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文檔簡介

數(shù)碼鋰電池制片卷繞一體機(jī)產(chǎn)業(yè)發(fā)展實(shí)施建議

以新一代信息技術(shù)為基礎(chǔ),研制新型、高端、可信智能控制器,提升工廠制造過程和制造裝備的自有處理能力和智能水平。重點(diǎn)研究智能裝備CPS型控制器與關(guān)鍵技術(shù)、基于移動互聯(lián)的智能產(chǎn)線控制管理器、高可信多重冗余控制系統(tǒng)與關(guān)鍵技術(shù)、新一代SCADA系統(tǒng)與關(guān)鍵技術(shù)、工業(yè)組態(tài)和工業(yè)監(jiān)控等工業(yè)軟件、精密系統(tǒng)裝配過程數(shù)據(jù)采集與控制裝置。攻克云端服務(wù)、高實(shí)時任務(wù)、高可信控制共性關(guān)鍵技術(shù),實(shí)現(xiàn)實(shí)時仿真、全分布式控制、多種控制器無縫集成。適應(yīng)工廠智能化的發(fā)展趨勢,重點(diǎn)研發(fā)智能制造標(biāo)準(zhǔn)化共性關(guān)鍵技術(shù),實(shí)現(xiàn)智能工廠共性關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)、技術(shù)的工程化和產(chǎn)業(yè)化。提升我國工業(yè)自動化行業(yè)的整體創(chuàng)新水平和自主裝備能力,滿足國家科技創(chuàng)新、產(chǎn)業(yè)升級和轉(zhuǎn)型的重大戰(zhàn)略需求。高檔數(shù)控機(jī)床與基礎(chǔ)制造裝備堅持主機(jī)牽引、夯實(shí)基礎(chǔ)、突破核心、工藝驗(yàn)證,聚焦航空航天和汽車兩個重點(diǎn)服務(wù)領(lǐng)域,重點(diǎn)攻克高檔數(shù)控系統(tǒng)和功能部件等瓶頸,完成150種以上智能、精密、高速、復(fù)合型高端制造業(yè)裝備的研制和示范應(yīng)用,大幅提升國家重點(diǎn)工程、國民經(jīng)濟(jì)重點(diǎn)領(lǐng)域關(guān)鍵制造裝備國產(chǎn)化率,在強(qiáng)化高端數(shù)控裝備單機(jī)智能化水平提升的基礎(chǔ)上,逐步實(shí)現(xiàn)由單機(jī)示范應(yīng)用向智能化制造成組成套整體解決方案的提升,擴(kuò)大專項(xiàng)裝備成果的應(yīng)用成效。(一)航空航天領(lǐng)域高檔數(shù)控裝備聚焦航空航天典型結(jié)構(gòu)件加工需求,以提高加工效率和質(zhì)量為目標(biāo),突破關(guān)鍵工藝和編程等核心技術(shù);開展高檔五軸數(shù)控機(jī)床與關(guān)鍵成形裝備等主機(jī)的應(yīng)用驗(yàn)證與示范,推動高檔數(shù)控系統(tǒng)和以擺角銑頭為代表的關(guān)鍵功能部件實(shí)現(xiàn)批量化應(yīng)用。(二)汽車制造領(lǐng)域高檔數(shù)控裝備重點(diǎn)研究數(shù)控機(jī)床的可靠性快速試驗(yàn)技術(shù)與制造保障技術(shù)、數(shù)控系統(tǒng)的可靠性第三方測試及可靠性增長技術(shù),突破數(shù)控機(jī)床可靠性MTBF>2000小時的技術(shù)瓶頸,通過示范應(yīng)用與工藝驗(yàn)證,大幅提升國產(chǎn)數(shù)控機(jī)床的組線能力。加強(qiáng)成組成套工藝集成研究,為汽車關(guān)鍵零部件制造提供成套解決方案,實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)高檔數(shù)控機(jī)床在汽車發(fā)動機(jī)關(guān)鍵零部件高效柔性加工與批量化制造中的成組成套應(yīng)用。世界制造業(yè)發(fā)展趨勢進(jìn)入21世紀(jì)以來,在經(jīng)濟(jì)全球化和社會信息化的背景下,國際制造業(yè)競爭日益激烈,對先進(jìn)制造技術(shù)的需求更加迫切。云計算、大數(shù)據(jù)、移動互聯(lián)網(wǎng)、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能等新興信息技術(shù)與制造業(yè)的深度融合,正在引發(fā)對制造業(yè)研發(fā)設(shè)計、生產(chǎn)制造、產(chǎn)業(yè)形態(tài)和商業(yè)模式的深刻變革,科技創(chuàng)新已成為推動先進(jìn)制造業(yè)發(fā)展的主要驅(qū)動力。(一)智能正成為制造業(yè)的關(guān)鍵要素越來越多的制造企業(yè)通過應(yīng)用嵌入式軟件、微電子、互聯(lián)網(wǎng)、物聯(lián)網(wǎng)等信息技術(shù),提升產(chǎn)品智能化程度和研發(fā)設(shè)計、生產(chǎn)制造、經(jīng)營管理的智能化水平,打造高端產(chǎn)品和裝備,占據(jù)產(chǎn)業(yè)制高點(diǎn)。同時,制造裝備控制技術(shù)的極大提高,使制造裝備的自診斷、自維護(hù)、自恢復(fù)成為現(xiàn)實(shí),并將推動制造裝備向智能化階段邁進(jìn)。(二)服務(wù)促進(jìn)產(chǎn)業(yè)模式變革,重塑制造業(yè)價值鏈在同質(zhì)化競爭和供大于求的全球市場環(huán)境下,制造業(yè)產(chǎn)業(yè)價值鏈的高端向研發(fā)和產(chǎn)品運(yùn)營維護(hù)等服務(wù)生命周期轉(zhuǎn)移,更多的制造企業(yè)成為提供產(chǎn)品、服務(wù)、支持、自我服務(wù)和知識的綜合體。服務(wù)與制造相互滲透融合,從生產(chǎn)型制造走向服務(wù)型制造是大勢所趨,產(chǎn)業(yè)模式向定制化的規(guī)模生產(chǎn)和服務(wù)型生產(chǎn)轉(zhuǎn)變特征明顯。(三)可持續(xù)發(fā)展成為制造業(yè)與自然、社會協(xié)調(diào)的重要主題綠色發(fā)展理念逐步成為共識,激勵制造企業(yè)開始重視綠色技術(shù)在產(chǎn)品研發(fā)設(shè)計、生產(chǎn)制造、銷售服務(wù)和回收利用等產(chǎn)品全生命周期中的應(yīng)用,創(chuàng)新高效、節(jié)能、環(huán)保和可循環(huán)的新型制造工藝和裝備,不斷降低資源消耗和環(huán)境影響,實(shí)現(xiàn)企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益和社會效益的協(xié)調(diào)優(yōu)化,符合經(jīng)濟(jì)社會可持續(xù)發(fā)展的低碳環(huán)保和循環(huán)利用要求。(四)制造大數(shù)據(jù)和平臺成為高附加值增值服務(wù)的重要支撐工業(yè)大數(shù)據(jù)是制造企業(yè)高附加值增值服務(wù)的來源,制造企業(yè)全業(yè)務(wù)數(shù)據(jù)化在對制造系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集和分析形成業(yè)務(wù)數(shù)據(jù)閉環(huán)的基礎(chǔ)上,將有效支撐企業(yè)制造過程優(yōu)化和經(jīng)營管理決策,促進(jìn)企業(yè)對市場、用戶的精準(zhǔn)供給和企業(yè)間的資源分享利用,從而打造智慧企業(yè),并為消費(fèi)者、用戶以及企業(yè)自身創(chuàng)造顯著的增量價值。發(fā)展先進(jìn)制造技術(shù)是國家戰(zhàn)略需求(一)建設(shè)制造強(qiáng)國的戰(zhàn)略需要制造業(yè)是國民經(jīng)濟(jì)的主體,是富國之基、強(qiáng)國之本。我國經(jīng)濟(jì)社會各領(lǐng)域的發(fā)展,要求制造業(yè)提供更先進(jìn)的生產(chǎn)技術(shù)水平、高品質(zhì)的消費(fèi)產(chǎn)品、自主可控的重大技術(shù)裝備。從制造大國轉(zhuǎn)變?yōu)橹圃鞆?qiáng)國,是我國制造業(yè)發(fā)展的戰(zhàn)略選擇。發(fā)展先進(jìn)制造技術(shù),增強(qiáng)制造領(lǐng)域的自主創(chuàng)新能力和整體實(shí)力,推進(jìn)制造質(zhì)量和產(chǎn)品品牌建設(shè),才能全面提升我國制造業(yè)水平,這是提升我國綜合國力、保障國家安全、建設(shè)世界強(qiáng)國的必由之路。(二)經(jīng)濟(jì)發(fā)展和產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整的現(xiàn)實(shí)需求我國經(jīng)濟(jì)發(fā)展已進(jìn)入速度變化、結(jié)構(gòu)優(yōu)化和動力轉(zhuǎn)換的新常態(tài)。資源環(huán)境約束不斷強(qiáng)化,勞動力等生產(chǎn)要素成本正在加快上升,投資和出口增速放緩,主要依靠資源要素投入、規(guī)模擴(kuò)張的粗放發(fā)展模式已難以為繼,推進(jìn)供給側(cè)結(jié)構(gòu)性改革,提質(zhì)增效已成為經(jīng)濟(jì)發(fā)展的主要目標(biāo)。轉(zhuǎn)變經(jīng)濟(jì)發(fā)展方式,打造競爭新優(yōu)勢,要依靠科技創(chuàng)新提供發(fā)展新動力。(三)應(yīng)對國際產(chǎn)業(yè)競爭的戰(zhàn)略需要世界制造業(yè)產(chǎn)業(yè)競爭格局正在發(fā)生重大調(diào)整。歐美等工業(yè)發(fā)達(dá)國家紛紛制定再工業(yè)化戰(zhàn)略,重點(diǎn)發(fā)展先進(jìn)制造技術(shù),搶占制造業(yè)高端。新興發(fā)展中國家也在積極參與全球產(chǎn)業(yè)再分工,承接產(chǎn)業(yè)及資本轉(zhuǎn)移,搶占制造業(yè)的中低端。雙重擠壓的外部環(huán)境短期內(nèi)不會改變。通過增強(qiáng)制造業(yè)技術(shù)水平,提高制造業(yè)生產(chǎn)效率,使我國制造業(yè)在產(chǎn)業(yè)競爭中跨入中高端,對國家未來發(fā)展意義重大。增材制造重點(diǎn)解決增材制造領(lǐng)域微觀成形機(jī)理、工藝過程控制、缺陷特征分析等科學(xué)問題,突破一批重點(diǎn)成形工藝及裝備產(chǎn)品,在航空航天、汽車能源、家電、生物醫(yī)療等領(lǐng)域開展應(yīng)用,引領(lǐng)增材制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展。形成創(chuàng)新設(shè)計、材料及制備、工藝及裝備、核心零部件、計量、軟件、標(biāo)準(zhǔn)等相對完善的技術(shù)創(chuàng)新與研發(fā)體系,結(jié)合重大需求開展應(yīng)用示范,具備開展大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的技術(shù)基礎(chǔ)。(一)增材制造控形控性的科學(xué)基礎(chǔ)探索增材制造自由成形過程的成形幾何精度、成形效率、材料組織結(jié)構(gòu)與性能的形成規(guī)律與關(guān)鍵影響因素和控制方法,為提升增材制造工藝技術(shù)和裝備設(shè)計水平提供堅實(shí)的科學(xué)支撐,并為形成重大原創(chuàng)性增材制造新技術(shù)提供科學(xué)指引。(二)基于增材制造的結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計技術(shù)發(fā)展基于增材制造工藝特性,融合力學(xué)、物理與化學(xué)多種功能的結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計技術(shù),為結(jié)構(gòu)整體化、輕量化、高性能化和滿足聲、光、電、磁、熱等多功能化提供設(shè)計方法和設(shè)計軟件,支撐我國高端裝備的自主創(chuàng)新設(shè)計和跨越式技術(shù)發(fā)展。(三)增材制造專用材料制備技術(shù)基于增材制造的工藝特性和應(yīng)用需求,開展增材制造專用金屬和非金屬材料的設(shè)計與制備技術(shù)研究,最大限度地發(fā)揮增材制造技術(shù)優(yōu)勢,大幅度拓展增材制造的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用領(lǐng)域。(四)增材制造的核心裝備設(shè)計與制造技術(shù)針對激光/電子束選區(qū)熔化、激光選區(qū)燒結(jié)、高能束金屬沉積成形、光固化、激光沉積打印、微滴噴射3D打印、熔融沉積造型等已經(jīng)展示重大產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用價值的增材制造技術(shù),開展相關(guān)裝備設(shè)計與制造技術(shù)的深入研究,占據(jù)增材制造產(chǎn)業(yè)價值鏈的高端。(五)評價體系與標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)研究制定增材制造的材料標(biāo)準(zhǔn)、設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)、工藝標(biāo)準(zhǔn)、裝備標(biāo)準(zhǔn)、檢測標(biāo)準(zhǔn)、數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)和服務(wù)標(biāo)準(zhǔn)等7個方面的標(biāo)準(zhǔn)體系,為增材制造的廣泛產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用奠定基礎(chǔ),并顯著增強(qiáng)我國增材制造技術(shù)的國際競爭力。我國制造業(yè)發(fā)展取得的成績(一)制造業(yè)總量躍居世界第一,成為名副其實(shí)的制造大國近年來我國制造業(yè)總體規(guī)模已居世界第一位,綜合實(shí)力不斷增強(qiáng),不僅對國內(nèi)經(jīng)濟(jì)和社會發(fā)展做出了重要貢獻(xiàn),而且成為支撐世界經(jīng)濟(jì)的重要力量。2014年,我國工業(yè)增加值達(dá)到22.8萬億元,占GDP的比重達(dá)到35.85%。2013年我國制造業(yè)產(chǎn)出占世界比重達(dá)到20.8%。在500余種主要工業(yè)產(chǎn)品中,我國有220多種產(chǎn)量位居世界第一。制造業(yè)的快速發(fā)展,直接促進(jìn)了我國經(jīng)濟(jì)發(fā)展的速度、質(zhì)量和效益,增強(qiáng)了我國在全球化格局中的國際分工地位。(二)突破了一批核心技術(shù),形成了一批支撐國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重大裝備產(chǎn)品十幾年來,制造業(yè)各領(lǐng)域涌現(xiàn)出了一批較有影響、意義深遠(yuǎn)的重大成果。國內(nèi)發(fā)電設(shè)備裝機(jī)中國產(chǎn)發(fā)電機(jī)組已達(dá)80%以上,年產(chǎn)千萬噸級大型煉油廠設(shè)備國產(chǎn)化率達(dá)90%,國產(chǎn)100萬千瓦超超臨界火電機(jī)組、國產(chǎn)750千伏交流輸變電成套設(shè)備已投入運(yùn)行。日產(chǎn)4000噸大型新型干法水泥生產(chǎn)線、60萬噸乙烯、30萬噸級合成氨、百萬噸級鉀肥等一大批大型成套技術(shù)裝備實(shí)現(xiàn)自主化。神舟系列航天飛船的成功發(fā)射,實(shí)現(xiàn)了載人航天工程的重大突破。蛟龍?zhí)栞d人潛水器研制和海試成功,標(biāo)志著中國躋身世界載人深潛先進(jìn)國家行列。(三)涌現(xiàn)出一批世界級的大企業(yè),企業(yè)正在逐步成為技術(shù)創(chuàng)新主體2016年《財富》世界500強(qiáng)排行榜中,中國企業(yè)達(dá)110家,其中以工業(yè)為主的有50余家。社會創(chuàng)新要素不斷向企業(yè)集聚,工業(yè)企業(yè)研發(fā)投入快速增長,自主創(chuàng)新能力顯著增強(qiáng)。2015年,我國規(guī)模以上制造業(yè)研發(fā)投入強(qiáng)度達(dá)到0.91%;企業(yè)發(fā)明專利申請58.3萬件,占國內(nèi)發(fā)明專利申請受理量的60.2%;企業(yè)獲得發(fā)明專利授權(quán)15.9萬件,占國內(nèi)發(fā)明專利授權(quán)量的60.5%。企業(yè)作為市場主體,在自主創(chuàng)新中繼續(xù)發(fā)揮決定性作用。(四)初步形成了企業(yè)、高校、院所聯(lián)動的產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新體系近年來,我國制造業(yè)加強(qiáng)科技創(chuàng)新、促進(jìn)科技成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化,取得了重要突破和實(shí)質(zhì)性進(jìn)展,形成了產(chǎn)學(xué)研結(jié)合、較為完備的產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新體系。建設(shè)了一批國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、國家工程技術(shù)研究中心等科研基地;成立了一批國家產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟,為我國制造業(yè)的健康持續(xù)發(fā)展提供了重要保障。智能制造裝備行業(yè)的發(fā)展概況智能制造裝備是先進(jìn)制造技術(shù)、信息技術(shù)和智能技術(shù)在裝備產(chǎn)品上的集成和融合,體現(xiàn)了制造業(yè)的智能化發(fā)展要求,具有實(shí)時感知、優(yōu)化決策、動態(tài)執(zhí)行等特征。(一)政策驅(qū)動改革,智能制造裝備行業(yè)快速發(fā)展政策環(huán)境是智能制造裝備行業(yè)發(fā)展強(qiáng)大的內(nèi)驅(qū)力及支撐,智能制造裝備作為推進(jìn)智能制造的重要環(huán)節(jié)受到各國政府重視,2011年美國提出先進(jìn)制造伙伴計劃,2012年我國提出《智能制造裝備產(chǎn)業(yè)十二五發(fā)展規(guī)劃》,2013年德國提出工業(yè)4.0計劃等,各國先后出臺各類政策推動新興技術(shù)與裝備制造業(yè)的融合,推動制造業(yè)的高端化、智能化進(jìn)程。在國家政策的引導(dǎo)下,制造業(yè)的生產(chǎn)方式正逐步實(shí)現(xiàn)智能化,不斷催生對生產(chǎn)設(shè)備智能化的需求,智能制造裝備行業(yè)實(shí)現(xiàn)快速發(fā)展。據(jù)統(tǒng)計,全球范圍內(nèi)工業(yè)自動化裝備市場規(guī)模至2019年達(dá)到2,147億美元,預(yù)計2022可達(dá)到2,299億美元,年復(fù)合增速約為2.3%。(二)我國智能制造裝備行業(yè)產(chǎn)業(yè)規(guī)模已形成,發(fā)展形勢良好我國智能制造裝備行業(yè)起步相比工業(yè)發(fā)達(dá)國家較晚,近年來,以工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、物聯(lián)網(wǎng)為代表的信息技術(shù)快速發(fā)展,自動化、智能化技術(shù)在國內(nèi)制造業(yè)企業(yè)中不斷普及,我國智能制造裝備行業(yè)的規(guī)模日益增長。據(jù)根據(jù)中國產(chǎn)業(yè)信息網(wǎng)發(fā)布的數(shù)據(jù)顯示,2020年國內(nèi)智能制造裝備市場規(guī)模為2.09萬億元,預(yù)計2022年將達(dá)到2.68萬億元。在信息技術(shù)與先進(jìn)制造技術(shù)高速發(fā)展的背景下,國內(nèi)智能制造裝備的發(fā)展深度和廣度日益提升,以新型傳感器、智能控制系統(tǒng)、工業(yè)機(jī)器人、自動化成套生產(chǎn)線為代表的智能制造裝備產(chǎn)業(yè)體系逐步形成。行業(yè)內(nèi)已涌現(xiàn)一批以博眾精工、長川科技、先導(dǎo)智能、杰銳思等為代表的知名企業(yè),憑借持續(xù)的研發(fā)投入,這些企業(yè)不斷實(shí)現(xiàn)智能制造裝備相關(guān)技術(shù)突破,在不同的細(xì)分領(lǐng)域具備一定的市場競爭力。(三)智能制造裝備行業(yè)下游應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,技術(shù)更新迭代迅速智能制造裝備是工業(yè)生產(chǎn)體系的基礎(chǔ),可用于制造、檢測、倉儲等多個生產(chǎn)環(huán)節(jié),廣泛應(yīng)用于3C、鋰電池、半導(dǎo)體、汽車、工程機(jī)械、光伏生產(chǎn)等產(chǎn)業(yè)。隨著終端消費(fèi)者對產(chǎn)品質(zhì)量、功能要求的不斷提升,不同產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)廠商對其生產(chǎn)裝備的精度、穩(wěn)定性等性能指標(biāo)均提出了更高的要求,促使智能制造裝備企業(yè)不斷進(jìn)行技術(shù)革新以滿足客戶的生產(chǎn)、檢測需求。同時,隨著傳感技術(shù)、5G、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能等先進(jìn)技術(shù)的不斷突破與應(yīng)用,智能制造裝備企業(yè)亦在不斷推動其產(chǎn)品設(shè)計、產(chǎn)品制造等方面的技術(shù)革新,促進(jìn)信息技術(shù)、智能技術(shù)與裝備制造技術(shù)的深度融合與集成。工業(yè)傳感器針對工業(yè)互聯(lián)、智能制造的高端需求,順應(yīng)傳感器微型化、集成化、智能化發(fā)展趨勢,形成一批高端傳感器和儀器儀表產(chǎn)品,支撐我國智能制造發(fā)展,解決微納傳感器硅基兼容制造、封裝、可靠性、集成化等核心共性技術(shù),引領(lǐng)未來發(fā)展。(一)工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)用微納傳感器研究無源無線多參數(shù)監(jiān)測傳感器,高能量密度振動能量收集器等前沿技術(shù)。研發(fā)傳感器與電路協(xié)同設(shè)計技術(shù)及設(shè)計工具,傳感器與電路單片集成工藝技術(shù),硅基功能薄膜兼容制造等關(guān)鍵共性技術(shù)。開發(fā)單片集成傳感器,陣列傳感器,多功能傳感器,低功耗傳感器,無線集成傳感器等產(chǎn)品。(二)離散制造業(yè)用微納傳感器研究柔性襯底傳感器,芯片級原子效應(yīng)傳感器等前沿技術(shù),研發(fā)數(shù)字全場激光超聲檢測技術(shù),高精度二維三維光柵測試等關(guān)鍵共性技術(shù)。研發(fā)運(yùn)動部件溫度、應(yīng)變、振動傳感器,轉(zhuǎn)速傳感器,微型繼電器,微型電場傳感器,多維位移同步測量傳感器,微型高精度姿態(tài)測量單元等產(chǎn)品。(三)流程工業(yè)用微納傳感器研究高精度諧振式壓力傳感器,微型聲矢量傳感器等前沿技術(shù)。研發(fā)傳感器芯片與封裝材料特性測試技術(shù)及其數(shù)據(jù)庫,微傳感器可靠性及其測試等關(guān)鍵共性技術(shù)。研發(fā)高溫壓力傳感器、風(fēng)速風(fēng)向傳感器、紅外高溫傳感器、工業(yè)現(xiàn)場氣體檢測傳感器等產(chǎn)品。(四)智能制造用儀器儀表研究智能儀器儀表可靠性建模、設(shè)計與仿真,參數(shù)標(biāo)定與校準(zhǔn)、非線性補(bǔ)償方法等動態(tài)測試與性能評估,關(guān)鍵部件芯片化等前沿技術(shù);研發(fā)復(fù)雜工業(yè)測量儀表在線標(biāo)定,高端智能測量儀表設(shè)計、精確自動補(bǔ)償、生產(chǎn)工藝、裝配等,在線分析儀器小型化關(guān)鍵部件、微弱信號精密檢測等共性關(guān)鍵技術(shù);研發(fā)高精度壓力/質(zhì)量/流量/物位儀表,壓力/質(zhì)量流量儀表在線批量化標(biāo)定裝置,小型化在線分析儀、感知/控制/驅(qū)動一體化控制器等產(chǎn)品。(五)特種專用儀器儀表研究力熱平衡結(jié)構(gòu)設(shè)計、多傳感器三維納米定位等納米三坐標(biāo)測量,工件姿態(tài)和運(yùn)動參數(shù)測量、空間坐標(biāo)測量、大型零部件尺寸和形位誤差測量、激光跟蹤等大型裝備制造智能化測量等前沿技術(shù),研發(fā)工業(yè)現(xiàn)場級虛擬測量、工業(yè)設(shè)施現(xiàn)場故障診斷、特種執(zhí)行機(jī)構(gòu)和控制閥設(shè)計、制造和仿真等共性關(guān)鍵技術(shù),研制激光跟蹤測量儀器、現(xiàn)場級虛擬測量儀表、復(fù)雜機(jī)械運(yùn)行故障檢測等工業(yè)現(xiàn)場專用診斷儀器、特種執(zhí)行機(jī)構(gòu)和控制閥等。新型電子制造關(guān)鍵裝備面向?qū)捊麕О雽?dǎo)體器件、光通訊器件、MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))器件、功率電子器件、新型顯示、半導(dǎo)體照明、高效光伏等泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的巨大市場需求,開展關(guān)鍵裝備與工藝的研究,重點(diǎn)解決電子器件關(guān)鍵材料裝備、器件制造裝備等高端裝備缺乏關(guān)鍵技術(shù)、可靠性低、工藝開發(fā)不足等問題,推動新技術(shù)研發(fā)與關(guān)鍵裝備研發(fā)的協(xié)同發(fā)展,構(gòu)建高端電子制造裝備自主創(chuàng)新體系。(一)寬禁帶半導(dǎo)體/半導(dǎo)體照明等關(guān)鍵裝備研究針對碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)等為代表的寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù)對關(guān)鍵制造裝備的需求,開展大尺寸(6吋)寬禁帶半導(dǎo)體材料制備、器件制造、性能檢測等關(guān)鍵裝備與工藝研究。針對高亮度半導(dǎo)體照明(LED、OLED)大生產(chǎn)線對制造裝備的需求,開展大產(chǎn)能材料制備、器件制造、性能檢測等關(guān)鍵裝備研發(fā),掌握核心技術(shù)與工藝,滿足大生產(chǎn)線要求。(二)光通訊器件關(guān)鍵裝備及工藝研究針對光通訊器件制造對裝備的需求,重點(diǎn)圍繞硅基光電子芯片工藝裝備、InP(銦磷)基等光電子芯片工藝裝備、光纖器件工藝裝備、光電子器件耦合封裝等關(guān)鍵裝備等開展研究,掌握核心技術(shù),實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品應(yīng)用,提升國內(nèi)光通訊器件制造能力及工藝水平。(三)MEMS器件/電力電子器件等關(guān)鍵裝備與工藝研究針對MEMS器件、電力電子器件等領(lǐng)域?qū)ρb備的特殊工藝需求,開展材料制備、芯片制造、特種封裝、性能檢測等關(guān)鍵裝備與工藝的研發(fā),掌握關(guān)鍵技術(shù)、開發(fā)特色工藝,提高國產(chǎn)裝備的工藝適應(yīng)性及可靠性。研究基于國產(chǎn)裝備為主的成套工藝,完成對國產(chǎn)裝備的工藝優(yōu)化、可靠性驗(yàn)證及集成應(yīng)用,打造自主產(chǎn)業(yè)鏈,提升產(chǎn)業(yè)競爭力。(四)高效光伏電池關(guān)鍵裝備及工藝研究針對下一代高效光伏電池技術(shù)(PERC、HIT、黑硅電池等)對關(guān)鍵裝備及工藝的需求,開展大產(chǎn)能、高轉(zhuǎn)換效率光伏電池制造工藝裝備、自動化制造裝備、核心工藝等研究,降低電池片制造成本,轉(zhuǎn)換效率達(dá)到國際領(lǐng)先水平,實(shí)現(xiàn)批量銷售。(五)新材料,新器件關(guān)鍵電子裝備與核心部件研究針對石墨烯、碳基電子器件、柔性顯示、光互聯(lián)等國際上不斷出現(xiàn)的新材料、新器件、新工藝對半導(dǎo)體技術(shù)相關(guān)的裝備需求,開展面向電子器件應(yīng)用石墨烯材料制備裝備、大面積轉(zhuǎn)移裝備、石墨烯電子器件制造裝備、柔性顯示有機(jī)膜材料制備裝備、柔性顯示有機(jī)器件制造及檢測裝備、碳基電子器件制造裝備、光互聯(lián)器件制備裝備、高密度封裝等方面的關(guān)鍵裝備開發(fā),滿足研發(fā)或產(chǎn)業(yè)化需求,推動新技術(shù)研發(fā)與裝備研發(fā)的協(xié)同發(fā)展。激光制造面向航空航天、高端裝備、電子制造、新能源、新材料、醫(yī)療儀器等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的迫切需求,實(shí)現(xiàn)高端產(chǎn)業(yè)激光制造裝備的自主開發(fā),形成激光制造的完整產(chǎn)業(yè)體系,促進(jìn)我國激光制造技術(shù)與產(chǎn)業(yè)升級,大幅提升我國高端激光制造技術(shù)與裝備的國際競爭力。(一)激光與材料的相互作用機(jī)理面向航空航天、新能源、電子制造、醫(yī)療等領(lǐng)域的國家重大需求,探索激光與材料相互作用的復(fù)雜物化過程,研究超快激光制造的新原理

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