設(shè)備主要組成及技術(shù)指標

一、設(shè)備主要組成及技術(shù)指標1、劃片機系統(tǒng)主要組成部分、功能和隨機清單：1.1劃片機系統(tǒng)主要由貼膜模塊，高精度激光切割模塊，裂片模塊，工作氣路，工作電路，控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)等部分組成，適用于超凈間安裝；1.2貼膜模塊要能夠在硅片切割前進行保護膜的手動貼附；*1.3高精度激光切割模塊不僅要滿足單晶硅、多晶硅、非晶硅、錯、石墨、金剛石、碳化硅等四族半導(dǎo)體襯底材料，氧化鋁、氮化鋁、氧化鋯、鍍銀陶瓷等陶瓷襯底材料，藍寶石、氧化硅、氮化硅、鐵氧體等脆性材料，還要滿足不銹鋼、銅、硅鋼、鐵鉆合金、鋁合金、鈦合金等多種金屬的切割、打孔，以及LED器件、MEMS器件、微流道芯片等微納器件的加工工藝；*1.4裂片模塊要能夠?qū)澗€的硅片（硅片尺寸N6英寸）進行裂片。2、主要技術(shù)指標：*2.1貼膜模塊：支持直徑6英寸以內(nèi)晶圓貼膜；2.1.1允許晶圓厚度不低于150?800pm厚度區(qū)間；2.1.2可貼膜種類：藍膜、UV膜；2.1.3晶圓收益：N99.9%；2.1.4貼膜質(zhì)量要求：無氣泡；2.1.5要求產(chǎn)能：N90片/小時；2.1.6雙彈性壓合，不易碎片；2.1.7軸承式圓周刀；2.1.8皮帶式收料結(jié)構(gòu)和抽取式換膜裝置；2.1.9帶無排式靜音真空和可調(diào)式加熱裝置；2.1.10帶機械式橫切刀；相對省膜設(shè)計原理;2.2高精度激光切割模塊：包括光纖激光發(fā)生器、高精度大理石平臺、專用切割頭、專用切割軟件，高精度直線電機，一體式機柜，真空吸附系統(tǒng)等主要組成部分，滿足±0.015mm切割精度；*2.2.1準連續(xù)光纖激光發(fā)生器：波長1064nm，功率不低于150w，連續(xù)輸出能量偏差控制在W3%,激光器性能與原裝進口IPG等品牌相當，風(fēng)冷模式制冷；2.2.2光束傳輸系統(tǒng)：激光聚焦系統(tǒng)，同軸輔助吹氣系統(tǒng)；2.2.3高精度大理石平臺基座：高精度花崗巖平臺，尺寸1.3mx1.2mx0.18m重量不低于0.5噸，主要目的是為了提高設(shè)備自重，另外大理石受溫度變化相對其它材料變化系數(shù)較小，能與直線電機更好的配合。2.2.4專用切割頭:高精度切割頭，性能與原裝進口普雷斯特品牌相當；*2.2.5專用切割軟件:PMAC控制卡配套專用激光切割軟件，可識別調(diào)用CADdxf格式文件并進行加工，具有圖形排樣及尖角平滑處理功能，可實現(xiàn)高速打孔及標刻功能；*2.2.6XY軸配置高精度直線電機，切割幅面為400x400mm,定位精度不低于±0.004mm,重復(fù)定位精度不低于±0.003mm,Z軸可上下調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍0-100mm，調(diào)節(jié)精度0.02mm，電動調(diào)焦；*2.2.7最小切割線寬不超過0.05mm,切割厚度：藍寶石襯底不低于1mm,碳化硅襯底不低于1mm，氮化鋁軟陶瓷不低于1mm；不銹鋼不低于2mm，紫銅不低于0.3mm；銀不低于0.3mm；有以上的材料的切割經(jīng)驗并提供相應(yīng)的工藝報告；告；*2.2.8CCD定位:高清晰攝像頭，像素不低于200萬，性能與基恩士等品牌相當；2.2.9采用一體式機柜，選用優(yōu)質(zhì)鋼材料（性能不低于45號鋼材）制造，氬弧焊接，表面進行防銹處理；2.2.10帶聲光報警以及門磁保護功能，確保人員與設(shè)備使用安全；2.2.11控制系統(tǒng)：采用進口工控機，配置不得低于雙核3.3HzCPU；4G內(nèi)存；500G硬盤；20寸液晶顯示器，控制系統(tǒng)性能與西門子等公司同類產(chǎn)品性能相當；2.2.12具有操作權(quán)限分級功能；2.2.13設(shè)備設(shè)計要滿足我實驗室現(xiàn)有超凈間安裝空間要求，設(shè)備尺寸：長度1300±100mm，寬度1100±100mm，高度1650±100mm，并滿足高層樓板承重需求，成套設(shè)備重量控制在1200±50Kg，；2.2.14設(shè)備顏色要滿足主要設(shè)備整體美觀要求；2.3擴片模塊：2.3.1采用雙氣缸上下控制；2.3.2恒溫設(shè)計，膜片周邊擴張均勻適度；2.3.3加熱，拉伸，擴晶，固膜一次完成；2.3.4加熱溫度，擴張時間，回程速度均勻可調(diào)；二、設(shè)備隨機配件1、標準工具1套2、專用工具1套3、專用夾具4、噴嘴2個5、金屬名片10片（調(diào)光使用）6、保護鏡片2片7、激光防護眼鏡1副（波長1064nm）三、交貨期：30個工作日；四、設(shè)備安裝：設(shè)備供應(yīng)商提供的設(shè)備運輸、安裝、調(diào)試、驗收和培訓(xùn)等的費用均包含在本次采購價格中；五、設(shè)備操作培訓(xùn)1、設(shè)備培訓(xùn)包括設(shè)備調(diào)試、工藝培訓(xùn)等相關(guān)的操作、參數(shù)設(shè)定和數(shù)據(jù)編程，并提供各種典型工藝參數(shù)；2、整機設(shè)備的軟件控制操作、手動控制操作，圖形處理；3、常見故障原因及處理方法設(shè)備保修；六、設(shè)備質(zhì)保1、提供壹年免費質(zhì)保期，并提供終身維修服務(wù)；2、質(zhì)保期內(nèi)在4小時內(nèi)提供電話響應(yīng)，在24小時內(nèi)提供現(xiàn)場響應(yīng)。質(zhì)保期后提供在8小時內(nèi)電話響應(yīng)，在48小時內(nèi)提供現(xiàn)場響應(yīng)；3、質(zhì)保期后按成本價提供設(shè)備維修配件和服務(wù)；4、投標廠家在中國大陸設(shè)有完善的售后服務(wù)機構(gòu)和備件庫，能夠迅速及時地處理售后服務(wù)問題和提供售后所需要的備品備件，并提供江蘇地區(qū)直屬服務(wù)網(wǎng)點的相關(guān)證明材料；七、其他要求1、投標廠商要求有兩年以內(nèi)在大型研究所和大學(xué)公共實驗平臺有實際銷售業(yè)績;以上需提供相關(guān)證明材料；2、投標廠家為了能配合