GB/T 34879-2017產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)光學(xué)共焦顯微鏡計(jì)量特性及測(cè)量不確定度評(píng)定導(dǎo)則

ICS1704030

J04..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T34879—2017

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范GPS

()

光學(xué)共焦顯微鏡計(jì)量特性及測(cè)量

不確定度評(píng)定導(dǎo)則

GeometricalroductsecificationsGPS—Metroloical

pp()g

characteristicsandguidetouncertaintyofmeasurement

foropticalconfocalmicroscopes

2017-11-01發(fā)布2018-05-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T34879—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC240)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位哈爾濱工業(yè)大學(xué)中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院北京銳馳恒業(yè)儀器

:、、、

科技有限公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人劉儉李夢(mèng)周明翠新陳剛施玉書譚久彬王偉波劉辰光王宇航李亮

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T34879—2017

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范GPS

()

光學(xué)共焦顯微鏡計(jì)量特性及測(cè)量

不確定度評(píng)定導(dǎo)則

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)描述了光學(xué)共焦顯微鏡在宏觀或微觀三維表面形狀測(cè)量中的計(jì)量特性并規(guī)定了測(cè)量不確

,

定度評(píng)定的橫向和軸向測(cè)量結(jié)果的示值讀取方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于工業(yè)測(cè)量光學(xué)共焦顯微鏡

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)區(qū)域法第部分表面層析測(cè)量方法

ISO25178-600(GPS):600:

的計(jì)量特性

(Geometricalproductspecifications(GPS)—Surfacetexture:Areal—Part600:Metrologi-

calcharacteristicsforareal-topographymeasuringmethods)

3術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

。

31

.

共焦顯微術(shù)confocalmicroscopyCM

;

采用約束性照明和約束性探測(cè)借助軸向掃描獲得光學(xué)層析圖像并通過(guò)提取軸向最大信號(hào)位置確

,,

定區(qū)域樣品表面形狀的測(cè)量方法

。

注實(shí)現(xiàn)照明與探測(cè)約束的掩模圖案可能為單點(diǎn)多點(diǎn)網(wǎng)格或狹縫等任一能夠產(chǎn)生層析特性的掩模圖案

:、、。

32

.

照明模式illuminationpattern

使用特定圖形結(jié)構(gòu)限定樣品被照明范圍的照明方式

。

33

.

探測(cè)模式detectionpattern

使用特定圖形結(jié)構(gòu)限定探測(cè)器接收樣品成像信號(hào)區(qū)域范圍的探測(cè)方式

。

34

.

光學(xué)層析能力opticalsectioningstrength

共焦顯微鏡阻止離焦光信號(hào)被探測(cè)器接收的程度

。

35

.

平面掃描in-planescanning

在x-平面內(nèi)獲得共焦層析圖像的機(jī)械或光學(xué)位移

y。

36

.

軸向掃描axialscan