JJG 341-1994光柵線位移測(cè)量裝置

中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量檢定規(guī)程

JJG341—1994

光柵線位移測(cè)量裝置

GratingLinearDisplacement

MeasuringDevice

1994-05-06發(fā)布1994-12-01實(shí)施

國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

JJG341—1994

光柵線位移測(cè)量裝置

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檢定規(guī)程??

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VerificationRegulationofGrating??

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LinearDisplacementMeasuring

Device

本檢定規(guī)程經(jīng)國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局于年月日批準(zhǔn)并自

19940506,1994

年月日起施行

1201。

歸口單位:中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

起草單位:中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

本規(guī)程技術(shù)條文由起草單位負(fù)責(zé)解釋

JJG341—1994

本規(guī)程主要起草人:

饒家崇中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

()

參加起草人:

郭健蓉中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

()

張恒中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

JJG341—1994

目錄

一概述…………………

(1)

二檢定項(xiàng)目和檢定條件………………

(1)

三技術(shù)要求和檢定方法………………

(2)

四用激光干涉測(cè)長(zhǎng)儀檢定光柵裝置的準(zhǔn)確度………

(4)

五用長(zhǎng)光柵比較儀檢定光柵裝置的準(zhǔn)確度…………

(8)

六檢定結(jié)果處理和檢定周期…………

(8)

附錄各種溫度的飽和蒸氣壓表………

(9)

JJG341—1994

光柵線位移測(cè)量裝置檢定規(guī)程

本規(guī)程適用于新制造使用中和修理后的光柵線位移測(cè)量裝置的檢定

、。

一概述

光柵線位移測(cè)量裝置以下簡(jiǎn)稱光柵裝置是以光柵作為測(cè)量元件用光柵線位移

1(),

傳感器以下簡(jiǎn)稱光柵傳感器將線位移量通過(guò)光柵數(shù)顯表以數(shù)字顯示的線位移測(cè)量

(),

裝置

。

光柵裝置主要由光柵傳感器包括專用電纜和光柵數(shù)顯表兩部分配對(duì)組成

2()。

光柵傳感器按結(jié)構(gòu)分為開(kāi)啟式和封閉式按型式分為帶參考零位和不帶參考零位的

3;

光柵傳感器

。

光柵數(shù)顯表按功能分為普通型和多功能型光柵數(shù)顯表

4。

二檢定項(xiàng)目和檢定條件

光柵裝置的檢定項(xiàng)目和主要檢定工具如表所示

51。

表1

檢定類別

序號(hào)檢定項(xiàng)目主要檢定工具

新制的修理后使用中

外觀

1———+--

機(jī)械性能

2———+++

功能

3———+++

細(xì)分誤差激光干涉測(cè)長(zhǎng)儀或長(zhǎng)光柵

4+++

回程誤差比較儀

5+++

重復(fù)性

6+++

穩(wěn)定度

7+++

準(zhǔn)確度

8+++

注:表中“+”表示應(yīng)檢定,“-”表示可不檢定。

光柵裝置檢定時(shí)的溫度以為標(biāo)準(zhǔn)檢定溫度應(yīng)滿足表的各項(xiàng)要求

620℃。5。

光柵裝置在檢定前要放置