線分布、常規(guī)面分布、快速面分布和定量面分布等。3.1.2.10實驗報告：多種輸出格式，支持WORD文檔轉(zhuǎn)換和存儲。3.1.2.11與電鏡聯(lián)機(jī)的相關(guān)軟件，直接讀出電鏡參數(shù)。3.1.2.12軟件版本開放，可以在任意其他數(shù)據(jù)處理計算機(jī)上安裝離線軟件。3.1.3計算機(jī)系統(tǒng)（最低配置）：IntelCoreCPU操作系統(tǒng)：WindowsXPRAM：4GB硬盤：500GB顯示器：22'彩色LCD顯示器3.1.3.6打印機(jī)：彩色打印機(jī)3.1.3.7DVD/RW刻錄光驅(qū)3.1.3.8和電鏡室煙臺一體化設(shè)計的原裝專用實驗臺3.2主動防震臺3.2.1防震性能表:

震動頻率最大的環(huán)境震動幅度(um/secrms)使用減震臺后的震動幅度(“m/secrms)0.12.02.00.52.42.01.04.62.01.511.12.02.017.72.02.524.32.03.032.42.03.537.62.04.042.82.05.075.72.06.091.22.07.085.22.08.087.62.010.088.92.012.087.02.015.080.32.020.0194.06.030.0328.96.050.0634.66.0100.01