半導(dǎo)體行業(yè)用水標(biāo)準(zhǔn)

電子行業(yè)水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)1.電子工業(yè)與超純水在半導(dǎo)體制作工藝中，80%以上的工序要經(jīng)過(guò)化學(xué)處理，而每一道化學(xué)處理都離不開(kāi)超純水；在硅片的處理工序中，一半以上的工序經(jīng)過(guò)超純水清洗后便直接進(jìn)入高溫處理過(guò)程，此時(shí)如水中含有雜質(zhì)便會(huì)進(jìn)入硅片，造成器件性能下降成品率低。電子工業(yè)提出的超純水電阻率218MQ.cm(25℃),已極其接近理論純水水質(zhì)18.3MQ.cm(25℃)。對(duì)電解質(zhì)、DO、TOC、SIO2、顆粒及細(xì)菌等技術(shù)指標(biāo)提出更高要求。如256兆位的動(dòng)態(tài)隨機(jī)儲(chǔ)存器生產(chǎn)工藝，光刻線條寬已達(dá)0.1微米,要保證這一指標(biāo)，超純水中顆粒徑就得40.05〃m,而且20.05〃m不得超過(guò)500個(gè)/升超純水。2、水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)大多數(shù)由中科院半導(dǎo)體所主要制定。2.1電子級(jí)水國(guó)家標(biāo)準(zhǔn):詳見(jiàn)表2.1范文

表之電子找水的技術(shù)指標(biāo)、 緞川指九 \中華人民共和國(guó)電子皴水國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)〔GB/T11446,199門(mén)ASTM電子級(jí)水伍-D標(biāo)準(zhǔn)匕川”11EW^IE*二Ev.--mEE-IV設(shè)計(jì)參考值電網(wǎng)率MO.cin(25TC)18以上3%時(shí)間）不低于仃杓IU13C'.j1。以匕（95%時(shí)門(mén)】不低于319tl±C90%INhJ)<K全碎果大典2W201000^200?(SZO1;XLim微粒就最大直個(gè)配工n1U.110500100.1fll菌個(gè)虱最大值個(gè)『mL0010.110100^<101口000銅最大值，口回L0.2:2500:鋅最大魚(yú)口目工0.2:;500W5口.5錦最大直M皿01:2500<20.1鈉最大置Ug'L05221。0口W50.5鉀最大置Ug'L15225。0--52氯最大直W皿1:101000■10:硝酸根.最大值:Ug'L1:;500W5:璘酸根.最大直W部1:2500W5:'i-最大直P(pán)&1-1:;500W5:總方士球,1.gL20:常2001000W200:1菌內(nèi)毒素CE.V.）0.033、超純水中雜質(zhì)的污染源制備超純水的水源由于水是一種溶解能力很強(qiáng)的溶劑，因此天然水中含有各種鹽類(lèi)和化合物，溶有CO2,還有膠體（包括硅膠和腐殖質(zhì)膠體），天然水中還存在大量的非溶解性質(zhì)，包括粘土、砂石、細(xì)菌、微生物、藻類(lèi)、浮游生物、熱源等等。材料的影響:制備超純水的材料設(shè)備的材質(zhì)都是用金屬和塑料制成的，金屬在水中會(huì)有痕范文量溶解，造成金屬離子污染。一些高分子材料在合成時(shí)常常加入各種添加劑、增塑劑紫外吸光劑著色劑，引入大量的金屬、非金屬雜質(zhì)、同時(shí)還會(huì)帶來(lái)有機(jī)污染。材質(zhì)的污染主要以污染值來(lái)衡量，所謂污染值是指，單位面積的材料使單位體積的純水電阻率的增加值。表3.2分別列出了各種材料的污染值和TOC的溶出值。表3.2各種材料的污染值（TOC的溶出值）材料污染值叼，污染值材米污染值聚四氟乙烯管0.070F460.760乳膠管5.00石英管0.076有機(jī)玻璃管0.S1真空橡皮管6.03聚丙烯管0.138不銹鋼管1.00氟橡膠管W.66ABS?!：-0.210硬質(zhì)聚丙烯管4.25紅橡膠管16.44聚乙烯軟管0.287灰硬質(zhì)聚丙烯管4.464水的電阻值在測(cè)定水的導(dǎo)電性能時(shí)，與水的電阻值大小有關(guān)，電阻值大，導(dǎo)電性能差，電阻值小，導(dǎo)電性能就良好。根據(jù)歐姆定律，在水溫一定的情況下，水的電阻值R大小與電極的垂直截面積F成反比，與電極之間的距離L成正比。水的電阻率的大小，與水中含鹽量的多少，水中離子濃度、離子的電荷數(shù)以及離子的運(yùn)動(dòng)速度有關(guān)。因此，純凈的水電阻率很大，超純水電阻率就更大。水越純，電阻率越大。4.1水的電導(dǎo)率由于水中含有各種溶解鹽類(lèi)，并以離子的形態(tài)存在，當(dāng)水中插入一對(duì)電極時(shí)，通電之后，在電場(chǎng)的作用下，帶電的離子就產(chǎn)生一定方向的移動(dòng)，水中的陰離子移向陽(yáng)極，陽(yáng)離子移向陰極，使水溶液起導(dǎo)電作用。水的導(dǎo)電能力的強(qiáng)弱程度，就稱(chēng)為電導(dǎo)度S（或稱(chēng)電導(dǎo)）。電導(dǎo)度反映了水中含鹽量的多少，是水的純凈程范文度的一個(gè)重要指標(biāo)。水越純凈，含鹽量越少，電阻越大，電導(dǎo)度越小。超純水幾乎不能導(dǎo)電。電導(dǎo)的大小等于電阻值的倒數(shù)。即S=1/R,S=(1/p)(F/L)。1/p就稱(chēng)為電導(dǎo)率，其國(guó)際制單位為西米-1(Sm-1)理論上，水中由于水本身的電解作用而只存在兩種離子即H+和OH-,其濃度如下[H+]=[OH-]=10-7eq/l(or10-10eq/ml)這些濃度的離子經(jīng)計(jì)算而得到理論的電導(dǎo)率為：z=0.055^S/cm在25°C電阻率為電導(dǎo)率的倒數(shù)，所以R=18.2MQ.CM在25°C電阻率的檢測(cè):電阻率在線測(cè)試儀(中科院半導(dǎo)體所參加起草制定)電阻率是指在一定的溫度下，邊長(zhǎng)1cm的立方體水,其相對(duì)的兩側(cè)面之間的電阻,其單位是歐姆.厘米(Q.cm)。水的電導(dǎo)率是電阻率的倒數(shù)，單位是西門(mén)子/厘米(s/cm)。水的溫度與電導(dǎo)率關(guān)系影響水的電阻率值的因素很多,例如測(cè)量方法、電極方向、電容效應(yīng)、極化效應(yīng)、水的純度、測(cè)量溫度等。超純水的測(cè)量必須采用帶溫度補(bǔ)償?shù)膬x器進(jìn)行在線測(cè)試，而且定期到法定機(jī)構(gòu)計(jì)量校正。溫度校正是將測(cè)量的電阻率值換算到25℃時(shí)的電阻率值，以便于比較不同水質(zhì)。表4.1水的溫度(t)、電導(dǎo)率K、電阻率及溫度系數(shù)K的關(guān)系范文

t'CkK(s/cm)0.cmtrkK(s/cni)Q.cm01.79750.011686.21151.25300.031232.0511.75500.012381.30171.19540.034928.6521.71350.013275.76181.16790.037027.0331.67280.014369.98191.14120.039125.5841.63290.015464.94201.11550.041S23.9251.59400.016560.61211.09060.044122.6861.55590.017856.18221.06670.046621.6571.51880.019052.63231.04360.049020.4181.48250.020149.75241.02130.051919.2791.44700.021646.30251.00000.054818.25101.41250.023043.48260.97590.057817.30111.37880.024540.82270.96000.060716.47121.34610.026038.46280.94130.064015.62131.31420.027636.23290.92340.067414.S4141.28310.029234.25300.90650.071214.04純水的電導(dǎo)率象征水中有導(dǎo)電能力的各種可溶性的電解質(zhì)的含量，因此，通過(guò)測(cè)量水的電導(dǎo)率值可以近似的換算成總?cè)芙庑怨腆w,此法換算出來(lái)的總?cè)芤航庑怨腆w值對(duì)水處理設(shè)計(jì)仍然是重要的參考數(shù)據(jù)。表4.2水的電導(dǎo)率'電阻率與溶解性固體之間的關(guān)系電導(dǎo)率us/cm(25"C)電阻率(i25C)溶解性固體(mgl)電導(dǎo)率i-is/cm(25"C)電阻率(Q.cm25"C)溶解到：固體83)0.0561SMO60.0280.1437*1050.0710.05917^1060.0290.1666*70.0830.06316MO60.0310.2005*1060.1000.06715^1060.0330.2504*1050.1250.07214M060.0360.3353*1060.1660.07713^1060.0380.5002*1050.2500.0841型1060.0411.00l*1060.50.09111*1060.0452.000.5*10610,100iono60.0454.000.25*10*20.1129*1060.0556.000.16616610630.1258*1060.063范文

超純水電阻率與溫度的關(guān)系電阻率（兆歐.厘米）9080706050403020100溫度℃010203040506070