凈化間管理規(guī)范培訓(xùn)

孫丞2014年6月凈化間管理規(guī)范培訓(xùn)凈化間基礎(chǔ)知識(shí)凈化間的定義潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)凈化間簡(jiǎn)介凈化間分類凈化間設(shè)計(jì)基礎(chǔ)凈化間管控手段監(jiān)測(cè)采樣制定監(jiān)測(cè)表凈化間人員管理凈化間最主要的污染源凈化間人員管理規(guī)定目錄凈化間(Clean

Room),也稱為無(wú)塵室。

凈化間是指能將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的懸浮微粒、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、壓力、氣流速度及靜電等影響生產(chǎn)之環(huán)境因素控制在某一設(shè)計(jì)需求范圍內(nèi)，而給予特別設(shè)計(jì)的房間。亦即不論外面空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持所設(shè)定的潔凈度、溫濕度及壓力等生產(chǎn)所需環(huán)境因素性能的特性。

因此，凈化間是保證諸如醫(yī)藥、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能電池板等對(duì)環(huán)境要求較高之行業(yè)進(jìn)行批量生產(chǎn)所必備之條件要求。凈化間的定義懸浮微粒：一般指懸浮于空氣中的固態(tài)和液態(tài)微粒，其粒徑尺寸范圍約在0.1～5μm之間。潔凈度：用以表征單位體積空間內(nèi)空氣中所含微粒大小及數(shù)量的多少，是區(qū)分空間潔凈程度的標(biāo)準(zhǔn)。氣閘室：設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。風(fēng)淋室：氣閘室的一種，通過(guò)安裝風(fēng)機(jī)、過(guò)濾網(wǎng)及控制系統(tǒng)等對(duì)入室人員進(jìn)行周身吹掃通道，它是減少外來(lái)污染的有效途徑之一。潔凈工作服：為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。高效空氣過(guò)濾器HEPA：在額定風(fēng)量下，對(duì)粒徑大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及氣流阻力在250Pa以下的空氣過(guò)濾器。超高效空氣過(guò)濾器：在額定風(fēng)量下，對(duì)粒徑0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及氣流阻力在280Pa以下的空氣過(guò)濾器。相關(guān)術(shù)語(yǔ)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB50073-2001潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)式中：Cn—大于或等于要求粒徑的粒子最大允許濃度(pc/m3)。

Cn是以四舍五入至相近的整數(shù)，有效位數(shù)不超過(guò)三位數(shù)。

N—潔凈度等級(jí)，數(shù)字不超出9，潔凈度等級(jí)整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為最小允許遞增量。

D—要求的粒徑(μm)。

0.1—常數(shù)，其量綱為μm。美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)（USAFederalStandard）209E（1992年）潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)1m3=35.3ft3。對(duì)照我國(guó)標(biāo)準(zhǔn)及美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)可以看出，我國(guó)的3級(jí)標(biāo)準(zhǔn)與美國(guó)的1級(jí)標(biāo)準(zhǔn)相當(dāng)。從而可以看出隨著半導(dǎo)體行業(yè)從um量級(jí)向nm量級(jí)發(fā)展的過(guò)程中，凈化間等級(jí)要求也越來(lái)越高。但目前半導(dǎo)體行業(yè)中普遍采用的均為千級(jí)（6級(jí)）或萬(wàn)級(jí)（7級(jí)），只有局部區(qū)域的高自動(dòng)化作業(yè)才要求百級(jí)（5級(jí)）甚至更高。一般微粒粒徑對(duì)比0.3μm微塵粒徑人類頭發(fā)

(15μm)肉眼可視

(5μm)一般自然界氣體等級(jí)1,00010,000外大氣層大氣層田園地帶街市區(qū)10,000,0001,000,000100,000工業(yè)地帶

潔凈室之分類(按形式）非單方向流方式一、亂流式

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。

優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室擴(kuò)充比較容易。

缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲需達(dá)到設(shè)定要求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。亂流式典型結(jié)構(gòu)形式適用潔凈等級(jí)1,000-100,000級(jí)2.層流式層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻直線形，空氣過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級(jí)需求較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級(jí)為Class1~100。其型式可分為二種：(1)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)到要求，穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。(2)垂直層流式：空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì)影響其它工作區(qū)域。優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。垂直單方向流方式FFU層流式典型結(jié)構(gòu)形式適用潔凈等級(jí)1-100級(jí)3.復(fù)合式混流方式復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易；B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。(2)潔凈管道(CleanTube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。(3)并裝局部潔凈室(CleanSpot)：將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上。復(fù)合式典型結(jié)構(gòu)形式適用潔凈等級(jí)10-100000級(jí)并裝15潔凈室管控手段制定監(jiān)測(cè)表1、方法計(jì)數(shù)濃度法2、儀器光散射粒子計(jì)數(shù)器3、采樣點(diǎn)布置

a）采樣點(diǎn)一般在離地面0.8m高度的水平面上均勻布置。

b）采樣點(diǎn)多于點(diǎn)時(shí)，可以在離地面0.8m～1.5m高度的區(qū)域內(nèi)分層布置4、最小采樣量測(cè)試采樣面積m2潔凈度級(jí)別

100010000100000〈102～322≥10～〈20422≥20～〈40822≥40～〈1001642≥100～〈20040103≥200～〈40080206≥400～〈10001604013≥1000～〈200040010032200080020063

1、產(chǎn)品及設(shè)施

無(wú)塵室內(nèi)的發(fā)塵量，來(lái)自設(shè)備的可考慮通過(guò)局部排風(fēng)排除，不流入室內(nèi)；產(chǎn)品，材料等在運(yùn)送過(guò)程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，一般極小，可忽略；由于金屬墻壁（彩鋼夾心板）的應(yīng)用來(lái)自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下。

2、人發(fā)塵主要來(lái)自人，占90%左右。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進(jìn)，發(fā)塵絕對(duì)量也在不斷減少。

A、材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量最大，以下依次為的確良、去靜電純滌綸、尼龍；

B、樣式：大掛式發(fā)塵量最大，上下分裝型次之，全罩型最少；

C、活動(dòng)：動(dòng)作時(shí)的發(fā)塵量一般達(dá)到靜止時(shí)間3-7倍；

D、清洗：用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。發(fā)塵源及量：潔凈人員管理

1、人員產(chǎn)生的污染：（1）皮膚：人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換，人類每分鐘脫落約1000片皮膚（平均大小為30*60*3微米）（2）頭發(fā)：人類的頭發(fā)（直徑約為50~100微米）一直在脫落。（3）口水：包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。（4）日常衣物：微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學(xué)品和細(xì)菌。（5）人類靜止和坐立每分鐘將產(chǎn)生10000個(gè)大于0.3微米的微粒。（6）人類在頭部和軀干做動(dòng)作時(shí)每分鐘將產(chǎn)生1000000個(gè)大于0.3微米的微粒。（7）人類以0.9m/s的速度行走時(shí)每分鐘將產(chǎn)生5000000個(gè)大于0.3微米的微粒。

2、分析國(guó)外試驗(yàn)資料顯示：

（1）無(wú)塵室內(nèi)當(dāng)工作人員穿無(wú)菌服時(shí)：靜止時(shí)的發(fā)菌量一般為10~300個(gè)/min.人軀體一般活動(dòng)時(shí)的發(fā)菌量為150~1000個(gè)/min.人快步行走時(shí)的發(fā)菌量為900~2500個(gè)/min.人（2）咳嗽一次一般為70~700個(gè)/min.人（3）噴嚏一次一般為4000~62000個(gè)/min.人（4）穿平常衣服時(shí)發(fā)菌量3300~62000個(gè)/min.人（5）無(wú)口罩發(fā)菌量:有口罩發(fā)菌量1:7~1:14

所以，潔凈間的管理，關(guān)鍵是人員的管理，只有每位員工嚴(yán)格遵守潔凈間管理規(guī)定，才能真正發(fā)揮潔凈間的作用，從而有效保證產(chǎn)線的正常運(yùn)行，減少產(chǎn)品的人為不良率，降低成本，提高企業(yè)產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)能力。人的污染—發(fā)菌量：

具有下列狀況之人員不準(zhǔn)進(jìn)入潔凈室：(1)皮膚有曬焦、脫皮剝落、搔癢癥者；(2)患有嚴(yán)重型傷風(fēng)、感冒，打嚏、咳嗽多者；(3)不注重個(gè)人衛(wèi)生，頭發(fā)臟亂、頭皮屑多者；(4)有搔頭、挖鼻孔、搓臉、搓皮膚之不良習(xí)慣者；(5)涂覆胭脂、粉底或未按規(guī)定洗去化妝品、指甲油者；(6)吸煙過(guò)量者(煙粒子在說(shuō)話,呼吸過(guò)程中能再次噴出)(7)持有或帶有非無(wú)塵類物品或相關(guān)規(guī)定禁止帶入潔凈室之物品者；(8)未穿或未按規(guī)定穿戴好潔凈服者；潔凈室進(jìn)出人員管理之八不準(zhǔn)進(jìn)入潔凈室的人員應(yīng)注意以下事項(xiàng)：(1)室內(nèi)作業(yè)人員需嚴(yán)格遵守作業(yè)指示要求，按規(guī)定操作設(shè)備及產(chǎn)品；(2)室內(nèi)維修人員需嚴(yán)格遵守潔凈室之規(guī)定，盡量避免室內(nèi)進(jìn)行切削、打磨甚至鉆孔等易產(chǎn)生污染類作業(yè)；(3)室內(nèi)人員禁止打鬧、奔跑或進(jìn)行劇烈性的大動(dòng)作行為；(4)室內(nèi)人員禁止聚堆聊天、說(shuō)笑、玩手機(jī)或長(zhǎng)時(shí)間打電話等影響環(huán)境、工作之行為；(5)室內(nèi)人員禁止吸煙、吃零食，禁止攜帶與工作無(wú)關(guān)之雜物；(6)室內(nèi)人員嚴(yán)禁不戴手套進(jìn)行作業(yè)或接觸產(chǎn)品；(7)室內(nèi)人員需時(shí)刻保持無(wú)塵服、鞋、帽等的正確穿戴，嚴(yán)禁在室內(nèi)脫衣、換裝或進(jìn)行大動(dòng)作穿戴整理等；(8)室內(nèi)人員嚴(yán)禁隨意丟放物品、工具、器皿等，應(yīng)按規(guī)定有序放置于相應(yīng)規(guī)定區(qū)域或工具箱內(nèi)；潔凈室進(jìn)出人員管理之八注意進(jìn)出潔凈室人員應(yīng)做到：(1)爭(zhēng)取每天沖澡、洗頭，刮胡須、換衣，保持身體清潔；(2)男士不留長(zhǎng)發(fā)、長(zhǎng)指甲，女士不涂胭抹粉、修眉毛、涂指甲；(3)進(jìn)入潔凈室前應(yīng)洗手，無(wú)塵服需嚴(yán)格按要求穿戴，不準(zhǔn)將頭發(fā)漏在外面，口罩應(yīng)罩在鼻梁位置；(4)嚴(yán)格遵守?zé)o塵室規(guī)定，在指定區(qū)域更換拖鞋、穿戴無(wú)塵服，換下無(wú)塵服應(yīng)按規(guī)定折疊整齊或掛放指定地點(diǎn)；(5)嚴(yán)格遵守進(jìn)出通