標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 40417-2021 電子特氣 六氟丁二烯》是一項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),專門針對(duì)六氟丁二烯這種用于半導(dǎo)體制造等高科技領(lǐng)域的特殊氣體。該標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了六氟丁二烯的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和貯存等方面的內(nèi)容。

在技術(shù)要求部分,明確了六氟丁二烯的純度指標(biāo)以及其他雜質(zhì)的最大允許含量,確保產(chǎn)品能夠滿足特定應(yīng)用場(chǎng)景下的高純度需求。此外,還對(duì)水分、氧氣等可能影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素設(shè)定了嚴(yán)格限制。

關(guān)于試驗(yàn)方法,標(biāo)準(zhǔn)中列舉了一系列檢測(cè)手段,包括但不限于氣相色譜法來測(cè)定主要成分及其雜質(zhì)含量,通過這些科學(xué)的方法保證測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性與可靠性。

對(duì)于檢驗(yàn)規(guī)則,本標(biāo)準(zhǔn)提出了批次定義、抽樣方案及合格判斷準(zhǔn)則等內(nèi)容,旨在指導(dǎo)生產(chǎn)和使用單位如何有效地進(jìn)行質(zhì)量控制。同時(shí),也強(qiáng)調(diào)了型式檢驗(yàn)與出廠檢驗(yàn)的區(qū)別及其重要性。

最后,在包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和貯存章節(jié)里,則是圍繞如何安全地處理六氟丁二烯展開說明,比如推薦使用的容器類型、標(biāo)簽上必須包含的信息(如化學(xué)品名稱、危險(xiǎn)警示語等)、以及在搬運(yùn)過程中需要注意的安全事項(xiàng)等。這部分內(nèi)容對(duì)于保障人員健康和環(huán)境保護(hù)具有重要意義。


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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2021-08-20 頒布
  • 2022-03-01 實(shí)施
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文檔簡(jiǎn)介

ICS7110020

CCSG.86.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T40417—2021

電子特氣六氟丁二烯

Electronicsecialtas—13-Hexafluorobutadiene

pyg,

2021-08-20發(fā)布2022-03-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T40417—2021

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位浙江省化工研究院有限公司中船重工邯鄲派瑞特種氣體有限公司昊華氣體

:、()、

有限公司中化藍(lán)天氟材料有限公司衢州氟硅技術(shù)研究院福建久策氣體股份有限公司廣東華特氣體

、、、、

股份有限公司天津綠菱氣體有限公司江西華特電子化學(xué)品有限公司蘇州金宏氣體股份有限公司上

、、、、

海申南特種氣體有限責(zé)任公司上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司大連大特氣體有限公司上海凡偉儀

、、、

器設(shè)備有限公司聯(lián)雄投資上海有限公司沈陽(yáng)中復(fù)科金壓力容器有限公司浙江東開半導(dǎo)體科技有

、()、、

限公司和立氣體上海有限公司昆明廣瑞達(dá)特種氣體有限責(zé)任公司西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司

、()、、、

西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司武漢分公司西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司雙流分公司

、。

本文件主要起草人史婉君張建君李翔宇郭君付夢(mèng)月侯玲玲褚人財(cái)李霞譚慧何經(jīng)余

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曹素英傅鑄紅陳艷珊馬建修曹小林楊俊豪王新喜孫猛陳潔吳靚方華于慶偉何波唐中偉

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黃輝宮兵王大為易達(dá)文李陽(yáng)梁永強(qiáng)梁成科高靜吳克安白占旗鬲春利譚依玲徐龍曹元洪

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周鵬云陳凱

、。

GB/T40417—2021

電子特氣六氟丁二烯

1范圍

本文件規(guī)定了六氟丁二烯的技術(shù)要求檢驗(yàn)規(guī)則試驗(yàn)方法標(biāo)志包裝運(yùn)輸及貯存的要求

、、、、、。

本文件適用于由工業(yè)六氟丁二烯提純制備的電子級(jí)六氟丁二烯

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB190

化學(xué)試劑標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的制備

GB/T601

化學(xué)試劑試驗(yàn)方法中所用制劑及制品的制備

GB/T603

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質(zhì)焊接氣瓶

GB/T5100

氣體分析微量水分的測(cè)定第部分電解法

GB/T5832.11:

分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和試驗(yàn)方法

GB/T6682

氣瓶顏色標(biāo)志

GB/T7144

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB/T14193

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標(biāo)簽

GB/T16804

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726

移動(dòng)式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程

TSGR0005

氣瓶安全技術(shù)規(guī)程

TSG23

3術(shù)語和定義

本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義

。

4技術(shù)要求

六氟丁二烯的技術(shù)要求應(yīng)符合表的規(guī)定

1。

表1技術(shù)要求

項(xiàng)目指標(biāo)

六氟丁二烯純度質(zhì)量分?jǐn)?shù)-2

(C4F6)()/10

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