GB/T 23414-2009微束分析掃描電子顯微術術語

犐犆犛０１．０４０．３７：３７．０２０

犖３３

中華人民共和國國家標準

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微束分析掃描電子顯微術術語

犕犻犮狉狅犫犲犪犿犪狀犪犾狔狊犻狊—犛犮犪狀狀犻狀犵犲犾犲犮狋狉狅狀犿犻犮狉狅狊犮狅狆狔—

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（ＩＳＯ２２４９３：２００８，ＩＤＴ）

２００９０４０１發(fā)布２００９１２０１實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

書

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目次

前言!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!Ⅰ

引言!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!Ⅱ

１范圍!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

２縮略語!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

３ＳＥＭ物理基礎術語!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

４ＳＥＭ儀器術語!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!５

５ＳＥＭ成像和圖像處理術語!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１０

６ＳＥＭ圖像詮釋和分析術語!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１４

７ＳＥＭ圖像放大倍率和分辨率校正及測量術語!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１６

參考文獻!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１８

中文索引!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１９

英文索引!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２２

書

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前言

本標準等同采用國際標準ＩＳＯ２２４９３：２００８《微束分析掃描電子顯微術術語》（英文版）。

為了便于使用，本標準做了下列編輯性修改：

———“本國際標準”一詞改為“本標準”；

———刪除國際標準的前言。

———“掃描電子顯微鏡”簡稱“掃描電鏡”。

———增加了中文索引。

本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口。

本標準起草單位：中國科學院上海硅酸鹽研究所。

本標準主要起草人：李香庭、曾毅。

Ⅰ

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引言

ＳＥＭ技術通常用于觀察和表征金屬、合金、陶瓷、玻璃、礦物、聚合物和粉體等固體材料在微米納

米范圍內的形貌和組織。另外，應用聚焦離子束與掃描電鏡分析技術能產生３維結構。ＳＥＭ技術的物

理基礎是電子光學、電子散射和二次電子發(fā)射的機理。

ＳＥＭ技術是微束分析（ＭＢＡ）的一個主要分支，已廣泛應用于高技術工業(yè)、基礎工業(yè)、冶金和地質、

生物和醫(yī)藥、環(huán)境保護和商貿等領域。各技術領域的術語標準化是該領域標準化發(fā)展的先決條件之一。

本標準是有關ＳＥＭ的術語，它包含掃描電鏡在科學和工程領域實踐中共同應用的術語定義。本

標準是ＩＳＯ／ＴＣ２０２微束分析技術委員會，ＳＣ１術語分技術委員會為完成微束分析（ＭＢＡ）領域中電子

探針顯微分析（ＥＰＭＡ）、掃描電子顯微術（ＳＥＭ）、分析電子顯微術（ＡＥＭ）、能譜法（ＥＤＸ）等系列標準中

的第二個標準，主要內容包括：

ＳＥＭ物理基礎術語；

ＳＥＭ儀器術語；

ＳＥＭ成像和圖像處理術語；

ＳＥＭ圖像詮釋和分析術語；

ＳＥＭ圖像放大倍率和分辯率校正及測量術語。

Ⅱ

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微束分析掃描電子顯微術術語

１范圍

本標準定義了掃描電子顯微術（ＳＥＭ）實踐中使用的術語。包括一般術語和按技術分類的具體概

念的術語，也包括已經在ＩＳＯ２３８３３中定義的術語。

本標準適用于所有有關ＳＥＭ實踐的標準化文件。另外，本標準的某些術語定義，也適用于相關領

域的文件〔例如：電子探針顯微分析（ＥＰＭＡ）、分析電子顯微術（ＡＥＭ）、能譜法（ＥＤＸ）等〕。

２縮略語

ＡＥＭａｎａｌｙｔｉｃａｌｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ／ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ分析電子顯微術／分析電子顯微鏡

ＢＳＥ（ＢＥ）ｂａｃｋｓｃａｔｔｅｒｅｄｅｌｅｃｔｒｏｎ背散射電子

ＣＰＳＥＭｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄｐｒｅｓｓｕｒｅｓｃａｎｎｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ可控氣壓掃描電鏡

ＣＲＴｃａｔｈｏｄｅｒａｙｔｕｂｅ陰極射線管

ＥＢＩＣｅｌｅｃｔｒｏｎｂｅａｍｉｎｄｕｃｅｄｃｕｒｒｅｎｔ電子束感生電流

ＥＢＳＤｅｌｅｃｔｒｏｎｂａｃｋｓｃａｔｔｅｒ／ｂａｃｋｓｃａｔｔｅｒｉｎｇｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ電子背散射衍射

ＥＤＳｅｎｅｒｇｙｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅＸｒａｙｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ／ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ能譜儀／能譜法

ＥＤＸｅｎｅｒｇｙｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅＸｒａｙｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ能譜法

ＥＰＭＡｅｌｅｃｔｒｏｎｐｒｏｂｅｍｉｃｒｏａｎａｌｙｓｉｓ／ａｎａｌｙｚｅｒ電子探針顯微分析／電子探針儀

ＥＳＥＭｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔａｌｓｃａｎｎｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ／ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ環(huán)境掃描電鏡／環(huán)境掃描電子顯

微術

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