GB/T 25915.15-2022潔凈室及相關受控環(huán)境第15部分：按氣態(tài)化學物濃度評定設備及材料的適用性

ICS1304035

CCSC.70.

中華人民共和國國家標準

GB/T2591515—2022/ISO14644-152017

.:

潔凈室及相關受控環(huán)境

第15部分按氣態(tài)化學物濃度評定

:

設備及材料的適用性

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Part15Assessmentofsuitabilitforuseofeuimentandmaterialsb

:yqpy

airbornechemicalconcentration

ISO14644-152017IDT

(:,)

2022-12-30發(fā)布2023-07-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T2591515—2022/ISO14644-152017

.:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

符號

4………………………3

檢測裝置

5…………………4

代表性模式

6………………6

目視檢查

7…………………7

檢測流程

8…………………7

濃度的計算

9………………8

特定釋放速率的計算

10……………………8

評定

11………………………9

記錄

12……………………10

附錄資料性已安裝設備的適用性評定示例

A()………12

附錄資料性潔凈室或潔凈區(qū)域已安裝板壁材料的適用性評定計算示例

B()………13

附錄資料性設計階段潔凈室設備和地面材料適用性評定

C()………14

參考文獻

……………………16

Ⅰ

GB/T2591515—2022/ISO14644-152017

.:

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是潔凈室及相關受控環(huán)境的第部分已經(jīng)發(fā)布了以下

GB/T25915《》15。GB/T25915

部分

:

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級

———1:;

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測

———2:;

第部分檢測方法

———3:;

第部分設計建造啟動

———4:、、;

第部分運行

———5:;

第部分詞匯

———6:;

第部分隔離裝置潔凈風罩手套箱隔離器微環(huán)境

———7:(、、、);

第部分按化學物濃度劃分空氣潔凈度等級

———8:(ACC);

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級

———9:;

第部分按化學物濃度劃分表面潔凈度等級

———10:;

第部分監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術要求

———12:;

第部分達到粒子和化學潔凈度要求的表面清潔

———13:;

第部分按粒子濃度評估設備適用性

———14:;

第部分按氣態(tài)化學物濃度評定設備及材料的適用性

———15:。

本文件等同采用潔凈室及相關受控環(huán)境第部分按氣態(tài)化學物濃度評定

ISO14644-15:2017《15:

設備及材料的適用性

》。

本文件做了下列最小限度的編輯性改動

:

更正了表中的符號意義錯誤將表中的x與檢測目標相關的特定指標x與評定目標相關

———1,“”“

的數(shù)量合并修改為x檢測材料面積或檢測設備數(shù)量

”“”。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國潔凈室及相關受控環(huán)境標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC319)。

本文件起草單位深圳市吉隆潔凈技術有限公司中國電子系統(tǒng)工程第二建設有限公司深圳天溯

:、、

計量檢測股份有限公司蘇州市計量測試院蘇州安泰空氣技術有限公司北京中邦興業(yè)科技有限公司

、、、、

中國標準化協(xié)會江蘇富泰凈化科技股份有限公司天津大學中國建筑科學研究院有限公司中國電子

、、、、

系統(tǒng)第四建設有限公司中國電子工程設計院有限公司上海市室內環(huán)境凈化行業(yè)協(xié)會廣東省潔凈技

、、、

術行業(yè)協(xié)會江漢大學河南盛川凈化工程有限公司中國合格評定國家認可中心中科圣杰深圳科技

、、、、()

集團有限公司上海建科環(huán)境技術有限公司廣州市第二裝修有限公司深圳市朗奧潔凈科技技術股份

、、、

有限公司南京工業(yè)大學

、。

本文件主要起草人胡茂從王天羿郝胤博馮昕裴晶晶黃吉輝暴海霞孫玉澄吳建華袁月

:、、、、、、、、、、

袁佳吳志堅閻冬陳晶晶徐曉麗石霞夏高豐韓輝張志行張仲杰董學鑫周斌劉永陳健胡向陽

、、、、、、、、、、、、、、、

樊娜

。

Ⅲ

GB/T2591515—2022/ISO14644-152017

.:

引言

采用系列國際標準各部分設置與國際標準保持一致擬由個部分

GB/T25915ISO14644,,15

構成

。

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級目的是區(qū)分粒子污染程度

———1:。。

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測目的是指導監(jiān)測粒子污染以避免可能產生的污染

———2:。,

風險

。

第部分檢測方法目的是指導對潔凈室內各種污染和相關環(huán)境要素的檢測

———3:。。

第部分設計建造啟動目的是指導潔凈室的設計建造啟動

———4:、、。、、。

第部分運行目的是指導潔凈室的運行

———5:。。

第部分詞匯目的是統(tǒng)一規(guī)范技術術語

———6:。。

第部分隔離裝置潔凈風罩手套箱隔離器微環(huán)境目的是提出潔凈室用隔離裝置的基

———7:(、、、)。

本要求

。

第部分按化學物濃度劃分空氣潔凈度等級目的是區(qū)分空氣化學污染程度

———8:(ACC)。。

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級目的是區(qū)分表面粒子污染程度

———9:。。

第部分按化學物濃度劃分表面潔凈度等級目的是區(qū)分表面化學污染程度

———10:。。

第部分監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術要求目的是提出納米級別的粒子污染的檢測

———12:。

要求

。

第部分達到粒子和化學潔凈度要求的表面清潔目的是提出潔凈室內表面的清潔要求以

———13:。

避免可能產生的粒子和化學污染的風險

。

第部分按粒子濃度評估設備適用性目的是通過對相關設備可能在潔凈室產生粒子污染

———14:。

的測試確定設備的適合性

,。

第部分按氣態(tài)化學物濃度評定設備及材料的適用性目的是通過對相關設備及材料可能

———15:。

在潔凈室產生氣態(tài)化學污染的測試確定設備及材料的適用性

,。

第部分提升潔凈室和空氣凈化裝置的能效目的是節(jié)約潔凈室運行的能源消耗

———16:。。

潔凈室及相關受控環(huán)境按照對污染物敏感的作業(yè)所適用的水平提供污染控制污染控制有利于航

。

空航天微電子光學核能和生命科學制藥醫(yī)療器械食品醫(yī)療等行業(yè)的產品和工藝

、、、(、、、)。

本部分采用按化學物濃度劃分空氣潔凈度的等級來評定潔凈室及相關受控環(huán)境中的設備適用性

。

附錄附錄附錄給出了適用性評定的案例

A、B、C。

Ⅳ

GB/T2591515—2022/ISO14644-152017

.:

潔凈室及相關受控環(huán)境

第15部分按氣態(tài)化學物濃度評定

:

設備及材料的適用性

1范圍

本文件規(guī)定了評定潔凈室及相關受控環(huán)境中設備和材料的適用性要求提供了指南

,。

本文件不適用于以下內容

:

健康和安全要求

———;

清潔劑及清潔技術的相容性

———;

清潔性

———;

生物污染

———;

工藝和產品對設備和材料的特定要求

———;

設備的設計細節(jié)

———。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,(