GB/T 16943-2009電子工業(yè)用氣體氦

犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜１６９４３—２００９

代替ＧＢ／Ｔ１６９４３—１９９７

電子工業(yè)用氣體氦

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２００９１０３０發(fā)布２０１００５０１實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜１６９４３—２００９

前言

本標準代替ＧＢ／Ｔ１６９４３—１９９７《電子工業(yè)用氣體氦》。

本標準與ＧＢ／Ｔ１６９４３—１９９７相比主要變化如下：

———修改氦的適用范圍（ＧＢ／Ｔ１６９４３—１９９７的第１章，本版的第１章）；

———修改規(guī)范性引用文件（ＧＢ／Ｔ１６９４３—１９９７的第２章，本版的第２章）；

———修改技術指標內容：增加一類產(chǎn)品純度和雜質含量（ＧＢ／Ｔ１６９４３—１９９７的第３章，本版的第

３章）；

———修改瓶裝氦抽樣方法（ＧＢ／Ｔ１６９４３—１９９７的４．１，本版的４．１．１）；

———增加集裝閣裝、大容積鋼質無縫氣瓶裝和杜瓦罐裝氦產(chǎn)品并規(guī)定檢驗方法（見４．１．１）；

———增加管道輸送的氦產(chǎn)品并規(guī)定檢驗方法（見４．１．２）；

———增加氦的采樣安全要求（見４．１．３）；

———增加新的分析方法：增加用氦放電離子化氣相色譜法測定氦中的氧、一氧化碳和二氧化碳組

分；增加其他方法測定總烴含量；當出現(xiàn)多種分析方法時，增加規(guī)定仲裁方法（見４．３）；

———修改水分的測定方法（ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７的４．５，本版的４．５）；

———修改標志、包裝、貯運及安全（ＧＢ／Ｔ１６９４３—１９９７的第５章，本版的第５章）；

———增加安全要求（見５．６）；

———增加規(guī)范性附錄Ａ，并把采用氦離子化氣相色譜法測定氦中的氧、氮、一氧化碳和二氧化碳組

分的方法寫入該附錄（見附錄Ａ）。

本標準的附錄Ａ為規(guī)范性附錄。

本標準由全國半導體材料和設備標準化技術委員會提出。

本標準由全國半導體材料和設備標準化技術委員會氣體分會歸口。

本標準起草單位：西南油氣田分公司成都天然氣化工總廠、北京氦普北分氣體工業(yè)有限公司、西南

化工研究設計院。

本標準主要起草人：劉澤軍、付永成、趙俊秀、周鵬云。

本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１６９４３—１９９７。

Ⅰ

書

犌犅／犜１６９４３—２００９

電子工業(yè)用氣體氦

１范圍

本標準規(guī)定了氦的技術要求，試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。

本標準適用于以深冷法從天然氣、空氣和工廠弛放氣中提取的氣態(tài)和液態(tài)氦，以及經(jīng)純化方法得到

的氦。它們在半導體制造中用作清洗氣、加壓氣，也用作載氣和保護氣等。

分子式：Ｈｅ。

相對分子質量：４．００３（按２００５年國際相對原子質量）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ１９０—２００９危險貨物包裝標志

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則

ＧＢ５０９９鋼質無縫氣瓶

ＧＢ／Ｔ５８３２．１氣體中濕度的測定電解法

ＧＢ／Ｔ６２８５氣體中微量氧的測定電化學法

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標志

ＧＢ／Ｔ８９８４氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法

ＧＢ１４１９４永久氣體氣瓶充裝規(guī)定

ＧＢ１６９１２深度冷凍法生產(chǎn)氧氣及相關氣體安全技術規(guī)程

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程

壓力容器安全監(jiān)察規(guī)程

壓力管道安全管理與監(jiān)察規(guī)定

３技術要求

３．１氦的質量應符合表１的要求。

表１技術指標

項目指標

氦氣（Ｈｅ）純度（體積分數(shù)）／１０－２≥９９．９９９９９９．９９９５

一氧化碳：０．１

－６

一氧化碳（ＣＯ）和二氧化碳（ＣＯ２）總含量（體積分數(shù)）／１０＜１

二氧化碳：０．１

－６

氮（Ｎ２）含量（體積分數(shù)）／１０＜０．５２

－６

氧（Ｏ２）含量（體積分數(shù)）／１０＜０．２０．５

總烴（以甲烷計）含量（體積分數(shù)）／１０－６＜０．１０．５

－６

水分（Ｈ２Ｏ）含量（體積分數(shù)）／１０＜０．２