GB/T 36306-2018潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空氣化學污染控制指南

ICS1304035

C70..

中華人民共和國國家標準

GB/T36306—2018

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

空氣化學污染控制指南

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Guidelinesforairbornechemicalcontaminationcontrol

2018-06-07發(fā)布2018-10-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T36306—2018

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

污染源分級與分類

4、………………………2

檢測

5………………………2

空氣化學污染控制

6………………………2

附錄資料性附錄微電子和光電子領域?qū)諝饣瘜W污染物的分級與分類

A()………3

附錄資料性附錄氣相污染物監(jiān)測與相關(guān)分析測定儀器

B()…………4

附錄資料性附錄控制化學分子污染設施系統(tǒng)

C()……………………9

附錄資料性附錄微電子工業(yè)潔凈室空氣化學污染控制標準

D()……11

參考文獻

……………………15

GB/T36306—2018

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC319)。

本標準起草單位南京天加環(huán)境科技有限公司蘇州工業(yè)園區(qū)嘉合環(huán)境技術(shù)工程有限公司蘇州華

:、、

泰空氣過濾器有限公司蘇州市計量測試研究所愛美克空氣過濾器蘇州有限公司中國電子工程設

、、()、

計院蘇州市恩威特環(huán)境技術(shù)有限公司中電投工程研究檢測評定中心蘇州凈化工程安裝有限公司北

、、、、

京希達建設監(jiān)理有限責任公司北京世源希達工程技術(shù)公司中國標準化協(xié)會中天道成蘇州潔凈技

、、、()

術(shù)有限公司深圳新科特種裝飾工程公司

、。

標準主要起草人王堯婁宇李啟東朱蘭楊子強蔡杰王小兵徐小浩張利群吳小泉錢菁

:、、、、、、、、、、、

蔣乃軍石小雷姜皓遐耿文韜吳益峰翟傳明蘇鋼民安志星劉娜殷曉冬

、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T36306—2018

引言

從通風專業(yè)的角度來看空氣化學污染物的特點是

:

顆粒度通常在的范圍

a)<0.01μm0.2nm~5nm;

在通常狀態(tài)下是以蒸汽或氣體狀存在

b);

可以完全穿透常規(guī)高效過濾器超高效過濾器

c)/;

不能使用粒子計數(shù)器檢測

d)。

目前空氣污染控制技術(shù)主要針對微電子光電子領域

,、。

國際半導體設備與材料協(xié)會的標準將空氣化學污染物分成四大類酸性氣體堿性

SEMIF21-95:、

氣體氣相可凝聚化合物和氣相摻雜化合物但即使同類中的不同污染物之間性質(zhì)差別還是很大某些

、。,

污染物的濃度可隨環(huán)境的溫度濕度變化而改變以及污染源有很大的隨機性等且品種數(shù)量之多已是

、,、

不勝枚舉由于改性活性炭技術(shù)的進展對于很多污染氣體已能達到對癥下藥實施針對性的控制空氣

。,,

化學污染在應用中供應商提供的不僅僅是化學過濾器而是根據(jù)現(xiàn)場環(huán)境的特點提供最有效的解決

。,,

方案準確提供潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中污染氣體的品種和濃度的水平將為過濾器供應商更合理的

。,

選用充填介質(zhì)的配方及配比創(chuàng)造條件控制環(huán)境中的化學污染物達到所在環(huán)境限定的濃度值最終將取

,,

得更佳的凈化效果

。

Ⅱ

GB/T36306—2018

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

空氣化學污染控制指南

1范圍

本標準提出了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的空氣化學污染控制的檢測控制等指南

、。

本標準適用于微電子光電子工廠以及特殊需求的生產(chǎn)研究等潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的空氣化學

、、

污染控制

。

本標準不適用于核能和軍事應用

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分空氣分子污染分級

GB/T25915.8—20108:(ISO14644-8:

2006,IDT)

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

31

.

空氣分子污染airbmemolecularcontaminationAMC

;

以氣態(tài)或蒸汽態(tài)存在于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中可危害產(chǎn)品工藝設備的分子化學的非顆粒

,、、(、)

物質(zhì)不包含生物大分子

。。

注空氣分子污染即空氣化學污染

:。

32

.

環(huán)境反應監(jiān)測法environmentalresponsemonitoringmethodsERMs

;

綜合監(jiān)測腐蝕性氣體對芯片的腐蝕程度的方法

。

注將環(huán)境反應采樣片放在各個待測區(qū)域如新風機組的進出口循環(huán)風機組進出口等時間是以天為

:(ERCs),,,30

一個周期觀察采樣片厚度的變化以