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精品文檔-下載后可編輯三維電感式接觸測量頭-基礎(chǔ)電子圖1是一種三維電感式接觸測量頭示意圖，圖2是其結(jié)構(gòu)圖。探頭⒈和導(dǎo)向板2（平行片簧的導(dǎo)向板）剛性連接，導(dǎo)向板2可在箭頭豸的方向移動，并通過片簧3、12連接于基板13上。基板13是剛性支架，兩個彈簧筒4、11固定在基板13上，內(nèi)裝螺旋彈簧5、9，其軸和箭頭豸平行。受預(yù)應(yīng)力的螺旋彈簧5、9壓在螺栓擋7、8上，螺栓擋緊靠在三個球10（定位在彈簧座6內(nèi)）上。變形桿14固定在板2上，其一端通過彈簧座6的一個空穴（位于螺栓擋7，8之間），且和擋之間沒有間隙。

圖1三維電感式接觸測量頭示意圖

圖2三維電感式接觸測量頭結(jié)構(gòu)圖

工作過程是：測量頭在箭頭豸方向運(yùn)動，當(dāng)探頭1接觸到工件后，電信號控制由快速進(jìn)給變?yōu)槲舆M(jìn)給，變形桿14開始發(fā)生變形，它沿著力－位移曲線中（見圖3）斜率很陡的一段變化，當(dāng)變形繼續(xù)發(fā)生時，測力就將超過預(yù)應(yīng)力彈簧5、9的彈力。再繼續(xù)變形，測力將進(jìn)入曲線中的平坦部分，此時發(fā)出停止信號，并使電動機(jī)反向運(yùn)動。由于板2是與對位移敏感的線圈磁芯連接的，因此反向時將根據(jù)預(yù)先選定的測量力（由按鈕預(yù)選的測力可以是0.1N、0.2N、0.4N等）選擇觸發(fā)點(diǎn)。此信號將送入計(jì)算機(jī)或顯示器存儲。這樣就完成了單邊?？康膭幼鳌?/p>

圖3力-位移曲線

重復(fù)上述動作即可對空間點(diǎn)位進(jìn)行自動探測。計(jì)算機(jī)給出空間這些點(diǎn)的位置坐標(biāo)。

這種電感式接觸測量頭的重復(fù)精度可達(dá)0.2tm。圖2所示的位移系統(tǒng)在X、y、z三個方向各有一套，相應(yīng)的三個電感線圈獨(dú)立給出各自位移的變化量。

這種測量頭的特點(diǎn)是：具有一個按圖3所示的力－位移曲線變化的變形桿；在電動機(jī)反向（即離開工件的方向）時給出過零發(fā)訊，這樣就不會碰壞測頭。另外，測頭的體積比較

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