金屬膜式熱敏電阻在壓力傳感器中的應(yīng)用課件_第1頁(yè)
金屬膜式熱敏電阻在壓力傳感器中的應(yīng)用課件_第2頁(yè)
金屬膜式熱敏電阻在壓力傳感器中的應(yīng)用課件_第3頁(yè)
金屬膜式熱敏電阻在壓力傳感器中的應(yīng)用課件_第4頁(yè)
金屬膜式熱敏電阻在壓力傳感器中的應(yīng)用課件_第5頁(yè)
已閱讀5頁(yè)，還剩3頁(yè)未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

金膜式熱敏電阻050410113金屬薄膜電阻溫度特性與制備金屬薄膜的電阻率大于塊材的電阻率,電阻率溫度系數(shù)小于塊材的電阻率溫度系數(shù),且電阻率與電阻率溫度系數(shù),與薄膜的厚度和薄膜的制備方法等有關(guān)。需要通過(guò)控制薄膜厚度,調(diào)整制備工藝等方法使薄膜的電阻率和電阻率溫度系數(shù)與塊材趨近,這樣才能使方塊電阻和電阻溫度系數(shù)在大溫度范圍穩(wěn)定。這是金屬薄膜電阻作為熱敏元件的重要條件,它決定熱敏元件重復(fù)性和穩(wěn)定性的好壞。在壓力傳感器上的應(yīng)用金屬薄膜式熱敏電阻器集成在壓力傳感器上作為熱敏元件,即可以直接用于測(cè)溫,又可以對(duì)壓力值進(jìn)行溫度補(bǔ)償。對(duì)鉑、鋁、鎳、銀薄膜電阻在壓力傳感器上的應(yīng)用進(jìn)行了研究,結(jié)果表明:不同用途的壓力傳感器,不同的工作溫度,采用其中不同的金屬薄膜電阻。高壓高溫壓力傳感器鋁薄膜電阻鋁薄膜式熱敏電阻器,線性度好,精度高,可以工作到200,但是靈敏度較低,抗電遷移性和耐腐蝕性差,可以將其集成在常溫壓力傳感器上鎳薄膜電阻結(jié)果表明鎳薄膜熱敏電阻制備工藝簡(jiǎn)單,靈敏度高,工作溫度范圍較寬,在常溫到350有較好的重復(fù)性。但是,由圖2得到電阻的非線性度達(dá)9.3%,較差,作為溫度傳感器使用必須進(jìn)行非線性補(bǔ)償。銀薄膜電阻銀與二氧化硅和硅的粘附性較差,可以采用多層結(jié)構(gòu)解決這一問(wèn)題:鉻-鎳-銀多層薄膜,薄厚大約分別為:30,100,800nm,采用蒸鍍法淀積薄膜,光刻剝離法電阻成型。銀的電阻率比鋁還低,因此作為熱敏電阻也有靈敏度低的問(wèn)題,和鋁一樣可以直接

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫(kù)網(wǎng)僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論