標準解讀

《GB/T 16523-1996 圓形石英玻璃光掩?;逡?guī)范》作為一項技術(shù)標準,為圓形石英玻璃光掩?;宓纳a(chǎn)、檢驗及應(yīng)用提供了詳細要求和指標。然而,您提供的對比項似乎不完整,沒有明確指出要與哪個具體的標準或版本進行比較。因此,直接列出該標準的具體變更內(nèi)容而不涉及對比的情況下,可以概述其主要規(guī)定和要求,但無法直接闡述相對于某一特定標準的差異。

《GB/T 16523-1996》主要涵蓋了以下幾個方面的內(nèi)容:

  1. 尺寸與外形:規(guī)定了圓形石英玻璃光掩?;宓闹睆?、厚度及其公差范圍,確保了產(chǎn)品的一致性和互換性。
  2. 材料與制造:明確了基板使用的石英玻璃類型及其純度要求,同時對制造過程中的平整度、內(nèi)部應(yīng)力等有嚴格規(guī)定,以減少缺陷和提高光學(xué)性能。
  3. 光學(xué)性能:包括透光率、均勻性等關(guān)鍵指標,確保光掩模在半導(dǎo)體制造過程中的精確曝光。
  4. 表面質(zhì)量:詳細描述了表面粗糙度、潔凈度等要求,避免污染物影響集成電路圖案的轉(zhuǎn)移精度。
  5. 機械強度與穩(wěn)定性:規(guī)定了基板需承受的機械應(yīng)力測試條件及其合格標準,保證其在使用過程中的穩(wěn)定性和耐久性。

若要了解與另一具體標準相比的具體變更,需要提供該對比標準的詳細信息。例如,如果比較的是新舊兩個版本的標準,通常變更可能涉及技術(shù)指標的更新(如更嚴格的尺寸公差、更高的光學(xué)性能要求)、新增測試方法、環(huán)保要求的加入或是生產(chǎn)流程的優(yōu)化指導(dǎo)等。


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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 1996-09-09 頒布
  • 1997-05-01 實施
?正版授權(quán)
GB/T 16523-1996圓形石英玻璃光掩?;逡?guī)范_第1頁
GB/T 16523-1996圓形石英玻璃光掩模基板規(guī)范_第2頁
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GB/T 16523-1996圓形石英玻璃光掩模基板規(guī)范-免費下載試讀頁

文檔簡介

ICS31.200L90中華人民共和國國家標準GB/T16523一-1996圓形石英玻璃光掩?;逡?guī)范Specificationforroundguartzphotomasksubstrates1996-09-09發(fā)布1997-05-01實施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

GB/T16523-1996本標準等效采用SEMI標準的SEMIP4-92《圓形石英玻璃光掩?;逡?guī)范》。本標準第3章要求全部按SEMIP4-92制定,標準格式按GB/T1.1一1993《標準化工作導(dǎo)則標準編寫的基本規(guī)定》編制。SEMI標準是半導(dǎo)體設(shè)備和材料國際標準,具有較高的科學(xué)性和先進性,內(nèi)容全面,標準配套。本標準與已經(jīng)轉(zhuǎn)化為我國標準的SEMIP1-92《硬面光掩?;濉?GB/T15871一1995)、SEMIP2-86《硬面光掩模用鉻薄膜》(GB/T15870-1995)、SEMIP3-90《硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑規(guī)范》GB/T16527一1996)、SEMIP6-88《光掩模對準標記規(guī)范》GB/T16524一1996)及準備轉(zhuǎn)化為我國標準的SEMIP21—92《掩模瞬光系統(tǒng)準確度表示準則》SEMIP22—93《光掩模缺陷分類和尺寸定義的指南》、SEMIP19一92《用于集成電路制造技術(shù)的檢測圖形單元規(guī)范》等項標準形成一個微型構(gòu)圖標淮系列。本標準附錄A是提示的附錄本標準由中華人民共和國電子工業(yè)部提出。本標準由電子工業(yè)部標準化研究所歸口。本標準起草單位:長沙韶光微電子總公司,電子工業(yè)部標準化研究所。本標準主要起草人:談仁良、吳保華、王亦林、韓艷芬,

中華人民共和國國家標準GB/T16523-1996圓形石英玻璃光掩?;逡?guī)范Specificationforroundquartzphotomasksubstrates范圍本標準規(guī)定了圓形石英玻璃光掩模基板的技術(shù)要求、試驗方法等內(nèi)容。本標準適用于圓形石英玻璃光掩模基板、2引用標準下列標準所包含的條文,通過在本標準中引用而構(gòu)成為本標準的條文。本標準出版時,所示版本均為有效。所有標準都會被修訂,使用本標準的各方應(yīng)探討使用下列標準最新版本的可能性.GB191—90包裝儲運圖示標志GB2828—87逐批檢在計數(shù)抽樣程序及抽樣表(適用于連續(xù)批的檢查)GB2829—87周期檢查計數(shù)抽樣程序及抽樣表(適用于生產(chǎn)過程穩(wěn)定性的檢查)GB7238—87玻璃及鉻版表面平整度的測試方法GB9622.2-88電子玻璃平均線熱膨脹系數(shù)的測試方法要求和測量方法3.1外形尺寸3.1.1圓形石英玻璃光

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