標(biāo)準(zhǔn)解讀

《YS/T 1024-2015 濺射用鉭靶材》是一項(xiàng)針對(duì)濺射工藝中使用的鉭靶材制定的標(biāo)準(zhǔn)，由中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)提出并歸口。該標(biāo)準(zhǔn)主要規(guī)定了用于薄膜制備過程中的濺射用鉭靶材的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和貯存等方面的要求。

技術(shù)要求部分明確了鉭靶材的化學(xué)成分、物理性能（如密度）、外觀質(zhì)量及尺寸偏差等具體指標(biāo)。對(duì)于化學(xué)成分，標(biāo)準(zhǔn)給出了主要元素鉭（Ta）的最低含量要求，并對(duì)雜質(zhì)元素的最大允許量做了限定；物理性能方面，則是對(duì)密度設(shè)定了下限值；至于外觀質(zhì)量和尺寸偏差，也都有詳細(xì)的規(guī)定以確保產(chǎn)品符合使用需求。

在試驗(yàn)方法章節(jié)里，列出了測(cè)定上述各項(xiàng)指標(biāo)所需采用的方法與步驟，包括但不限于取樣方式、樣品處理、分析儀器的選擇及其操作條件設(shè)定等內(nèi)容。這些測(cè)試手段旨在為生產(chǎn)廠家提供一套統(tǒng)一且科學(xué)合理的評(píng)價(jià)體系，以便于控制產(chǎn)品質(zhì)量。


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  • 2015-04-30 頒布
  • 2015-10-01 實(shí)施
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文檔簡(jiǎn)介

ICS7715099

H63..

中華人民共和國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/T1024—2015

濺射用鉭靶材

Tantalumsputteringtargets

2015-04-30發(fā)布2015-10-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T1024—2015

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位寧夏東方鉭業(yè)股份有限公司有研億金新材料有限公司寧波江豐電子材料股份

:、、

有限公司西安方科新材料科技有限公司

、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人鐘景明李桂鵬汪凱李兆博姚力軍熊曉東王莉宿康寧王小青杜鐵路

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T1024—2015

濺射用鉭靶材

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用以制備薄膜的濺射用鉭靶材的要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存

、、、、、、

質(zhì)量證明書和訂貨單或合同內(nèi)容

()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于以真空電子束熔煉的高純鉭錠為原料通過塑性加工熱處理機(jī)械加工焊接等方法

,、、、

制造的濺射用鉭靶材以下簡(jiǎn)稱鉭靶材

()。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

一般公差未注公差的線性和角度尺寸的公差

GB/T1804

金屬材料維氏硬度試驗(yàn)第部分試驗(yàn)方法

GB/T4340.11:

金屬平均晶粒度測(cè)定方法

GB/T6394

金屬板材超聲板波探傷方法

GB/T8651

鉭鈮化學(xué)分析方法碳量和硫量的測(cè)定

GB/T15076.8

鉭鈮化學(xué)分析方法鉭中氮量的測(cè)定

GB/T15076.13

鉭鈮化學(xué)分析方法氧量的測(cè)定

GB/T15076.14

鉭鈮化學(xué)分析方法氫量的測(cè)定

GB/T15076.15

無損檢測(cè)目視檢測(cè)總則

GB/T20967—2007

濺射靶材背板結(jié)合質(zhì)量超聲波檢驗(yàn)方法

YS/T837-

高純鉭化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素的測(cè)定輝光放電質(zhì)譜法

YS/T899

3要求

31產(chǎn)品分類

.

鉭靶材按純度分為三個(gè)級(jí)別

:3N5(99.95%)、4N(99.99%)、4N5(99.995%)。

32化學(xué)成分

.

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