GB/T 28893-2012表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和X射線光電子能譜測(cè)定峰強(qiáng)度的方法和報(bào)告結(jié)果所需的信息

ICS7104040

G04..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T28893—2012/ISO209032006

:

表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和

X射線光電子能譜測(cè)定峰強(qiáng)度的

方法和報(bào)告結(jié)果所需的信息

Surfacechemicalanalysis—AugerelectronspectroscopyandX-ray

photoelectronspectroscopy—Methodsusedtodeterminepeakintensities

andinformationrequiredwhenreportingresults

(ISO20903:2006,IDT)

2012-11-05發(fā)布2013-06-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T28893—2012/ISO209032006

:

目次

前言…………………………

Ⅰ

引言…………………………

Ⅱ

范圍………………………

11

規(guī)范性引用文件…………………………

21

術(shù)語(yǔ)和定義………………

31

符號(hào)和縮略語(yǔ)……………

41

直接譜的峰強(qiáng)度測(cè)定方法………………

51

概述…………………

5.11

非彈性本底的選擇和扣除…………

5.22

峰強(qiáng)度的測(cè)量………………………

5.33

峰高度的測(cè)量……………………

5.3.13

峰面積的測(cè)量……………………

5.3.23

用計(jì)算機(jī)軟件測(cè)量峰強(qiáng)度…………

5.44

重疊峰譜圖的峰強(qiáng)度測(cè)量…………

5.54

峰面積測(cè)量的不確定度……………

5.64

俄歇電子微分譜的峰強(qiáng)度測(cè)定方法……………………

65

概要…………………

6.15

俄歇電子微分譜強(qiáng)度的測(cè)量………………………

6.25

俄歇電子微分譜強(qiáng)度測(cè)量的不確定度……………

6.36

測(cè)量峰強(qiáng)度方法的報(bào)告…………………

76

一般要求……………

7.16

測(cè)定直接譜峰強(qiáng)度的方法…………

7.26

單峰的強(qiáng)度測(cè)量…………………

7.2.16

擬合峰的強(qiáng)度測(cè)量………………

7.2.26

獲得和測(cè)定俄歇電子微分譜峰強(qiáng)度的方法………

7.37

獲得微分譜的方法………………

7.3.17

測(cè)定峰強(qiáng)度的方法………………

7.3.27

附錄資料性附錄儀器對(duì)測(cè)量強(qiáng)度的影響…………

A()8

參考文獻(xiàn)………………………

9

GB/T28893—2012/ISO209032006

:

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)使用翻譯法等同采用表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和射線光電子能譜

ISO20903:2006《X

測(cè)定峰強(qiáng)度的方法和報(bào)告結(jié)果所需的信息

》

為了方便使用本標(biāo)準(zhǔn)做了下列編輯性修改

,:

用本標(biāo)準(zhǔn)代替本國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

———“”“”。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位廈門(mén)愛(ài)勞德光電有限公司廈門(mén)大學(xué)化學(xué)化工學(xué)院

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)起草人王水菊時(shí)海燕岑丹霞姚文清劉芬沈電洪

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T28893—2012/ISO209032006

:

引言

俄歇電子能譜和射線光電子能譜的重要特征是能獲得固體樣品表面區(qū)域的定量分

(AES)X(XPS)

析此分析需要測(cè)定某些窄譜的強(qiáng)度

。。

和有若干種測(cè)量峰強(qiáng)度的方法方法的選擇取決于所分析樣品的類型所用儀器的性

AESXPS。、

能和所用數(shù)據(jù)采集和處理的方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)有兩個(gè)主要應(yīng)用領(lǐng)域一本標(biāo)準(zhǔn)表述了測(cè)定譜圖中某一元素峰強(qiáng)度的方法給出了處理中

。,,

原始不確定度及如何減小這些不確定度的信息二本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了報(bào)告所用峰強(qiáng)度測(cè)量方法的要求使

。,,

其他分析人員可自信地使用發(fā)表的結(jié)果

。

Ⅱ

GB/T28893—2012/ISO209032006

:

表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和

X射線光電子能譜測(cè)定峰強(qiáng)度的

方法和報(bào)告結(jié)果所需的信息

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了俄歇電子能譜和射線光電子能譜的峰強(qiáng)度測(cè)量的分析結(jié)果報(bào)告中所要求的必要

X

信息提供了峰強(qiáng)度測(cè)量方法和所得峰面積的不確定度信息

。。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學(xué)分析詞匯

GB/T22461—2008,(ISO18115:2001,IDT)

3術(shù)語(yǔ)和定義

中界定的術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

GB/T22461—2008