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文檔簡介
技術課培訓教材題目:無塵室的原理內(nèi)容簡介:無塵室的原理;無塵室方式;無塵室管理.關鍵詞:無塵室(CleanRoom);潔凈度(Class);作成:金昌明無塵室
什么是無塵室(CleanRoom):用通俗易懂的語言來描述的話,無塵室就是在某個空間的空氣中塵埃、微粒子控制在一定數(shù)值以下,把壓力、溫度、濕度、氣流分布及其形狀和速度控制在一定范圍內(nèi)為目的而建造的屋子.CleanRoom簡稱為CR潔釋凈狐度什保么呢是骨潔箏凈綱度輛(偽C腳l懼a鉛s腫s鼓)?就讀是穗指辰單冒位壁體旋積劃(勿通抗常膝是碰立膀方層英航尺及)皺的貪空艱氣神中奧含餡有很大菠于、等社于身0稿.織5足μ趨m予直盼徑充的梯塵女粒猛的迷數(shù)綿量致,顯也賣稱吧為其無存塵獵度覆.1嗎英為尺詢=紫3印0駛.阿4敲8釋c述m1英尺1英尺1英尺為辜0垂.摸5栽μ側(cè)m澡直畫徑叨的士塵串粒脈.塵稈埃墳的安個侵數(shù)丈,曾就眉是斤潔薯凈哈度積.例翁如兼:匹有貪8詠0授個忠塵慰粒酬,程那淘么敘潔凈康度過就角是津8匆0嗽.0奮.掘0武0習1吧0西.剝0酬1故0懶.鹿1焰1鞭1玩0蹄1在0遵0厭1推0畏0毅0粒漏徑曲:m煙均塵大駕氣比塵云擱,蛾霧大供氣沫中瓣存呢在承物常穿見腹的轎粉、塵空另氣世清鉗潔孝裝冊置電梅子憶顯汪微港鏡型下看訪得灘見扁的視粒柿子光拘學示顯藏微政鏡求下看眠得偽見輪的攝粒貍子肉底眼丑看喚得見眠的蝦粒脅子油煙面粉干奶粉頭減發(fā)病毒HEPA過濾器靜電式空氣清凈機一叛般賊空檢氣落過研濾槳網(wǎng)微智粒冊子扔的傷大垂小什榜么氏是糊塵惕粒食?塵余粒否是沾微陶小芽的炭灰滋塵、懸波浮敞的礦東幫西臉.塵裙粒電越宿小短,宋其呈表摸面科積廟的鹽比鋪例裙相覆對驚增厲加店,徑并香不咬遵皂從牛顧頓牛定午律運驗動忙,們按塘重繩力插垂濫落乏.監(jiān)而憲是房誠在撫空常氣牢中洽做際不毛規(guī)踐則懸的在運異動恢,羞這朽種郊運拴動腸叫布拍朗侵運謝動.因評是猶懸徹浮撤的載東出西婆,憶而周且儲做阻不軟規(guī)用則滋的稼運百動不,軌在暈潔汪凈怒化捐技氏術、產(chǎn)把品化制先造葉中死是寶令摧人侄頭雪痛立的獲代乏表躬物乎.總復之粉,還塵蒸粒稅會東對事產(chǎn)遣品匪成戚品寄率胡高防低慈影灰響盟至畝關丑重籌要討.如紛:烏電架腐薯蝕恒現(xiàn)茫象婚.塵篩埃電芝腐徐蝕捕現(xiàn)摘象IC側(cè)塵那粒共(奪與隸空符氣假中的的勻微繡量茫水賺份任結(jié)膽合吐在灰一仁起妖)這勿樣環(huán)塵運粒革付負著旁狀謀態(tài)夫下跟通秒電弓的握話宿,賣電訂流掉通碎過贏塵容粒紗流棚向構(gòu)鄰鮮近洋的沙I帳T家O牽中仔,怪會掙造轎成您淺偏橫商線額不右良跪.這竟種臘狀昂態(tài)孩下淋繼程續(xù)挑使歡用漸拍緩盈短圾路鑒現(xiàn)通象(損在誓通附電鉛狀乘況羨下挨漸倆漸址地畝腐懶蝕辮I錯T意O棉,滅以瞞至漢于狐最視后岔造麗成球I節(jié)T槐O(jiān)母斷怠線→電允腐認蝕兔現(xiàn)冷象矩)電腐蝕:在通電狀況下ITO被電解而造成斷線的現(xiàn)象無譽塵誼室銹的分原搖理通臘過殘空昏調(diào)南系側(cè)統(tǒng)辰和填凈俱化愚裝屆置隆把寫空禍氣萄進復行刮調(diào)查濕、改調(diào)椒溫蕉和評過滋濾推,寇然墊后眉把姐凈棉化洽的吐空喚氣擴通劍過擁無慕塵棚室枯的段高浪效捆過才濾要器知送義入黨到碗無辦塵烤室巷內(nèi)任,棍達吵到醉潔肺凈撫等崇級釀的郵標春準巨.通玻常貨:呈溫吹度斥:鵲2津2℃±3天℃;濕剖度:5格5員%涌±考5志%薦.包綿括遞:1笛.蜜空酬氣好調(diào)石節(jié)顛系依統(tǒng)修;2方.撫空兼氣另凈芳化刻系爺統(tǒng)或.無禁塵特室屋的謠類無型按投潔臺凈謠度哲和進氣延流急的椅狀映態(tài)驗的離組玻合婚可剃以晚分培為爽三盈種稱方軍式曉:紊知亂弊式恢無級塵嚼室嚷;水證平豈平乖行沙流謠式杜無翅塵插室菌;垂顧直棗平泰行暈流柱式狂無冷塵天室酬.1鳥.紊雕亂憑式慎無浸塵擱室熊(棄C脂o有n泉v性e搞n餐t繪i超o好n原a訪l茂f怠l定o掏w也t只y側(cè)p囑e辯C皆R喊)部:HEPA過濾器空氣調(diào)和器進氣口排氣口H簡E啞P骨A招:催H桿i衛(wèi)g沈h揭E拔f旺f碎i叨c字i出e即n妄c軌y盡P建a微r汁t附i迷c寨u差l嶼a啟t仔e頓A姐i杏r若f聚i乞l裂t冰e畏r擋.以都玻稍璃悼纖較維低為廈主塊體健的抓制他成舊的證高罰效民過思濾暖網(wǎng)通前過療無爸塵囑室票屋群頂筆的倡高首效臉過映濾慰器扇出姓口翁向帆屋末內(nèi)含送決風麻.博通散過淺墻噸壁簽的覆排負氣塊口箱回欲風錫.無膜塵牽室馬的姐類趕型Ⅰ1格.肅紊革亂窯式厲無常塵怎室悶(央C獨o內(nèi)n朱v志e舉n瘦t塊i寇o呢n稻a近l緊f稼l娃o繼w次t沸y賓p荷e遲C騾R偵)泰:HEPA過濾器空氣調(diào)和器多棉孔綁板筒進華氣秀口無潤塵嗚室任的阿類團型Ⅰ無掩塵活室寄的攔類另型Ⅱ空懇氣偽調(diào)龜和就器照裝明吹區(qū)出間口2溉.浩水弊平濁平米行飾式脾無喇塵張室蚊(際C鏡r米o丸s襖s搏f腿l樂o綢w銀t礎y拴p探e蔬C凱R喝)血:H采E勞P屯A過膛濾槐網(wǎng)H蓬E互P聾A過違濾秘網(wǎng)H背E笛P躺A過遼濾暴網(wǎng)通時過恥無壁塵暢室航墻大壁權(quán)的耽高堪效紀過宅濾倡器呢出尼口繼向螺屋揚內(nèi)恨送鑒風鍬.著通釀過插墻禁壁壘的同排粘氣責口束回你風躍.無皂塵花室致的仇類清型Ⅱ2猴.桐水坦平可平深行謹式愧無兵塵殺室宣(泰C筑r般o開s軌s胞f略l全o望w漁t廚y希p畢e伙C絕R您)旨:H區(qū)E癢P移A過叼濾堅網(wǎng)點另檢虜空末間墻跑壁天吸客附佛口空贈氣鍋室無溫塵列室軋的緞類巴型Ⅲ3懇.災垂帝直再平答行嘆式湯無泡塵軍室易(貴D練o基w導n小f斗l鄙o辦w趕t傍y燃p調(diào)e特C睡R觸)掏:H煩E醫(yī)P厭A過鏟濾水網(wǎng)空耗氣積調(diào)謎和誦器通塞過輩無到塵牌室替屋都頂沫的蚊高石效委過觀濾雖器要出剃口壯向魂屋屢內(nèi)咽送尚風減.趨通盜過暢地加板槐的兩排淡氣孕口稍回慎風薪.因鴿通悶過種整傲個所屋域頂青的命高艇效鞭過星濾皂器息向折下繁送部風慚,旋故爭該梅類削型營無目塵郵室景的蝕造鄰價扯高刊于休其挨他峽類蠻型叫.地巴板美(籍吸趴附濫口灶)無角塵館室蒼的磁類堂型Ⅲ3費.坐垂獵直裹平尖行燙式吳無裹塵療室切(國D南o謝w嗽n劃f紡l沙o忽w絨t風y駛p獲e剝C甩R雪)唱:H座E杏P終A過磁濾資網(wǎng)空占氣喂調(diào)糾和掃器屋廚頂剩內(nèi)毀空亡氣涉室地甩板烤下使空昆氣遣室地率板面吸陳附帝口無伯塵飄室掉的肺管洪理崗原順則四管大止原氏則繞:杜杏絕咸把蝕灰選塵成帶待入扶無扯塵銷室碰;減由少氏和館防品止毫無懸塵爐室吃中塵趣粒的雀產(chǎn)漢生鄰;清伙除籠無課塵直室綢中參的縣灰刃塵新;監(jiān)指測坑環(huán)狐境呈參召數(shù)形.原暖則降-樓11拉.摟杜委絕植把扮灰汪塵卻帶加入憑無宅塵西室稍;進德入莖無甩塵屠室拐中突的撥有鑄:空狼氣;人牲員;設第備衛(wèi);材果料茅等笑.原擁則汪-之11頭.紐奉杜鑄絕仰把肢灰尖塵糖帶死入襪無位塵英室傻;(菊一下)掠.諷空造氣:(堡1念)荒.膨通涌過吐過需濾綁網(wǎng)擦凈象化乳空純氣:常投用縱的除過啄濾洽網(wǎng)戰(zhàn):駁玻漁璃暢纖辮維肉和慚玻蠻璃黃石略棉有等頃.玻以璃恒纖論維導:省能庸過黑濾0弟.日3m洋的窮懸疊浮講塵軋粒棟,甚膀至這達售到海0厭.蠅0遞4m的麥懸跟浮款塵堂粒禍;過鍵濾竹效斃果孩:嚷9骨9壟.憶9些9%玻噴璃粉石傘棉雷:拋根夫據(jù)僑石珍棉辣的備的寶直猴徑蓄大脾小宜決畢定趁;例激:1m顧的造石桂棉濾過險濾盼1m竊的喚塵摸粒墓.原棍則渾-朱11僅.摸杜卻絕溜把羊灰佳塵壩帶表入失無斧塵古室磨;(劫一秤)雙.宅空恩氣:(競2貼)怒.財設希定確室?guī)?nèi)話壓摘力悔高蒸于提室川外雄.為繳了祝防動止身室楊外夏未少過相濾棗的稈空畏氣百通稻過累縫搭隙害或獻入堪口削處傲進造入細到先無攝塵書室金中五,更無降塵纖室匹內(nèi)嗽要栽保泳持藝一噸定撥的積靜宜壓墓.無纏塵燙室他中家的削空緣瑞氣幻玉壓澤力統(tǒng)一評般灶要偉比爺室棒外圓高2廉5啞P腰a折左剝右刪.原亦則陜-深11產(chǎn).坊杜鼻絕采把錯灰腎塵患帶幸入覽無腦塵慮室絕;(嬌二壯)羊.敬人貌員:進尸入綱無譽塵悲室懼的岡人賣員示必牌須羽穿摘著相無宗塵棋衣析(例包縣括超手舟套、帽歲子、鞋、口被罩熔)耀,紋用袍純念水洋洗燒手嫁,攝再經(jīng)通沾過嫌風事淋銳室葛進喬入政無酒塵緩室構(gòu).參顧考董資暢料缸:注進題退殺入征無楊塵己室征手與順墳書原漠則后-厲11躲.臨杜慕絕幅把悶灰宏塵奧帶蘇入恒無腫塵謝室遺;(蘇三惰)卵.挖設宜備取及攤材起料:進灰入臺無相塵略室綱的誤設埋備味及缸材氏料斃要遲經(jīng)慮過稀特鉤殊月的馳清般潔鉆方刷法畏,糕即呀除倦塵很處握理小后液,郵才內(nèi)可眠以川進存入獲無閥塵映室迅.原惑則榴-繳2進恩入咐無結(jié)塵菊室嗽必悄須溜穿劫著幫無繪塵晝衣割.不醋得釋使勾用賺容愿易治產(chǎn)便生錫灰啦塵抖的材庭料令、設哈備、搏備籍品嗓等晶.使畏用自無件塵亡室攤用炎品抽.俘(蓋無腦塵鼓紙著、娘無繭塵掙本莊、旋圓仰珠挺筆丙等糠)減勢少至沒飯必挺要徑的槐人購員杏的戒活供動憑、博設針備悄的銳運飄轉(zhuǎn)葡.制收定剪設幫備撕的撞擺馳放符結(jié)鑄構(gòu)惜設骨計賢方析案條.沒捧必傭要漆的黨物腥品哲禁腎止劉帶京入洋到層無沙塵宋室林.無倉塵屑室北中杯禁貍止洞脫紀無陶塵渡衣悶.無杏塵望室培內(nèi)樹物壯品喂數(shù)沫量算限插制呆在宵最淹少集的漠限桿度渡.物攻品窄擺嘩放別作丹出擱規(guī)尺定院,牲減器少關空較氣怠亂發(fā)流絞.參蒜考渣資孟料搬:丹無遇塵擴室兆管束理披規(guī)鏟定2咱.愈減經(jīng)少堆和件防連止啊無晨塵瘦室焰中塵煉粒的使產(chǎn)開生涼.原戶則善-狼3定濾期杠打交掃刃無壯塵膠室姐(勝每突周懷一耗次覺大辮掃去除員)昂;設森備、適工宋作旁臺每停天榆要親打終掃靈;增何加歲換攜氣譽,配特老別木是超易殺產(chǎn)診生束灰飄塵番的觸場全所潔.3長.疾清故除桶無冊塵果室列中擊的劈燕灰波塵靈.原凱則昌-吊
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