儲(chǔ)槽-南區(qū)環(huán)境事故專(zhuān)業(yè)技術(shù)小組課件

毒性化學(xué)物質(zhì)危害評(píng)估與減量管理第一章前言毒性化學(xué)物質(zhì)危害評(píng)估與減量管理第一章前言毒化物有許多危害人體健康之歷史事件，如：石綿作業(yè)勞工之矽肺病：汞及其化合物中毒產(chǎn)生之神經(jīng)系統(tǒng)疾病、內(nèi)分泌疾病、消化系統(tǒng)疾?。槐郊捌溲苌镒鳂I(yè)暴露引起之血液疾病等。也有涉及食物如臺(tái)灣發(fā)生的鎘米污染事件等。或是因工業(yè)製程操作失常的工業(yè)安全事件造成瞬間大量洩漏，造成環(huán)保及公眾安全問(wèn)題，如1970年義大利Seveso及1984年印度Bhopal等事故。前言毒化物有許多危害人體健康之歷史事件，如：石綿作業(yè)勞工之矽肺病「毒性化學(xué)物質(zhì)管理法」之定義(1/4)我國(guó)毒管法將毒性化學(xué)物質(zhì)分為四類(lèi)第一類(lèi)毒性化學(xué)物質(zhì)：化學(xué)物質(zhì)在環(huán)境中不易分解或因生物蓄積、生物濃縮、生物轉(zhuǎn)化等作用，致污染環(huán)境或危害人體健康者。如：甲基汞－生物濃縮性、生物轉(zhuǎn)化 四氯化碳－不易分解性 三氯甲烷－不易分解性 六氯苯－生物濃縮性、不易分解性「毒性化學(xué)物質(zhì)管理法」之定義(1/4)我國(guó)毒管法將毒性化學(xué)「毒性化學(xué)物質(zhì)管理法」之定義(2/4)第二類(lèi)毒性化學(xué)物質(zhì)：化學(xué)物質(zhì)有致腫瘤、生育能力受損、畸胎、遺傳因子突變或其他慢性疾病等作用者。如：石綿－致癌性、致突變性 氧化鎘－致癌性（IARC分類(lèi)為1） 丙醯烯胺－生育能力受損（歐聯(lián)分類(lèi)為2） 六價(jià)鉻化合物－致癌性（IARC分類(lèi)為1） 1,3-丁二烯－致癌性（IARC分類(lèi)為2A）「毒性化學(xué)物質(zhì)管理法」之定義(2/4)第二類(lèi)毒性化學(xué)物質(zhì)：「毒性化學(xué)物質(zhì)管理法」之定義(3/4)第三類(lèi)慣性化學(xué)物質(zhì)：化學(xué)物質(zhì)經(jīng)暴露，將立即危害人體健康或生物生命者。如：氰化物、異氰酸甲酯、氯、甲醛等。第四類(lèi)毒性化學(xué)物質(zhì)：化學(xué)質(zhì)有污染環(huán)境或危害人體健康之虞者。如：二氯甲烷、氧化三丁錫等?！付拘曰瘜W(xué)物質(zhì)管理法」之定義(3/4)第三類(lèi)慣性化學(xué)物質(zhì)：「毒性化學(xué)物質(zhì)管理法」之定義(4/4)第一、二類(lèi)毒化物屬於慢性暴露危害，可能經(jīng)由使用、運(yùn)作方式不當(dāng)、操作習(xí)慣不良、設(shè)備裝置密封不良、作業(yè)環(huán)境不佳、逸散管制失效等途徑導(dǎo)致長(zhǎng)期劑量累積，致影響人體與環(huán)境。第三類(lèi)毒化物屬於急性暴露危害，可能因作業(yè)疏失或錯(cuò)誤操作、製程失控等因素造成瞬間之高度／劑量外洩，而使人員受傷甚或死亡。第四類(lèi)毒化物由於毒理資料尚不完全，但已有部份數(shù)據(jù)顯示其影響，也納入申報(bào)管理。「毒性化學(xué)物質(zhì)管理法」之定義(4/4)第一、二類(lèi)毒化物屬於毒性化學(xué)物質(zhì)危害評(píng)估與逸散減量管理第二章毒性化學(xué)物減量規(guī)劃毒性化學(xué)物質(zhì)危害評(píng)估與逸散減量管理第二章毒性化學(xué)物減量規(guī)劃毒化物之源頭減量技術(shù)可減低毒化物對(duì)於環(huán)境之整體衝擊，但卻無(wú)法降低毒化物運(yùn)作種類(lèi)及數(shù)量，而管末處理也會(huì)因污染物的多樣而更加的複雜，因此解決毒化物的排放污染，從源頭管制已是不可避免的趨勢(shì)。毒性化學(xué)物減量規(guī)劃毒化物之源頭減量技術(shù)可減低毒化物對(duì)於環(huán)境

毒化物源頭減量(1/2)毒化物減量在國(guó)外已行之有年，其中又以美國(guó)環(huán)保署所推行的33/50減廢計(jì)畫(huà)最具成效，在其推行幾年內(nèi)部份工廠的毒化物減量達(dá)90%，33/50計(jì)劃先根據(jù)毒化物釋放清單(ToxicReleaseInventory，TRI)篩選廠商。TRI是美國(guó)工業(yè)毒性化學(xué)物質(zhì)釋放清單，每年需呈報(bào)工廠毒化物釋放量相關(guān)資訊給美國(guó)環(huán)保署。毒化物源頭減量(1/2)毒化物減量在國(guó)外已行之有年，

毒化物源頭減量(2/2)在1980年代末33/50計(jì)劃會(huì)議。討論減少在商業(yè)製造時(shí)TRI的釋放量，會(huì)議結(jié)束後成立一協(xié)會(huì)，於1991年開(kāi)始運(yùn)作計(jì)畫(huà)。目標(biāo)在1992年將17種TRI化學(xué)物質(zhì)釋放減量33%，1995年前釋放減量50%。因部份廠商的大力配合而提前達(dá)到減量33%的目標(biāo)，17種化學(xué)物質(zhì)毒化物源頭減量(2/2)在1980年代末33/50計(jì)劃美國(guó)30/50計(jì)畫(huà)優(yōu)先減量之17種化學(xué)物質(zhì)苯鎘及其化合物四氯化碳氯仿鉻及其化合物氰化物二氯甲烷鉛及其化合物汞及其化合物甲基乙基酮甲基異丁酮鎳及其化合物四氯乙烯甲苯1,1,1-三氯乙烷三氯乙烯二甲苯美國(guó)30/50計(jì)畫(huà)優(yōu)先減量之17種化學(xué)物質(zhì)苯鎘及其化合物四

生命週期分析(1/3)有些毒化物廣泛用於製造或有民生用途且產(chǎn)銷(xiāo)量大應(yīng)進(jìn)行生命週期評(píng)估（LifeCycleAnalysis）（包括盤(pán)查分析、影響分析、改善評(píng)估等）生命週期評(píng)估為針對(duì)產(chǎn)品的一種環(huán)境策略規(guī)畫(huà)工具，國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)組織（ISO）的14000系列標(biāo)準(zhǔn)之－ISO14040系列已訂定規(guī)範(fàn)。生命週期分析(1/3)有些毒化物廣泛用於製造或有民生界定範(fàn)圍目標(biāo)定義盤(pán)查分析（InventoryAnalysis）影響分析（ImpactAssessment）改善評(píng)估（ImprovementAssessment）生命週期分析(2/3)目標(biāo)定義盤(pán)查分析影響分析生命週期分析(2/3)

生命週期分析(3/3)以評(píng)估特定化學(xué)物質(zhì)為對(duì)象，應(yīng)自最初原料取得至產(chǎn)品消費(fèi)後廢棄的整體運(yùn)作過(guò)程為評(píng)估範(fàn)圍，即從搖籃到墳?zāi)梗╢romCradletoGrave）。生命週期分析(3/3)以評(píng)估特定化學(xué)物質(zhì)為對(duì)象，應(yīng)自最

生命週期評(píng)估步驟：1.

目標(biāo)定義及界定範(fàn)圍2.盤(pán)查分析（InventoryAnalysis）3.衝擊評(píng)估（ImpactAssessment）4.改善評(píng)析生命週期評(píng)估步驟：1.目標(biāo)定義及界定範(fàn)圍目標(biāo)定義及界定範(fàn)圍以具生物濃縮及環(huán)境積蓄暴露危害之化學(xué)物質(zhì)為生命週期評(píng)析之範(fàn)圍，減量規(guī)劃可自改善製程及降低運(yùn)作量或採(cǎi)低污染無(wú)危害物質(zhì)代替，達(dá)到減量及清潔生產(chǎn)。目標(biāo)定義及界定範(fàn)圍以具生物濃縮及環(huán)境積蓄暴露危害之化學(xué)物質(zhì)為盤(pán)查分析（InventoryAnalysis）依既定盤(pán)查範(fàn)圍進(jìn)行資料收集，篩選資訊可信度及製作盤(pán)查分析表，配合擴(kuò)散模式推估暴露危害相關(guān)資訊，以供推演影響評(píng)析及改善評(píng)析等後續(xù)工作。盤(pán)查分析（InventoryAnalysis）依既定盤(pán)查範(fàn)衝擊評(píng)估（ImpactAssessment）衝擊需依其毒化物影響類(lèi)型分門(mén)別類(lèi)，並配合量化後之影響分析數(shù)據(jù)，加總其結(jié)果與比較不同影響因子之加權(quán)關(guān)係。衝擊評(píng)估（ImpactAssessment）衝擊需依其毒化改善評(píng)析以製程清潔生產(chǎn)及毒化物減量為終極目標(biāo)，定義改善策略及目標(biāo)，再擬妥階段施行方式及改善措施，並逐年檢討及修正改善策略，建立比較及評(píng)估方法，整理市場(chǎng)觀察、輔導(dǎo)效益、管理觀點(diǎn)三方面的評(píng)析，作為管理的規(guī)畫(huà)方向及參考依歸。改善評(píng)析以製程清潔生產(chǎn)及毒化物減量為終極目標(biāo)，定義改善策略及

生命週期評(píng)估之結(jié)構(gòu)(1/3)生態(tài)環(huán)境生命週期分析生命週期評(píng)估之結(jié)構(gòu)(1/3)生態(tài)環(huán)境生生產(chǎn)產(chǎn)品生命週期分析

生命週期評(píng)估之結(jié)構(gòu)(2/3)生產(chǎn)產(chǎn)品生命週期分析生命週期

生命週期評(píng)估之結(jié)構(gòu)(3/3)技術(shù)技術(shù)生命週期分析生命週期評(píng)估之結(jié)構(gòu)(3/3)技術(shù)技術(shù)生

減量技術(shù)分類(lèi)毒性化學(xué)物質(zhì)減量方式與一般工業(yè)減廢技術(shù)類(lèi)同，主要分為產(chǎn)源減量及回收再利用兩種主要策略，其中產(chǎn)源管制及改變產(chǎn)品，屬於源頭減量；改變?cè)锪细倪M(jìn)製程技術(shù)與操作管理則屬於製程減量，是較積極有效的做法，相對(duì)於毒化物作業(yè)或製程而言，更是一種本質(zhì)安全設(shè)計(jì)的觀念。減量技術(shù)分類(lèi)毒性化學(xué)物質(zhì)減量方式與一般工業(yè)減廢技術(shù)類(lèi)同，改進(jìn)製程技術(shù)製程改變(引進(jìn)產(chǎn)生較少?gòu)U棄物之製程或設(shè)備)設(shè)備管線配置改善操作裝置改善自動(dòng)化控制方式改善能源節(jié)約操作條件最佳化用水合理化減廢技術(shù)產(chǎn)源減量回收再利用（廠內(nèi)廠外循環(huán)）改變產(chǎn)品產(chǎn)品替代改變產(chǎn)品／配方組成產(chǎn)源管制再利用充當(dāng)燃料當(dāng)作其它製程進(jìn)料製程中循環(huán)利用充當(dāng)建材添加物回收回收有用資源製成副產(chǎn)品再生廢棄物交換改變?cè)锪显锪霞兓锪咸娲倪M(jìn)操作管理操作步驟調(diào)整管理措施加強(qiáng)廢物料分類(lèi)分流物料庫(kù)存管理製造時(shí)程更改生產(chǎn)製造時(shí)程規(guī)劃溢漏預(yù)防員工訓(xùn)練記錄保存工業(yè)減廢技術(shù)分類(lèi)圖

改進(jìn)製程技術(shù)減廢技術(shù)產(chǎn)源減量回收再利用改變產(chǎn)品產(chǎn)源再利用回收減量技術(shù)(1/3)減量技術(shù)區(qū)分為以下三大類(lèi)：一、源頭減量：就是取代的策略，例如以較穩(wěn)定、較安全的原料、中間體、產(chǎn)物、副產(chǎn)物、觸媒、添加劑，取代較不安定、毒性較高的原料、中間體、產(chǎn)物、副產(chǎn)物、觸媒、添加劑。減量技術(shù)(1/3)減量技術(shù)區(qū)分為以下三大類(lèi)：減量技術(shù)(2/3)二、製程減量以改變製程流程、製程設(shè)備、設(shè)施、管線之設(shè)計(jì)、操作方式、操作條件、控制方法及維修管理制度等，以增加原料轉(zhuǎn)化率、提高物料之循環(huán)利用率及加強(qiáng)系統(tǒng)之密閉作業(yè)，避免毒性物質(zhì)外洩等等作為減量策略，涵蓋：

以工程設(shè)計(jì)為基礎(chǔ)（EngineeringDesign-based）、操作為基礎(chǔ)（Operation-based） 及維修為基礎(chǔ)（Maintenance-based）等三種減量技術(shù)。減量技術(shù)(2/3)二、製程減量減量技術(shù)(3/3)三、管末處理減量及回收再利用在規(guī)劃毒化物減量計(jì)畫(huà)時(shí)應(yīng)綜合考量上述之各種方式，再選取其中改變風(fēng)險(xiǎn)最低，且效益最高的方法，或以幾種策略搭配，以便產(chǎn)生不同減量技術(shù)之綜合效益。減量技術(shù)(3/3)三、管末處理減量及回收再利用毒性化學(xué)物質(zhì)危害評(píng)估與逸散減量管理第三章毒性化學(xué)物製程設(shè)備改善毒性化學(xué)物質(zhì)危害評(píng)估與逸散減量管理第三章製程設(shè)備改善對(duì)毒化物減量效應(yīng)有顯著效益。無(wú)法使用較安全與低毒性化學(xué)品取代或替代製程改善時(shí)，應(yīng)考慮採(cǎi)用製程設(shè)備改善策略以達(dá)減量目的。毒性化學(xué)物製程設(shè)備改善製程設(shè)備改善對(duì)毒化物減量效應(yīng)有顯著效益。無(wú)法使用較安全與低毒製程操作及設(shè)備改善製程設(shè)備改善包括自動(dòng)化、設(shè)備改進(jìn)、操作最佳化、操作管理及清潔操作等，以電子半導(dǎo)體科技產(chǎn)業(yè)為例分述如下：一、製程自動(dòng)化：包括生產(chǎn)程序最佳化(Optimization)；自動(dòng)化輔助操作系統(tǒng)，可以促進(jìn)工廠自動(dòng)化，避免操作不當(dāng)、增加操作時(shí)間、及提高良率。製程操作及設(shè)備改善製程設(shè)備改善包括自動(dòng)化、設(shè)備改進(jìn)、操作最佳生產(chǎn)設(shè)備改進(jìn)(1/6)二、生產(chǎn)設(shè)備改進(jìn)：

(1)部份設(shè)備的原始設(shè)計(jì)材質(zhì)，可以改用相容且耐用之材質(zhì)，在管路上加裝管件，防止有害性化學(xué)物質(zhì)洩漏，造成機(jī)臺(tái)腐蝕，可減少設(shè)備故障、減少維修時(shí)間、增加操作時(shí)間、增加人員安全。生產(chǎn)設(shè)備改進(jìn)(1/6)二、生產(chǎn)設(shè)備改進(jìn)：生產(chǎn)設(shè)備改進(jìn)(2/6)

(2)其他設(shè)備改善方法，如檢查是否可延長(zhǎng)零件更換時(shí)間，清洗噴射孔口、更換彈簧、重覆使用。修改氫氣點(diǎn)火炬，加裝通氫氣之噴射嘴，汰換不斷電系統(tǒng)之內(nèi)部電池，使用長(zhǎng)型汞燈，改用耐久之零附件，可節(jié)省原物料之購(gòu)置費(fèi)用，減少設(shè)備維修成本、更換次數(shù)，減少報(bào)廢之設(shè)備，以增加產(chǎn)能、減低工作負(fù)擔(dān)、減少?gòu)U棄物處理費(fèi)用。生產(chǎn)設(shè)備改進(jìn)(2/6)(2)其他設(shè)備改善方法，如檢查是否生產(chǎn)設(shè)備改進(jìn)(3/6)(3)使用加熱式管路及閥件，減少管路上的微粒污染及沈積，以免微粒污染回流至製程管路中，減少產(chǎn)品微顆粒污染，降低重做率(Reworkrate)

(4)改良離子源絕緣材質(zhì)與結(jié)構(gòu)，改善絕緣特性，防止污染物附著，延長(zhǎng)維修週期，增加產(chǎn)能。

生產(chǎn)設(shè)備改進(jìn)(3/6)(3)使用加熱式管路及閥件，減生產(chǎn)設(shè)備改進(jìn)(4/6)(5)加強(qiáng)設(shè)備維修，如加裝酸氣偵測(cè)儀與化學(xué)過(guò)濾器。利用自動(dòng)連線，以自動(dòng)檢查機(jī)臺(tái)與配方，分析缺陷原因，可以減少腐蝕、破損而報(bào)廢之晶片(6)以乾式泵取代油壓泵，可減少潤(rùn)滑油之使用量節(jié)省濾油器及減少維修時(shí)間。(7)減少化學(xué)桶藥品殘存量：如加長(zhǎng)佔(zhàn)附管長(zhǎng)度，使用較大容量之包裝容器，以充分使用原物料。生產(chǎn)設(shè)備改進(jìn)(4/6)(5)加強(qiáng)設(shè)備維修，如加裝酸氣偵測(cè)儀生產(chǎn)設(shè)備改進(jìn)(5/6)(8)減少或完全不使用洗淨(jìng)製程的酸液用量，可以節(jié)省原物料購(gòu)置費(fèi)用、增加良率，減少?gòu)U水處理成本。(9)更改噴嘴形式(使原料之噴著更均勻且少量)，可充分使用原物料。(10)採(cǎi)用堅(jiān)固及耐用之墊片，取代易碎之墊片，可減少設(shè)備品零附件之需求量。生產(chǎn)設(shè)備改進(jìn)(5/6)(8)減少或完全不使用洗淨(jìng)製程的生產(chǎn)設(shè)備改進(jìn)(6/6)

(11)由小瓶裝/人工更換，改為自動(dòng)添加系統(tǒng)，可改善供料系統(tǒng)，充分使用原料，提昇機(jī)臺(tái)操作時(shí)問(wèn)、減少輸送過(guò)程中的污染。

(12)以氧化鐵光罩取代emu1sion光罩，可以延長(zhǎng)使用壽命。生產(chǎn)設(shè)備改進(jìn)(6/6)(11)由小瓶裝/人工更換，改為最佳化操作條件(1/2)(1)研究降低晶圓各層（layer）厚度及各層沈積可以減少物料、節(jié)省光罩、節(jié)省反射率、增加產(chǎn)能及生產(chǎn)速度。(2)統(tǒng)一不同晶圓厚度，可簡(jiǎn)化晶片製造過(guò)程。(3)設(shè)備預(yù)熱溫度最佳化：例如更換複晶薄膜製程，機(jī)臺(tái)注射器長(zhǎng)度，增加良率、增加產(chǎn)品可靠性與產(chǎn)能，降低生產(chǎn)成本。最佳化操作條件(1/2)(1)研究降低晶圓各層（layer最佳化操作條件(2/2)(4)改進(jìn)機(jī)械控制軟體：例如促進(jìn)去光阻槽的效能，可提昇產(chǎn)品進(jìn)送速率、降低化學(xué)品（硫酸）使用量與生產(chǎn)成本。(5)改進(jìn)逆滲透膜效率，可以減少清洗用水量。(6)設(shè)計(jì)最佳工作流程及機(jī)臺(tái)位置，可以減少傳遞時(shí)間，促進(jìn)產(chǎn)能。最佳化操作條件(2/2)(4)改進(jìn)機(jī)械控制軟體：例如促進(jìn)去光改進(jìn)操作管理(1/9)

(1)加強(qiáng)管理措施：a.減少製程（薄膜沈積、電漿蝕刻、離子植入、熱處理等）中沾污，以避免粒子沈積、可減少清洗次數(shù)。b.倒入及時(shí)供料系統(tǒng)：使用全面性化學(xué)管理(totalchemicalmanagement，TCM)，可改進(jìn)供料系統(tǒng)、減少輸送過(guò)程之污染，促進(jìn)化學(xué)品管理層次。改進(jìn)操作管理(1/9)(1)加強(qiáng)管理措施：改進(jìn)操作管理(2/9)c.進(jìn)行異常分析、增加機(jī)臺(tái)監(jiān)測(cè)、分析機(jī)臺(tái)異常數(shù)據(jù)或頻率：如最大損耗原因及損耗量，可以減少故障、增加操作空間。

d.檢視控片使用流程：建立流程圖、每日清查控片記錄，可控製控片用量。

改進(jìn)操作管理(2/9)c.進(jìn)行異常分析、增加機(jī)臺(tái)監(jiān)測(cè)改進(jìn)操作管理(3/9)e.下班時(shí)間，辦公大樓用電/照明改由警衛(wèi)室之中央監(jiān)控管理、關(guān)閉部份電腦機(jī)臺(tái)機(jī)及其他耗電設(shè)備，可增加設(shè)備使用壽命、節(jié)省電能。f.設(shè)定空調(diào)溫度及定時(shí)關(guān)閉，檢討製程空氣排放量可以節(jié)省用於清淨(jìng)室之清潔與空調(diào)能源。改進(jìn)操作管理(3/9)e.下班時(shí)間，辦公大樓用電/照明改由警改進(jìn)操作管理(4/9)(2)改善控制方式：

a.增加批次操作處理量，增加作業(yè)速率、減少處理時(shí)間、減少各種氣體使用量。

b.利用機(jī)臺(tái)曝光與對(duì)準(zhǔn)的歷史資料，自動(dòng)回饋至製程機(jī)臺(tái)、可減少測(cè)試時(shí)間與氣體使用量改進(jìn)操作管理(4/9)(2)改善控制方式：改進(jìn)操作管理(5/9)

(3)調(diào)整操作步驟：

a.改變配方的選擇比：例如將非連續(xù)式製程改為連續(xù)式，簡(jiǎn)化配方，調(diào)整個(gè)設(shè)備的清潔或測(cè)試週期，集中處理相同清洗程式的產(chǎn)品，簡(jiǎn)化需分多道程序完成的工作，可縮短循環(huán)時(shí)間、節(jié)省單一程序所需使用的原料量。改進(jìn)操作管理(5/9)(3)調(diào)整操作步驟：改進(jìn)操作管理(6/9)b.延長(zhǎng)機(jī)臺(tái)設(shè)備清洗頻率，可節(jié)省原物料、充分使用原料、提昇機(jī)臺(tái)操作時(shí)間、增加良率。c.研究調(diào)整操作條件：評(píng)估不同製程及使用的光阻液所需的顯影劑，以減少用量對(duì)於可能節(jié)省光罩的製程步驟，進(jìn)行模擬分析，決定最佳製程條件以減少光罩?jǐn)?shù)目，可減少光阻覆蓋、顯影及光阻去除所需的原物料。改進(jìn)操作管理(6/9)b.延長(zhǎng)機(jī)臺(tái)設(shè)備清洗頻率，可節(jié)省原物料改進(jìn)操作管理(7/9)d.晶片在磊晶（epitaxy）後立刻進(jìn)行真空包裝（vacuumpack），可以免除氧化前的清洗程序、減少使用化學(xué)藥物。e.原物料減少研磨液的使用量：降低研磨液的流量，可減少使用化學(xué)物品。

f.原物料的盛裝桶，改用較大容量的容器，並儲(chǔ)存循環(huán)再利用，可減少儲(chǔ)運(yùn)成本及盛裝桶的使用量。改進(jìn)操作管理(7/9)d.晶片在磊晶（epitaxy）後立刻改進(jìn)操作管理(8/9)g.減低閘極氧化量(gateoxide)厚度及縫道(channel)以增加胞密度(ce11density)，減少原件材料與化學(xué)藥品用量、增加良率。h.修改研磨機(jī)暖機(jī)方式，由研磨晶片穩(wěn)定機(jī)臺(tái)，改為不需磨到晶片，降低去離子水用量，減少?gòu)U液產(chǎn)生。改進(jìn)操作管理(8/9)g.減低閘極氧化量(gateoxid改進(jìn)操作管理(9/9)i.買(mǎi)入高純度化學(xué)品，由廠內(nèi)自行配製(on-sitegastoChemica1generation，GCG)，可減少藥品於運(yùn)輸過(guò)程的的污染、增加良率、節(jié)省藥品成本。(4)回收：利用電析沉降以移除或是回收金屬，如錫。改進(jìn)操作管理(9/9)i.買(mǎi)入高純度化學(xué)品，由廠內(nèi)自行配製清淨(jìng)操作(1/5)調(diào)整製程或儀器設(shè)備：在電路版焊接時(shí)使用LSF(LowSolidsFluxer)系統(tǒng)，可減少熔接劑殘留與CFCs的使用。原料取代：如在再焊接（Def1uxing）使用CFC113

在所有水系統(tǒng)中使用水溶性熔接劑。所有系統(tǒng)都使用皂化劑（Saponifiers）以移除附著於熔接劑之松脂（Rosin）。半生水系統(tǒng)中以烯類(lèi)做為溶劑。以漂白溶液氫化CFCs。清淨(jìng)操作(1/5)調(diào)整製程或儀器設(shè)備：在電路版焊接時(shí)使用LS清淨(jìng)操作(2/5)CFC113之清洗電路版以Trigger-Grip設(shè)備泥拌HCFC與甲醇替代，而減少其排放至大氣的量。電鍍操作：原料替代技術(shù)-在錫鉛電鍍過(guò)程中硼氟酸（FluoboricAcid）可以下列物質(zhì)取代：有機(jī)磺酸（OrganicSulfonicAcid，OSA）電鍍、去除鉛之酸性硫酸、熱空氣、電導(dǎo)性固態(tài)聚合溶液。清淨(jìng)操作(2/5)CFC113之清洗電路版以Trigge清淨(jìng)操作(3/5)陰極射線管製程區(qū)之資源減量與回收(1)調(diào)整製程或儀器設(shè)備：減少浸洗溶液之污染物提昇製程效率，如實(shí)施離子交換技術(shù)。(2)以濕式靜電集塵器取代原有之濕式填充洗滌塔以進(jìn)一步提昇酸鹼氣體及NH4Cl次微粒狀物之去除效率。清淨(jìng)操作(3/5)陰極射線管製程區(qū)之資源減量與回收清淨(jìng)操作(4/5)(3)替代原料

a.更換鑲版（Panel）漆而以似蠟物質(zhì)替代。

b.使用吹氣式或水性清洗法取代以Freon作清洗劑來(lái)清除Pane1MaskFrames的污染物質(zhì)。

c.使用異丙醇或丙醇、漂白劑等低有害性化學(xué)物質(zhì)維護(hù)與清淨(jìng)製程。

d.探索取代含鉻之光阻蝕刻劑。清淨(jìng)操作(4/5)(3)替代原料清淨(jìng)操作(5/5)(4)回收：

a.從Pane1Preparaion製程回收製造光阻抑制劑。

b.在離子交換樹(shù)脂中之廢棄瓶中回收水溶性金屬

c.改善磷化物溶液回收並應(yīng)有效循環(huán)使用以減少金屬物質(zhì)排放至大氣中。(5)減少使用或回收下列物質(zhì)：含鉻廢液、清潔物質(zhì)（如氫氣酸）EP放流水、燃燒殘?jiān)?、玻璃碎片、棄置物品、耐火廢棄物、醇類(lèi)。清淨(jìng)操作(5/5)(4)回收：逸散防止技術(shù)排放毒化物之逸散性污染源主要包括設(shè)備元件、儲(chǔ)槽、裝載操作設(shè)施及廢水處理（槽）池等，茲分述其防止洩漏之方式如下：設(shè)備元件儲(chǔ)槽裝載操作設(shè)施油水分離池暨廢水處理（槽）池逸散排放控制技術(shù)逸散防止技術(shù)排放毒化物之逸散性污染源主要包括設(shè)備元件、儲(chǔ)槽、設(shè)備元件(1/7)管線之防漏管線與管線之間的法蘭（Flange）是最可能洩漏的地方，管線之間的接頭盡可能用焊接的方式，避免使用法蘭與具螺旋線接頭的管線，因?yàn)槁菪宇^難以密封。如果設(shè)備之間的管線距離長(zhǎng)，可使用較大直徑的管線，其張力較強(qiáng)，不會(huì)斷裂造成洩漏。使用彈性或膨脹接頭減少或隔離熱膨脹、震動(dòng)、負(fù)荷張力等所造成的影響。設(shè)備元件(1/7)管線之防漏管線連接頭之洩漏示意圖隙縫洩漏焊接洩漏管線連接頭之洩漏示意圖隙縫洩漏焊接洩漏設(shè)備元件(2/7)法蘭之防漏法蘭間的墊圈是工廠中最易破裂及洩漏的地方之一。螺旋捲繞（SpiralWound）的墊圈是目前公認(rèn)最安全的密合墊，它具有兩層金屬環(huán)，可將內(nèi)徑與外徑間的填料夾在中間，墊圈填料不會(huì)因壓力影響而被吹出。應(yīng)用螺旋捲繞的墊圈時(shí)，應(yīng)選擇合金為材料的螺栓以及六角重型螺絲帽，螺帽與螺栓之間，必須鎖緊。千萬(wàn)不可使用一般碳鋼製的螺栓及螺帽，因?yàn)橐话闾间摰膹?qiáng)度不足。設(shè)備元件(2/7)法蘭之防漏法蘭之洩漏示意圖焊接洩漏輪軸洩漏填充物洩漏法蘭之洩漏示意圖焊接洩漏輪軸洩漏填充物洩漏逸散防止技術(shù)-設(shè)備元件(3/7)閥門(mén)之防漏 閥可分為一般閥件、釋壓閥、開(kāi)口閥等，並可用於取樣連接系統(tǒng)，其防漏方式分述如下：

(1)一般閥件之材質(zhì)可考慮使用防火性或不銹鋼製，以避免小型閥因腐蝕而洩漏，另外可考慮採(cǎi)用無(wú)洩漏式閥門(mén)，如蛇腹式閥片或隔膜式閥門(mén)等。逸散防止技術(shù)-設(shè)備元件(3/7)閥門(mén)之防漏無(wú)洩漏式閥門(mén)無(wú)洩漏式閥門(mén)設(shè)備元件(4/7)(2)釋壓閥由於可久易造成彈簧之彈性疲乏，可在其前端加裝可設(shè)定壓力之破裂盤(pán)防止洩漏。(3)開(kāi)口閥為管線末端可直通大氣之關(guān)斷閥，為避免人為之誤觸或操作不當(dāng)所造成之洩漏，應(yīng)加裝二次閥或栓塞等。(4)取樣連接系統(tǒng)在取樣初期易造成大量的洩漏，對(duì)於非黏稠性的流體，應(yīng)採(cǎi)用密閉取樣連接系統(tǒng)，藉控制閥件之開(kāi)關(guān)，由旁通管路迴流取樣減少?zèng)?/p>

設(shè)備元件(4/7)(2)釋壓閥由於可久易造成彈簧之彈性疲乏，釋壓閥之洩漏控制釋壓閥之洩漏控制

開(kāi)口閥之洩漏控制

取樣連接系統(tǒng)之洩漏控制加裝閥避免造成洩漏取樣連接系統(tǒng)在取樣初期易造成大量的洩漏，對(duì)於非黏稠性的流體，應(yīng)採(cǎi)用密閉取樣連接系統(tǒng)，藉控制閥件之開(kāi)關(guān)，由旁通管路迴流取樣減少?zèng)╅_(kāi)口閥之洩漏控制取樣連接系統(tǒng)之洩漏控制加裝閥避免造成洩漏設(shè)備元件(5/7)泵浦之防漏(1)泵浦的材料及密封性是防漏的主要考慮因素，材料應(yīng)避免使用鑄鐵，應(yīng)採(cǎi)用張力達(dá)420,000kpa以上者。(2)單封式泵浦易造成洩漏，應(yīng)採(cǎi)用雙軸封泵浦，其間的兩個(gè)密封之間充滿(mǎn)了油品，其壓力略高於泵送流體的壓力（壓差約105kpa），因此流體洩漏的機(jī)率很低。設(shè)備元件(5/7)泵浦之防漏逸散防止技術(shù)-設(shè)備元件(6/7)(3)泵浦的密封是化工廠中維修次數(shù)最多的項(xiàng)目，使用無(wú)封緘式泵浦，可降低洩漏的機(jī)率，也不必經(jīng)常維修。無(wú)封緘式泵浦，可分為套裝式（CannedType）及磁力驅(qū)動(dòng)式（MagneticDriveType）兩種。(4)套裝式泵浦是一種感應(yīng)式泵浦，它的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)安裝在一個(gè)密封的金屬罐之內(nèi)。(5)磁力驅(qū)動(dòng)泵浦具有兩個(gè)永久磁鐵，外磁鐵是由馬達(dá)帶動(dòng)，以感應(yīng)裝在驅(qū)動(dòng)葉片轉(zhuǎn)動(dòng)器外圍的內(nèi)磁鐵，轉(zhuǎn)動(dòng)器及內(nèi)磁鐵裝在密封的、由非磁性的金屬製成的罐中，因此泵送的流體不會(huì)洩漏出去。逸散防止技術(shù)-設(shè)備元件(6/7)(3)泵浦的密封是化工廠中維無(wú)洩漏型泵浦無(wú)洩漏型泵浦設(shè)備元件(7/7)壓縮機(jī)的防漏與泵浦類(lèi)似，應(yīng)採(cǎi)用雙軸封系統(tǒng)，以避免產(chǎn)生洩漏製程排洩口的防漏製程產(chǎn)生之廢水必須藉由製程區(qū)中之各別排洩口予以收集，並至廢水處理場(chǎng)處理，收集時(shí)應(yīng)採(cǎi)水封方式或密閉式管線以防止洩漏。設(shè)備元件(7/7)壓縮機(jī)的防漏壓縮機(jī)之洩漏控制(1/3)壓縮機(jī)之洩漏控制(1/3)製成排洩口之洩漏控制(2/3)製成排洩口之洩漏控制(2/3)製成排洩口之洩漏控制(3/3)製成排洩口之洩漏控制(3/3)儲(chǔ)槽(1/2)（一）固定頂槽改裝為內(nèi)浮頂槽固定頂槽改裝成內(nèi)浮頂槽，為一技術(shù)上已成熟之改善方式，若採(cǎi)用雙層封口之內(nèi)浮頂，平均將可達(dá)85％之排放削減率。（二）固定頂槽汰換為浮頂槽對(duì)於過(guò)於老舊且已變形或嚴(yán)重腐蝕而無(wú)法改裝成內(nèi)浮頂之儲(chǔ)槽，則可考慮拆除舊槽而以全新的浮頂槽取代之。儲(chǔ)槽(1/2)（一）固定頂槽改裝為內(nèi)浮頂槽儲(chǔ)槽-南區(qū)環(huán)境事故專(zhuān)業(yè)技術(shù)小組課件貯槽之洩漏控制貯槽之洩漏控制貯槽之洩漏控制貯槽之洩漏控制儲(chǔ)槽(2/2)固定頂槽汰換為壓力槽體積小於15m3且儲(chǔ)存物質(zhì)蒸氣壓較高之老舊或變形破損的固定頂槽，可淘汰換成壓力槽。壓力槽在一般操作狀況下不會(huì)排放VOC。壓力及真空閥控制設(shè)立壓力及真空閥於固定頂槽頂端係利用些微之壓差(±0.03psia)封住儲(chǔ)槽，以減少其呼吸損失，對(duì)於呼吸損失之削減率僅5％至25％。此法不可用於儲(chǔ)存會(huì)造成壓力及真空閥阻塞之化學(xué)物質(zhì)。儲(chǔ)槽(2/2)固定頂槽汰換為壓力槽裝載操作設(shè)施(1/3)防止裝載操作之洩漏，首先需減少灌裝管線中殘存之物料，可利用快速接頭達(dá)到管末之密封，其次可採(cǎi)用沈水式裝載或蒸氣平衡管線之方式，分述如：沉水式裝載蒸氣平衡管線

裝載操作設(shè)施(1/3)防止裝載操作之洩漏，首先需減少裝載操作設(shè)施(2/3)沉水式裝載物料灌裝入槽車(chē)採(cǎi)沈水式或底部裝載方式，可避免因頂部裝載之噴濺或大量擾動(dòng)現(xiàn)象造成毒性的物質(zhì)之洩漏。蒸氣平衡管線將槽車(chē)頂部之排氣口密閉收集回流至固定頂槽連接成蒸氣平衡系統(tǒng)。裝載操作設(shè)施(2/3)沉水式裝載裝載與卸料操作之洩漏控制裝載與卸料操作之洩漏控制裝載與卸料操作之洩漏控制由於使用浮頂槽進(jìn)行灌裝，因此排放無(wú)法送回儲(chǔ)槽，而改送至防制設(shè)備進(jìn)行管末處理。裝載與卸料操作之洩漏控制由於使用浮頂槽進(jìn)行灌裝，因此排放無(wú)法油水分離池暨廢水處理（槽）池逸散排放控制措施就密閉加蓋／廢氣處理而言，油水分離池、廢水處理（槽）池可直接使用固定頂予以密閉，或進(jìn)一步將固定頂排氣口連通至排放系統(tǒng)（BlowdownSystem）處理，以防止可燃性氣體蓄積超過(guò)最低爆炸下限（LEL）範(fàn)圍而造成安全危害。密閉方式亦可採(cǎi)用浮動(dòng)頂式，浮動(dòng)頂（FloatingRoof）之優(yōu)點(diǎn)在於液面與頂蓋間無(wú)空隙不會(huì)造成可燃性氣體蓄積的問(wèn)題。裝載操作設(shè)施(3/3)油水分離池暨廢水處理（槽）池逸散排放控制措施裝載操作設(shè)施(3匯流井之洩漏控制匯流井之洩漏控制毒性化學(xué)物質(zhì)危害評(píng)估與逸散減量管理第四章毒化物排放減量

毒性化學(xué)物質(zhì)危害評(píng)估與逸散減量管理第四章毒化物排放減量工業(yè)減廢是達(dá)成『經(jīng)濟(jì)』與『環(huán)?！恢婊I並重，以達(dá)成永續(xù)發(fā)展之目標(biāo)。藉由基線資料清查，針對(duì)工廠生產(chǎn)、製造過(guò)程作總體檢查，從產(chǎn)品的製造過(guò)程中，去發(fā)現(xiàn)廢棄物、廢水、廢氣、嗓音等環(huán)境污染源之源頭，找出消耗能量、消耗資源之原因，並藉由一系列的評(píng)估方法、可行性分析及減廢方案的評(píng)估，選擇合適的減廢技術(shù)，以執(zhí)行工業(yè)減廢之計(jì)畫(huà)。毒化物排放減量工業(yè)減廢是達(dá)成『經(jīng)濟(jì)』與『環(huán)?！恢婊I並重，工業(yè)減廢之成效達(dá)成污染預(yù)防，減少管末處理費(fèi)用及污染物之排放量。藉由污染防治，達(dá)成環(huán)境保護(hù)目的。資源有效利用、降低生產(chǎn)成本。製程改善與評(píng)估管理，促成工業(yè)升級(jí)。工業(yè)減廢之成效達(dá)成污染預(yù)防，減少管末處理費(fèi)用及污染物之排放量雷射、晶圓清洗技術(shù)雷射清洗是IC製程之清潔生產(chǎn)技術(shù)及毒化物減排技術(shù)，清洗晶片技術(shù)決定製造成本、良率、品質(zhì)的重要關(guān)鍵。晶圓清洗主要是去除：黏附於晶圓之微粒殘留於晶圓之有機(jī)物，如光阻劑及各種人為污染殘留於晶圓上之無(wú)機(jī)物，含各種重金屬、鹼金族金屬及其他金屬離子製程不需要的氧化膜，如矽暴露於空氣中即會(huì)生成電性不同的二氧化矽薄膜。雷射、晶圓清洗技術(shù)雷射清洗是IC製程之清潔生產(chǎn)技術(shù)及毒化物清潔生產(chǎn)技術(shù)及毒化物排放減量製程方面：減少原料及能源之使用製程設(shè)備改善及逸散防止。降低及處理廢氣、廢水及廢棄物之排放及毒性減低。產(chǎn)品方面：配合生命週期規(guī)劃從搖籃到墳?zāi)沟娜娓拍睢Ｇ鍧嵣a(chǎn)技術(shù)及毒化物排放減量製程方面：雷射清洗法種類(lèi)紫外線光熱清洗法以雷射光之熱作用去截?cái)辔廴玖Ｗ又I結(jié)。紫外光反應(yīng)清潔法以雷射光加上反應(yīng)氣體形成一光反應(yīng)物觸媒，此物種可以將污染物質(zhì)完全轉(zhuǎn)化成可揮發(fā)性的中間產(chǎn)物，而不留下碳?xì)堅(jiān)蛎撾x之殘屑。超紫外光反應(yīng)清洗法表面溫度分析：超紫外線之光子因波長(zhǎng)短易於表面散射，雖會(huì)造成光源導(dǎo)送問(wèn)題，但卻可以減輕熱量集中的問(wèn)題，雷射清掃法使用248nm或193nm的超紫外線光源，其加入之反應(yīng)氣體可使晶圓低於。一般以光熱模式（Phototherma1Model)其是以大量的光子照擊晶圓、產(chǎn)生熱能，使污染粒子脫離，導(dǎo)致晶圓殘留大量的熱能。當(dāng)加入反應(yīng)氣體時(shí)，氣體會(huì)加入化學(xué)反應(yīng)形成光化學(xué)反應(yīng)模式，而更能乾淨(jìng)去除粒子。雷射清洗法種類(lèi)紫外線光熱清洗法以雷射光之熱作用去截?cái)辔廴玖Ｗ踊厥赵倮?1/2)我國(guó)於1974年公布「廢棄物清理法」(廢清法)，規(guī)劃出一般廢棄物和事業(yè)廢棄物的清除與處理權(quán)責(zé)，因其產(chǎn)生源之不同而有不同的清理體系規(guī)劃。環(huán)保署於民國(guó)1986年成立後，針對(duì)事業(yè)廢棄物之管制配合推動(dòng)事業(yè)廢棄物的產(chǎn)源減廢措施、建置公民營(yíng)廢棄物清除處理體系，讓事業(yè)廢棄物從搖籃到墳?zāi)沟墓芾泶胧┲饾u成形?；厥赵倮?1/2)我國(guó)於1974年公布「廢棄物清理法」(廢回收再利用(2/2)環(huán)保署於2002年以「資源回收再利用法」(資再法)，立法之目的係為「節(jié)省自然資源使用，減少?gòu)U棄物產(chǎn)生，促進(jìn)物質(zhì)資源回收再利用，減輕環(huán)境負(fù)荷，建立資源永續(xù)利用之社會(huì)」。經(jīng)濟(jì)部：水淬高爐石、鈦鐵礦氯化爐碴。環(huán)保署：鐵、銅、鋁、玻璃、塑膠。內(nèi)政部：瀝青混凝土挖除料。回收再利用(2/2)環(huán)保署於2002年以「資源回收再利用法」回收再利用組織再生資源回收再利用促進(jìn)委員會(huì)

以審慎的態(tài)度規(guī)劃及推動(dòng)資源回收再利用，資再法同時(shí)授權(quán)環(huán)保署設(shè)置由相關(guān)政府機(jī)關(guān)、學(xué)者專(zhuān)家及環(huán)境保護(hù)團(tuán)體代表。再生資源回收再利用工作小組

以負(fù)責(zé)審議主管機(jī)關(guān)及目的事業(yè)主管機(jī)關(guān)所研擬有關(guān)再生資源回收再利用重大政策，辦理委員會(huì)相關(guān)幕僚作業(yè)。回收再利用組織再生資源回收再利用促進(jìn)委員會(huì)資源回收再利用推動(dòng)計(jì)畫(huà)環(huán)保署納入產(chǎn)品生命週期之概念，以事業(yè)廢棄物零廢棄為目標(biāo)，跨部會(huì)協(xié)力訂定「資源回收再利用推動(dòng)計(jì)畫(huà)」。推動(dòng)計(jì)畫(huà)執(zhí)行期程自民國(guó)93年至民國(guó)109年止，分成短程（民國(guó)93年至民國(guó)96年）、中程（民國(guó)97年至民國(guó)100年）、長(zhǎng)程（民國(guó)101年至民國(guó)109年）三階段實(shí)施共計(jì)17年。資源回收再利用推動(dòng)計(jì)畫(huà)環(huán)保署納入產(chǎn)品生命週期之概念，以事業(yè)廢民國(guó)96年民國(guó)100年民國(guó)109年工業(yè)廢棄物[1]減量率10%15%20%再利用率75%78%80%科學(xué)工業(yè)園區(qū)廢棄物[2]再利用率40%45%50%醫(yī)療廢棄物減量率5%10%20%再利用率20%30%45%營(yíng)建廢棄物減量率5%10%20%再利用率70%75%80%農(nóng)業(yè)廢棄物減量率5%10%20%再利用率83%84%85%教育廢棄物減量率5%10%20%再利用率20%30%45%國(guó)防廢棄物減量率15%20%25%再利用率60%70%80%

我國(guó)短中長(zhǎng)程廢棄物減量率及再利用率目標(biāo)民國(guó)96年民國(guó)100年民國(guó)109年工業(yè)廢棄物[1]減量率10八大設(shè)施推動(dòng)計(jì)畫(huà)整合資源回收再利用推動(dòng)訂定各類(lèi)事業(yè)廢棄物減量率與再利用率強(qiáng)化源頭減量工作積極推動(dòng)資源回收再利用提供經(jīng)濟(jì)誘因，促進(jìn)業(yè)者投資強(qiáng)化資源再生市場(chǎng)機(jī)制健全事業(yè)廢棄物再利用基線資料加強(qiáng)教育宣導(dǎo)及資訊系統(tǒng)八大設(shè)施推動(dòng)計(jì)畫(huà)整合資源回收再利用推動(dòng)高科技產(chǎn)業(yè)排放管制環(huán)保署自2006年起，開(kāi)始進(jìn)行高科技產(chǎn)業(yè)廢水特性及特殊污染物污染來(lái)源展開(kāi)長(zhǎng)期性的調(diào)查，要求業(yè)者在未訂定各種排放標(biāo)準(zhǔn)前，採(cǎi)取自主管理，透過(guò)源頭減量等方式，減少特殊污染物排放，造成環(huán)境污染。高科技產(chǎn)業(yè)空氣污染物排放則有「半導(dǎo)體製造業(yè)空氣污染管制及排放標(biāo)準(zhǔn)」、「光電材料及元件製造業(yè)空氣污染管制及排放標(biāo)準(zhǔn)」等標(biāo)準(zhǔn)。其管制項(xiàng)目種類(lèi)包含生產(chǎn)製造程序中所產(chǎn)生之揮發(fā)性有機(jī)物、氫氟酸及鹽酸等空氣污染物。高科技產(chǎn)業(yè)排放管制環(huán)保署自2006年起，開(kāi)始進(jìn)行高科技產(chǎn)業(yè)廢毒性化學(xué)物質(zhì)減量實(shí)例摘要減量技術(shù)工業(yè)類(lèi)別案例說(shuō)明源頭減量鹼氯工業(yè)以薄膜法取代水銀法，降低汞污染。源頭減量硬脂酸鎘製程以氧化鎘取代或硫酸鎘，製程無(wú)含鎘廢水產(chǎn)生，以免汙染農(nóng)田。源頭減量半導(dǎo)體工業(yè)以乙酸乙氧基乙酯作為光阻劑的溶劑，雖可降低易燃性，有良好蒸發(fā)率與水中混合性，但對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)協(xié)會(huì)與加州大學(xué)Davis分校對(duì)14家公司中的15000名作業(yè)員工進(jìn)行的研究報(bào)告顯示在低於5ppm(TLV-TWA)的暴露下可能造成流產(chǎn)及影響生育。建議以單甲基醚丙二醇之衍生酯類(lèi)與乳酸乙酯做為光阻劑的溶劑。源頭減量半導(dǎo)體工業(yè)化學(xué)氣相沉積製程製造硼磷矽玻璃(BPSG)薄膜以TMB、TMP和TEOS反應(yīng)取代高毒性B2H6、PH3之SiH4Base的反應(yīng)。源頭減量電鍍業(yè)以低毒性的三價(jià)鉻取代高毒性之六價(jià)鉻。採(cǎi)用無(wú)氰電鍍以降低毒性。製程減量農(nóng)藥原體合成不儲(chǔ)存異氰酸甲酯(MIC)，在需用MIC之製程前增設(shè)MIC生產(chǎn)製程，MIC生成後立即用掉，以降低其危害性。製程減量管末處理減量PU合成皮業(yè)濕式PU合成皮業(yè)產(chǎn)生大量含二甲基甲醯胺(DMF)危害性物質(zhì)之廢水，每一碼PU皮約產(chǎn)生15%DMF3kg，以蒸餾法回收利用(DMF雨水)，則渣量約只有0.018kg/碼PU皮。管末處理減量石化業(yè)甲基丙烯酸甲酯(MMA)之製程廢水含有毒化物氰(CN-)，先以次氯酸鈉等氧化劑將氰氧化物破壞後，才進(jìn)入一般廢水處理程序。毒性化學(xué)物質(zhì)減量實(shí)例摘要減量技術(shù)工業(yè)類(lèi)別案例說(shuō)明源頭減量鹼氯高科技產(chǎn)業(yè)的毒化物減量工業(yè)界不僅應(yīng)該重視研究發(fā)展並且要實(shí)施於污染預(yù)防（PollutionPrevention）的技術(shù)，更應(yīng)該要朝清淨(jìng)產(chǎn)品或有利環(huán)境的產(chǎn)品（綠色產(chǎn)品）努力，真正使產(chǎn)品經(jīng)消費(fèi)後對(duì)於環(huán)境的影響降至最低。加速研發(fā)清淨(jìng)生產(chǎn)技術(shù)（Clearproduction）以加速淘汰高污染製程技術(shù)及危害性較大之原物料之使用，達(dá)到廢棄物由產(chǎn)源減量、減毒之最佳策略。高科技產(chǎn)業(yè)的毒化物減量工業(yè)界不僅應(yīng)該重視研究發(fā)展並且要實(shí)施於污染防治方法減少污染的最佳方法為改善污染來(lái)源與製程，發(fā)展污染防治技術(shù)可以有效地增加效益與減少環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)而增加利潤(rùn)。污染防治或資源減量通常是針對(duì)原料、製程或是減少或避免產(chǎn)污染源頭產(chǎn)生污染物與廢棄物，也包括減少有害物質(zhì)、能量、水或其他資源的使用之訓(xùn)練，減少原料損失與減少管末處理。污染防治方法減少污染的最佳方法為改善污染來(lái)源與製程，發(fā)展污染半導(dǎo)體製程(1/2)電子與半導(dǎo)體製造業(yè)是集中物理、電子、電機(jī)、光電、化學(xué)、機(jī)械、材料及管理科學(xué)的高科技工業(yè)，為電子工業(yè)上游的技術(shù)產(chǎn)業(yè)。在半導(dǎo)體元件製程中，使用多種酸鹼液、有機(jī)溶劑及特殊毒性氣體，其產(chǎn)生的污染源不但污染強(qiáng)度大，且污染特性隨產(chǎn)品層次提昇而趨於複雜，若未做好污染防治與減量工作，將會(huì)造成顯著的環(huán)境污染問(wèn)題。半導(dǎo)體製程(1/2)電子與半導(dǎo)體製造業(yè)是集中物理、電子、電機(jī)半導(dǎo)體工廠由於製程作業(yè)需求需要使用大量的水資源及電能的消耗，故應(yīng)該發(fā)展一套省水、節(jié)能技術(shù)與整體資源管理方式：改善製程與儀器設(shè)備可以減少?gòu)U棄物量，生產(chǎn)者可以改變儀器設(shè)備或製程減少或替代有害毒性物質(zhì)的使用產(chǎn)生較少?gòu)U棄物或以無(wú)毒性的物質(zhì)替代原有物質(zhì)廢棄物隔離/分類(lèi)/調(diào)配避免不同形式的廢棄物混合在一起。半導(dǎo)體製程(2/2)半導(dǎo)體工廠由於製程作業(yè)需求需要使用大量的水資源及電能的改善製程與儀器設(shè)備改善淨(jìng)水方式節(jié)約用水方式增加電解槽溫度降低電解槽的迴流速率增加溶液槽的液滴時(shí)間搖晃、震盪或是風(fēng)刀切割或是脫出槽中的廢棄物利用濕性物質(zhì)降低槽的表面張力流量槽裝置流速限量器裝置迴流清淨(jìng)系統(tǒng)霧化或噴灑式淨(jìng)水設(shè)備反應(yīng)式淨(jìng)水設(shè)備純化或軟化水質(zhì)廢水清淨(jìng)電導(dǎo)控制水槽攪拌使之淨(jìng)化與均相流量控制閥改善製程與儀器設(shè)備改善淨(jìng)水方式節(jié)約用水方式增加電解槽溫度流量有害物質(zhì)之減量及替代技術(shù)(1/2)以鹼性鋅、酸性鋅、酸性硫酸銅、焦磷酸銅、鹼性銅、鹵化銀、氫化銀、無(wú)電子鎳、甲基硫酸鉛碘化銀、硫酸鎘、亞硫酸金、無(wú)自由氰化銀、氟硼酸銅等取代氰化物電鍍液。使用硫酸鐵取代二亞硫酸鈉與亞硫酸，以氣化鉻酸廢棄物，使用液態(tài)氯取代氣態(tài)氯以減少氣化物還原。再鍍銅槽中以不含氰化物溶液取代氰化納溶液。有害物質(zhì)之減量及替代技術(shù)(1/2)以鹼性鋅、酸性鋅、酸性硫酸有害物質(zhì)之減量及替代技術(shù)(2/2)而以三價(jià)鈷（Co3+）取代六價(jià)鈷（Co6+）鍍系統(tǒng)。以含1%碳酸鈉的水性鹼性防護(hù)液置換氯甲烯、三氯乙烯和氯乙烯。以液體TBA（tertiarybutylarsine）與TBP（tertiarybutylphosphine）代替砷化三氫氣體及磷化氫氣體，降低其毒性與易燃性。有害物質(zhì)之減量及替代技術(shù)(2/2)而以三價(jià)鈷（Co3+）取代原料取代技術(shù)：使用過(guò)氧化氫／硫酸取代過(guò)硫酸鈉蝕刻劑（酸蝕刻溶液）?；厥眨豪秒娢龇ɑ厥浙~。蝕刻操作區(qū)之源頭減量原料取代技術(shù)：蝕刻操作區(qū)之源頭減量調(diào)節(jié)製程或設(shè)備技術(shù)：

裝置如減少冷卻溫度、其他容器之濃縮蒸氣循環(huán)水、與沈降液之蒸氣壓力。裝置新設(shè)備產(chǎn)生少量或無(wú)廢棄物：

例如將原廠裝配之油式泵浦換成不需換油之乾式泵浦，減少停機(jī)換油之生產(chǎn)損失，節(jié)省油料消耗與減少?gòu)U油污染。半導(dǎo)體製程區(qū)之源頭減量(1/3)調(diào)節(jié)製程或設(shè)備技術(shù)：半導(dǎo)體製程區(qū)之源頭減量(1/3)減少含鉻之廢水：a.設(shè)置鉻廢液收集裝置減少其外漏。

b.現(xiàn)場(chǎng)苛性劑與重亞硫酸鈉還原六價(jià)鉻成三價(jià)鉻污泥，避免污染其他廢水。

c.修護(hù)清洗槽之洩漏處以減少鉻廢液漏出。原料取代技術(shù)：

以無(wú)危害性產(chǎn)物減少或除去漂白水的使用。 a.選用正光阻劑（Positivephotoresist），替代負(fù)光阻劑（Negativephotoresist），用水溶液顯像沖洗，減少使用有機(jī)溶劑。半導(dǎo)體製程區(qū)之源頭減量(2/3)減少含鉻之廢水：半導(dǎo)體製程區(qū)之源頭減量(2/3)b.改變氫氟酸廢水處理配方，使用二氯化鈣溶液取代氫氣化鈣。c.以低污染性原料替代高污染性原料：添加鈣鹽處理含氟廢水，使產(chǎn)生氟化鈣污泥沈澱。 2F-＋CaCl2

：→CaF2:+2Cl-

2F-＋Ca（OH）2

：→CaF2+2OH-

d.消除污染源之洩漏與溢流：再更換酸、鹼等桶裝化學(xué)品時(shí)，會(huì)有蒸氣逸散污染室內(nèi)空氣，故可增設(shè)移動(dòng)式抽氣系統(tǒng)，以改善室內(nèi)空氣品質(zhì)。e.回收可用物質(zhì)，如回收Freon113；再製製程區(qū)硫酸，以蒸餾純化之，最後再送回製程。

半導(dǎo)體製程區(qū)之源頭減量(3/3)b.改變氫氟酸廢水處理配方，使用二氯化鈣溶液半導(dǎo)體製程區(qū)之調(diào)整製程與設(shè)備，如裝置流量控制閥、裝置金屬回收設(shè)備、裝置去離子化系統(tǒng)。設(shè)計(jì)不同版面，減少電路版裝配。製程系統(tǒng)裝置減少冷卻溫度、容器之濃縮蒸氣循環(huán)水、與沈降液之蒸氣壓力等。電路版製程之源頭減量(1/4)調(diào)整製程與設(shè)備，如裝置流量控制閥、裝置金屬回收設(shè)備、裝置去離採(cǎi)用不同濕式化學(xué)製程（wetchemicalprocess）：化學(xué)製程中使用機(jī)械式清洗方式。使用光聚合（Photopolymer）、印刷（Printing）等以有效改善製程。使用雷射、反應(yīng)性氣體或超音波時(shí)以焊化替代等原料取代：a.電路版製造中以TCA(三氯乙烯)與二氯甲烷取代半生液（Semiaqeous）或光阻蝕刻液b.以CFC113與TCA取代不乾淨(jìng)成水性熔接劑電路版製程之源頭減量(2/4)採(cǎi)用不同濕式化學(xué)製程（wetchemicalproces廢棄物隔離/分類(lèi)/調(diào)配：

分隔廢水/廢污泥以回收金屬。改進(jìn)製程技術(shù)，選用低污染製程：選用平坦化法（planarization）取代溝渠法（trench）的製造方法，可以減少化學(xué)品使用量選用不同製程方式：高頻超音波清洗、鹼性蝕刻替代酸性蝕刻、乾洗替代濕洗、選用雷射清洗、或選用電漿蝕刻等，以減少化學(xué)品量。電路版製程之源頭減量(3/4)廢棄物隔離/分類(lèi)/調(diào)配：電路版製程之源頭減量(3/4)電路版製程之源頭減量(4/4)回收：從Pane1Preparaion製程回收製造光阻抑制劑在離子交換樹(shù)脂中之廢棄瓶中回收水溶性金屬改善磷化物溶液回收並應(yīng)有效循環(huán)使用以減少金屬物質(zhì)排放。電路版製程之源頭減量(4/4)回收：製程減量實(shí)例-積體電路工廠(1/4)六吋晶圓生產(chǎn)在化學(xué)原料使用量上，統(tǒng)計(jì)分析如下製程項(xiàng)目數(shù)量(kg)化學(xué)原料使用量指標(biāo)kg／片wafer比重(%)薄膜CVD擴(kuò)散其他103,4009,300200.1960.018－6.20.6－微影光阻／稀釋劑顯影劑洗劑等150,500342,70060,1000.2860.6510.1149.120.83.6蝕刻濕蝕刻劑乾蝕刻氣體733,30013,0001.3930.02544.50.8清洗清洗劑236,7000.45014.4化學(xué)品合計(jì)1,649,0203.133100製程減量實(shí)例-積體電路工廠(1/4)六吋晶圓生產(chǎn)在化學(xué)原料使製程減量實(shí)例-積體電路工廠(2/4)最大宗之濕蝕刻劑為硫酸，其次為磷酸，使用後之酸液因含有製程中剝落之微粒，不堪再使用，必須廢棄。在硫酸及磷酸之系統(tǒng)中分別增設(shè)特殊微粒固體過(guò)濾器，以降低硫酸／磷酸液中之微粒。酸過(guò)濾器之使用情況良好，據(jù)統(tǒng)計(jì)可分別使其循環(huán)再使用，而大幅減少酸液補(bǔ)充量。製程減量實(shí)例-積體電路工廠(2/4)最大宗之濕蝕刻劑為硫酸，製程減量實(shí)例-積體電路工廠(3/4)引進(jìn)新型的顯影液噴塗設(shè)備，使顯影液更有效的集中於晶圓上，減少?lài)姷骄A外之損失。改善方式為增加一個(gè)自底部出料的加料瓶，瓶上端有排氣閥，底部接加料泵之吸取管，加料瓶中之光阻劑經(jīng)常保持適當(dāng)?shù)囊何?，不足時(shí)即自原料瓶補(bǔ)充。加料瓶上有排氣閥，補(bǔ)充之光阻劑若含有氣體，進(jìn)入加料瓶後即可分離，氣體累積於上方並自排氣閥排出。製程減量實(shí)例-積體電路工廠(3/4)引進(jìn)新型的顯影液噴塗設(shè)備在清洗方面：異丙醇（IPA）沖洗，異丙醇沖洗後收集於收集槽，以泵抽出，循環(huán)使用，液位不足立即補(bǔ)充新料收集槽液位滿(mǎn)後即溢流排放。將排液管加裝U型管，緩和出口之振盪程度而降低排液量，使異丙醇的耗用量約節(jié)省35％。前述各項(xiàng)減廢措施中獲得的成果，總計(jì)約為每生產(chǎn)一片六吋晶圓約可節(jié)省0.79滿(mǎn)kg化學(xué)原料，約節(jié)省25%。製程減量實(shí)例-積體電路工廠(4/4)在清洗方面：異丙醇（IPA）沖洗，異丙醇沖洗後收集於收集槽，33/50減廢計(jì)畫(huà)案例分析-HADCO公司

公司專(zhuān)門(mén)製造生產(chǎn)電路板，參與33/50計(jì)劃以減量毒化物如二氯甲烷、鉛、甲基乙基酮、1,1,1-三氯乙烷為目標(biāo)。

主要減量措施為：在乾燥薄膜過(guò)程中開(kāi)始以碳酸鹽溶液取代1,1,1-三氯乙烷以及使用氫氧化物取代二氯甲烷。螢?zāi)磺逑丛臼褂枚燃淄椋挠伤芤呵鍧崉┨娲?3/50減廢計(jì)畫(huà)案例分析-HADCO公司 公司專(zhuān)門(mén)製造為全世界最大健康產(chǎn)品製造公司，包括化妝品製造、嬰兒相關(guān)物品、藥品製造等六個(gè)廠參與33/50計(jì)劃，其釋放量及轉(zhuǎn)化量自1988至1992年減量達(dá)77%。

主要減量步驟包括：黏性繃帶代替原本使用乙烯基乳劑而停止甲基乙基酮、甲基異丁酮、二甲苯等優(yōu)先減量化學(xué)物質(zhì)的使用。33/50減廢計(jì)畫(huà)案例分析-Johnson&Johnson公司(1/2)為全世界最大健康產(chǎn)品製造公司，包括化妝品製造、嬰兒相關(guān)物品、以設(shè)備及生產(chǎn)製程的改變而使1988至1992年間二氯甲烷和甲苯減量達(dá)131000磅，採(cǎi)用以下改善步驟：以水代替使用二氯甲烷和甲苯為警示液的真空幫浦，減少毒化物之使用；定期檢查並確認(rèn)測(cè)漏裝置，減少不必要的釋放。避免單一產(chǎn)品的重複操作步驟，更進(jìn)一步地減少?gòu)U水中三氯甲烷的量。33/50減廢計(jì)畫(huà)案例分析-Johnson&Johnson公司(2/2)以設(shè)備及生產(chǎn)製程的改變而使1988至1992年間二氯甲烷在全美擁有103製造廠，其中有23間參與33/50計(jì)劃。在1988至1992年間Olin公司致力於包括二氯甲烷、1,1,1三氯乙烷、鉛及其化合物、二甲苯、汞、甲基乙基酮、四氯化碳、鎳及其化合物等毒化物的減量，減量達(dá)67%。以下為其減量步驟：33/50減廢計(jì)畫(huà)案例分析-Olin公司(1/3)在全美擁有103製造廠，其中有23間參與33/50計(jì)劃減量步驟裝置洗滌塔和生產(chǎn)過(guò)程之排氣收集系統(tǒng)，減少?gòu)S內(nèi)超過(guò)60種特殊化學(xué)產(chǎn)品之廢棄物。在1992年四氯化碳釋放量減量達(dá)70%。工廠內(nèi)通常使用1,1,1-三氯乙烷作為多目標(biāo)清潔劑及去油劑，為了減少應(yīng)用之減量步驟：限制1,1,1三氯乙烷的使用，要求工作人員在使用管制化學(xué)品時(shí)需出示許可證確認(rèn)取代物質(zhì)以減少使用；冷卻裝置使用去脂劑以提昇補(bǔ)集氣體的能力。33/50減廢計(jì)畫(huà)案例分析-Olin公司(2/3)減量步驟33/50減廢計(jì)畫(huà)案例分析-Olin公司(2/3此廠以氣體形式排放之1,1,1-三氯乙烷至1992年已減量達(dá)80%。並開(kāi)始裝置以下兩種設(shè)備以減少1,1,1-三氯乙烷的洩漏。 (1)以水溶液作為清潔劑替代用氯溶液消毒； (2)改變製程以移除清潔程序。另一項(xiàng)減量則是鉛廢棄物再回收，1992年整個(gè)掩埋場(chǎng)的鉛廢料減量95%。33/50減廢計(jì)畫(huà)案例分析-Olin公司(3/3)此廠以氣體形式排放之1,1,1-三氯乙烷至1992年已減量達(dá)印刷電路板製造廠在33/50計(jì)劃內(nèi)大幅減少毒化物（二氯乙烷及1,1,1-三氯乙烷）總釋放量，減量主要步驟包括：在蝕刻電路板時(shí)以水溶液為主的洗滌劑去除過(guò)量的聚合物，再將清潔劑改為1,1,1-三氯乙烷。使用水溶性的碳酸鈉溶液漸漸取代1,1,1-三氯乙烷。33/50減廢計(jì)畫(huà)案例分析-PrintedCircuitCorporation印刷電路板製造廠在33/50計(jì)劃內(nèi)大幅減少毒化物（二氯乙烷管末處理減量實(shí)例－鉻系廢液處理系統(tǒng)(1/3)廢液產(chǎn)生之種類(lèi)包括回收槽廢液、大氣濃縮設(shè)備產(chǎn)生之廢液及電鍍槽老化廢液等三類(lèi)。電鍍工廠收集之鉻系廢液，經(jīng)過(guò)分析其主要成份如下表所示二鉻系廢液係以批式處理，還原法處理流程及控制條件如下圖。鉻系廢液還原反應(yīng)槽中和沉澱槽壓濾機(jī)濾液(放流水)酸液鹼液污泥還原劑鉻系廢液處理流程管末處理減量實(shí)例－鉻系廢液處理系統(tǒng)(1/3)廢液產(chǎn)生之種類(lèi)包CrO3(g/L)30~230Fe2~14Zn0~0.5Ni0~3.0Cu0~1.0pH值1.3~2.0顏色深黃褐色某電鍍工廠鉻系廢液成分分析CrO3(g/L)30~230Fe2~14Zn0~0.5Ni管末處理減量實(shí)例－鉻系廢液處理系統(tǒng)(2/3)每批次處理量約600公升（最大處理容量每批次可達(dá)2000公升），鉻酸濃度約在10~114g/L之間。為了準(zhǔn)確控制還原反應(yīng)終點(diǎn)，避免還原劑添加過(guò)量，操作控制上特別設(shè)計(jì)將原液自還原槽中引流至還原終點(diǎn)測(cè)試井，並降低其pH值至0.8左右。明顯觀察到達(dá)還原終點(diǎn)時(shí)，廢液ORP值（OxidationReductionPotential）之急劇下降情況，此時(shí)立即自動(dòng)關(guān)閉還原劑添加系統(tǒng)，如此可準(zhǔn)確控制還原劑用量。管末處理減量實(shí)例－鉻系廢液處理系統(tǒng)(2/3)每批次處理量約6管末處理減量實(shí)例－鉻系廢液處理系統(tǒng)(3/3)中和沈澱槽則設(shè)計(jì)成共流式進(jìn)料，即廢液與鹹液同時(shí)加入中和沈澱槽中，在中和槽之平均水力停留時(shí)間為一小時(shí)，此種中和方式使沈澱顆粒變大，沈降性甚佳，不需再添加凝集劑，即可達(dá)到良好過(guò)濾效果。管末處理減量實(shí)例－鉻系廢液處理系統(tǒng)(3/3)中和沈澱槽則設(shè)計(jì)鉻系廢液處理系統(tǒng)(1/3)還原反應(yīng)槽最佳控制條件： pH:0.8±0.1

ORP:450±10mV

還原劑（20%NaHSO3

）

流速：0.05~1.15m3/hr反應(yīng)方程式： 3NaHSO3+2H2S04

＋2H2CrO4→ Cr2(SO4)3+Na2SO4、＋NaHSO4＋5H2O鉻系廢液處理系統(tǒng)(1/3)還原反應(yīng)槽最佳控制條件：鉻系廢液處理系統(tǒng)(2/3)中和沈澱槽最佳控制條件： pH:9.0±0.2

流速：0.5±0.1m3/h

攪拌速度：40~60RPM

停留時(shí)間：一小時(shí)

反應(yīng)方程式： Cr2(SO4)3+6NaOH→2Cr(OH)3↓＋3Na2S04pH調(diào)槽最佳控制條件： pH:7.0~8.5

進(jìn)料流速：0.5~0.8m3/hr

攪拌速度：200RPM鉻系廢液處理系統(tǒng)(2/3)中和沈澱槽最佳控制條件：鉻系廢液處理系統(tǒng)(3/3)前述管末處理法是將高毒性六價(jià)鉻還原為低毒性三價(jià)鉻污泥，另一種回收再利用之做法為加鹼回收鉻酸鈉法。處理費(fèi)用省，且污泥量少，鉻酸鈉溶液可再利用於鉻黃原料，高毒性六價(jià)鉻回收率達(dá)89.8%，附於污泥的少量六價(jià)鉻，可用上述還原劑處理法再將其轉(zhuǎn)化為低毒性之三價(jià)鉻。鉻系廢液處理系統(tǒng)(3/3)前述管末處理法是將高毒性六價(jià)鉻還原毒性化學(xué)物質(zhì)危害評(píng)估與逸散減量管理第五章毒性化學(xué)物運(yùn)作廠(場(chǎng))風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估與風(fēng)險(xiǎn)管理

毒性化學(xué)物質(zhì)危害評(píng)估與逸散減量管理第五章毒性化學(xué)物運(yùn)作廠(場(chǎng))風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估與風(fēng)險(xiǎn)管理

毒化物之危害評(píng)估應(yīng)考慮以下兩個(gè)層次：毒性物質(zhì)之本質(zhì)危害（InherentHazard)

即依毒理學(xué)之基礎(chǔ)，查核毒性化學(xué)物質(zhì)之毒性濃度、劑量，建立危害指標(biāo)，並確認(rèn)對(duì)人員、環(huán)境及生物的危害效應(yīng)。毒性物質(zhì)之系統(tǒng)作用危害（InteractHazard)

則評(píng)估毒性化學(xué)物質(zhì)在製程或操作系統(tǒng)中之加成性，彼此間之相互化學(xué)作用以及製程或系統(tǒng)操作條件（如溫度、壓力）造成其狀態(tài)改變所產(chǎn)生的危害特性。129毒性化學(xué)物運(yùn)作廠(場(chǎng))風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估與風(fēng)險(xiǎn)管理毒化物之危害評(píng)估評(píng)估架構(gòu)與風(fēng)險(xiǎn)管理風(fēng)險(xiǎn)性評(píng)估之作業(yè)流程主要包含四個(gè)步驟(1)

危害性鑑定(HazardIdentification）

決定某一特定污染物是否與某種健康影響有因果相關(guān)(2)

劑量效應(yīng)評(píng)估(DoseResponseAssessment)

決定暴露程度高低與其產(chǎn)生反應(yīng)之機(jī)會(huì)及嚴(yán)重程度有無(wú)關(guān)聯(lián)(3)

暴露量評(píng)估（ExposureAssessment）決定民眾是否有暴露機(jī)會(huì)，經(jīng)由何種途徑進(jìn)入而被吸收(4)

風(fēng)險(xiǎn)度評(píng)估（RiskCharacteristic）綜合上述三步驟之綜合風(fēng)險(xiǎn)度評(píng)估，估計(jì)該污染物引起民眾健康影響之風(fēng)險(xiǎn)度多寡。130評(píng)估架構(gòu)與風(fēng)險(xiǎn)管理風(fēng)險(xiǎn)性評(píng)估之作業(yè)流程主要包含四個(gè)步驟130實(shí)驗(yàn)與實(shí)地觀察特定物質(zhì)之暴露者與健康因果關(guān)系實(shí)地測(cè)量推測(cè)暴露物質(zhì)與人口特性由高劑量外推到低劑量或由動(dòng)物實(shí)驗(yàn)資料外推到人體危害鑑定試劑是否引起負(fù)面效應(yīng)?

劑量效應(yīng)評(píng)估(人類(lèi)劑量與意外事件關(guān)系為何?)決定風(fēng)險(xiǎn)管理因子與行動(dòng)方案評(píng)估可能對(duì)大眾健康、經(jīng)劑、社會(huì)、政治影響及工程技術(shù)可行性研擬管制選擇項(xiàng)目風(fēng)險(xiǎn)度評(píng)估(可能對(duì)人體負(fù)面效應(yīng)事件?)暴露量評(píng)估(不同條件環(huán)境中，實(shí)際與預(yù)期暴露物質(zhì)為何?)研發(fā)風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估風(fēng)險(xiǎn)管理風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估與風(fēng)險(xiǎn)管理之相關(guān)性131實(shí)驗(yàn)與實(shí)地觀察特定物質(zhì)之暴露者與健康因果關(guān)系實(shí)地測(cè)量推測(cè)暴露1.本土化排放資料庫(kù)建立2.各種污染源排放量推估

3.推估模式之不確定性分析(1)模式選擇(2)參數(shù)設(shè)定(3)氣象資料選擇HAP名單篩選HAP列管優(yōu)先順序健康風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估危害性鑑定劑量效應(yīng)評(píng)估暴露量評(píng)估風(fēng)險(xiǎn)度評(píng)估風(fēng)險(xiǎn)管理篩選原則：1.參考國(guó)外已列管種類(lèi)2.國(guó)內(nèi)運(yùn)作量(製造、使用及輸出量)調(diào)查)列管優(yōu)先順序擬定原則：1.致癌性(IARC)2.致畸胎性3.國(guó)內(nèi)運(yùn)作量(製造、使用及輸出量)調(diào)查4.環(huán)境蓄積性參考國(guó)外相關(guān)資料參考國(guó)外相關(guān)資料大氣中HAP濃度分佈解析1.暴露族群分佈、大小及種類(lèi)2.暴露族群時(shí)間活動(dòng)模式3.各種暴露量推估參數(shù)設(shè)定4.各種暴露來(lái)源之相對(duì)貢獻(xiàn)量5.不確定性分析1.致癌性風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估2.非致癌風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估有害空氣污染物風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估運(yùn)作模式流程圖1321.本土化排放資料庫(kù)建立HAP健康風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估危害性鑑定劑量效應(yīng)危害性鑑定

危害性鑑定係一種定性之風(fēng)險(xiǎn)性評(píng)估。污染物質(zhì)之毒理資料可由四方面取得：(1)

流行病學(xué)研究資料：完整的流行病學(xué)研究結(jié)果可以在污

染物質(zhì)劑量與健康影響之關(guān)聯(lián)性中提供令人信服的證據(jù)。(2)

動(dòng)物實(shí)驗(yàn)資料：在危害性鑑定中最有效的資料通常來(lái)自動(dòng)物實(shí)驗(yàn)分析的資料。(3)

短期試驗(yàn)（Shorttermtest）資料：短期試驗(yàn)快速且試驗(yàn)費(fèi)用不高，用來(lái)篩選污染物質(zhì)是否具有潛在之致癌性。(4)

分子結(jié)構(gòu)的比較：從許多研究及實(shí)驗(yàn)資料顯示致癌力確實(shí)與化學(xué)物質(zhì)之結(jié)構(gòu)與種類(lèi)有關(guān)瞭解此污染物質(zhì)之潛在的影響。133危害性鑑定危害性鑑定係一種定性之風(fēng)險(xiǎn)性評(píng)估。污染物質(zhì)之毒理

第一階段篩選，環(huán)保署參考下列來(lái)源美國(guó)毒性物質(zhì)管理法(Toxic

Substances

Control

Act，TSCA)列管之化學(xué)物質(zhì)。

歐洲聯(lián)盟(European

Union)簡(jiǎn)稱(chēng)歐盟76／769／EEC已公告列管目的用途之化學(xué)物質(zhì)。

日本化學(xué)物質(zhì)審查及製造管理法（簡(jiǎn)稱(chēng)化審法）列管之化學(xué)物質(zhì)。

日本毒物及劇物取締法列管之毒物。我國(guó)毒性化學(xué)物質(zhì)公告列管之篩選作業(yè)(1/3)134第一階段篩選，環(huán)保署參考下列來(lái)源我國(guó)毒性化學(xué)物質(zhì)公告列管加拿大全國(guó)污染物釋放清冊(cè)

(National

Pollutant

Release

Inven

tory，NPRI)列管之化學(xué)物質(zhì)。美國(guó)空氣清淨(jìng)法(Clean

Air

Act，CAA)列管之有害空氣污染物。美國(guó)毒性物質(zhì)釋放清冊(cè)(Toxic

Substances

Release

Inventory，TRI)列管之化學(xué)物質(zhì)。我國(guó)毒性化學(xué)物質(zhì)公告列管之篩選作業(yè)(2/3)135加拿大全國(guó)污染物釋放清冊(cè)(National

Polluta我國(guó)毒性化學(xué)物質(zhì)公告列管之篩選作業(yè)(3/3)美國(guó)資源保育回收法

(Resource

Conservation

and

Recovery

Act，RCRA)建議應(yīng)優(yōu)先減廢之有毒物質(zhì)。其他工業(yè)先進(jìn)國(guó)家或國(guó)際公約(如斯德歌爾摩公Stockholm

Convention

on

Persistent

Organic

Pollutants）、奧斯陸-巴黎公約（Oslo

and

Paris（Convention）136我國(guó)毒性化學(xué)物質(zhì)公告列管之篩選作業(yè)(3/3)美國(guó)資源保育回收經(jīng)審查符合下列不易分解性或生物濃縮性特性標(biāo)準(zhǔn)一項(xiàng)以上，或具生物轉(zhuǎn)化性，致污染環(huán)境或危害人體健康者，得建議毒性分類(lèi)為第一類(lèi)：1.不易分解性：(1)空氣中之半生期≧5日。(2)地面水中之半生期≧180日。(3)土壤中之半生期≧180日。2.生物濃縮性：(1)生物濃縮因子（BCF）≧500。(2)辛醇-水分布係數(shù)之對(duì)數(shù)值（log

Kow）≧3。

第一階段篩選之審查及建議毒性分類(lèi)原則(1/5)137經(jīng)審查符合下列不易分解性或生物濃縮性特性第一階段篩經(jīng)審查符合下列慢毒性特性標(biāo)準(zhǔn)一項(xiàng)以上或具其他慢性疾病等作用者，得建議毒性分類(lèi)為第二類(lèi)：1.致癌性依國(guó)際癌癥研究中心（IARC）分類(lèi)為

1、2

Ａ或依歐盟分類(lèi)為

1

者。2.致突變性依歐盟分類(lèi)為1者。3.生殖毒性（包括致畸胎性及生殖能力受損）依歐盟分類(lèi)為

1、2

者第一階段篩選之審查及建議毒性分類(lèi)原則(2/5)138經(jīng)審查符合下列慢毒性特性標(biāo)準(zhǔn)一項(xiàng)以上或具其他慢性疾病等作用者經(jīng)審查符合下列急毒性特性標(biāo)準(zhǔn)一項(xiàng)以上者，得建議毒性分類(lèi)為第三類(lèi)：哺乳動(dòng)物急毒性：(1)食入之半數(shù)致死劑量（LD50）≦每公斤25毫克。(2)皮膚接觸之半數(shù)致死劑量（LD50）≦每公斤

50

毫克。(3)吸入之半數(shù)致死濃度（LC50）≦每立方公尺

250

毫克。第一階段篩選之審查及建議毒性分類(lèi)原則(3/5)139經(jīng)審查符合下列急毒性特性標(biāo)準(zhǔn)一項(xiàng)以上者，得建議毒性分類(lèi)為第三第一階段篩選之審查及建議毒性分類(lèi)原則(4/5)生態(tài)急毒性：(1)魚(yú)類(lèi)之半數(shù)致死濃度（LC50）≦每公升1毫克。(2)水蚤之半數(shù)致效應(yīng)濃度（EC50）≦每公升1毫克。140第一階段篩選之審查及建議毒性分類(lèi)原則(4/5)生態(tài)急毒性：1經(jīng)審查符合下列特性標(biāo)準(zhǔn)一項(xiàng)以上者，或有污染環(huán)境或危害人體健康之虞者，得建議毒性分類(lèi)為第四類(lèi)：致癌性依國(guó)際癌癥研究中心（IARC）分類(lèi)為2B者。致突變性依歐盟分類(lèi)為2者。致突變性依歐盟分類(lèi)為2者。於國(guó)內(nèi)運(yùn)作化學(xué)物質(zhì)尚無(wú)毒理資料可稽，而其化學(xué)結(jié)構(gòu)與已公告之毒性化學(xué)物質(zhì)相近或類(lèi)似者。第一階段篩選之審查及建議毒性分類(lèi)原則(5/5)141經(jīng)審查符合下列特性標(biāo)準(zhǔn)一項(xiàng)以上者，或有污染環(huán)境或危害人體健康第二階段篩選之審查及建議毒性分類(lèi)原則(4/4)列管名單及毒性分類(lèi)：國(guó)內(nèi)運(yùn)作狀況。國(guó)外管制現(xiàn)況。國(guó)內(nèi)相關(guān)管理現(xiàn)況。危害性概況。國(guó)內(nèi)環(huán)境流布情況。142第二階段篩選之審查及建議毒性分類(lèi)原則(4/4)列管名單及毒性劑量效應(yīng)評(píng)估(1/4)經(jīng)專(zhuān)家對(duì)化學(xué)物質(zhì)之危害性鑑定、評(píng)估後，應(yīng)選擇適於定量評(píng)估的資料來(lái)進(jìn)行劑量效應(yīng)評(píng)估。目前發(fā)展出許多數(shù)學(xué)模式以由高劑量數(shù)值，經(jīng)外插方式粗估到低劑量暴露之危險(xiǎn)性。不同的外插模式都可以合理地適用於實(shí)驗(yàn)上之高暴露劑量資料，但是由此外插延伸到相對(duì)於低劑量的危險(xiǎn)度評(píng)估確實(shí)可能產(chǎn)生極大之差異。143劑量效應(yīng)評(píng)估(1/4)經(jīng)專(zhuān)家對(duì)化學(xué)物質(zhì)之危害性鑑定、評(píng)估後劑量效應(yīng)評(píng)估(2/4)假使一種致癌物質(zhì)可藉著加速致癌過(guò)程來(lái)達(dá)到致癌作用，則在低劑量下所增加之致癌機(jī)會(huì)將可預(yù)期成以線性比例來(lái)推估。線性多階段模式（Linearizedmultistagemodel）廣泛被採(cǎi)用於各種外插法所得結(jié)果之推估。與線性多階段模式來(lái)比較，一旦關(guān)於腫瘤成因及發(fā)展的資料夠充分，則時(shí)間與腫瘤的關(guān)係模式（time-to-tumormodel）亦可成立。144劑量效應(yīng)評(píng)估(2/4)假使一種致癌物質(zhì)可藉著加速致癌過(guò)程來(lái)達(dá)劑量效應(yīng)評(píng)估(3/4)只要具備充分且有效之藥理機(jī)轉(zhuǎn)及新陳代謝資料，或?qū)χ掳C(jī)轉(zhuǎn)有實(shí)質(zhì)之瞭解時(shí)，則低劑量外插將更適用於劑量效應(yīng)評(píng)估。低劑量反應(yīng)仍存在許多不確定性，因此大多數(shù)案例在推估上限危險(xiǎn)度時(shí)，仍常使用線性多階段模式。145劑量效應(yīng)評(píng)估(3/4)只要具備充分且有效之藥理機(jī)轉(zhuǎn)及新陳代謝劑量效應(yīng)評(píng)估(4/4)不同動(dòng)物間對(duì)致癌物的反應(yīng)受許多因素之影響，故實(shí)驗(yàn)動(dòng)物高劑量暴露的資料經(jīng)外插推估到人類(lèi)在低劑量暴露之危險(xiǎn)度時(shí)相當(dāng)複雜。 常使用之標(biāo)準(zhǔn)化的劑量單位：mg/kg（體重）/dayppmmg/m3mg/m2（身體表面積）及mg/kg/Lifetime（生命期）146劑量效應(yīng)評(píng)估(4/4)不同動(dòng)物間對(duì)致癌物的反應(yīng)受許多因素之影暴露量評(píng)估暴露量評(píng)估：量測(cè)或估計(jì)人類(lèi)暴露在某一存在於環(huán)境中化學(xué)物質(zhì)之期間、頻率及強(qiáng)度之過(guò)程。完整之暴露量評(píng)估中應(yīng)描述暴露量之大小、期間、頻率及途徑，暴露人群之大小、特性、種類(lèi)，以及在量測(cè)或估計(jì)過(guò)程中所有的不確定性（Uncertainties）。147暴露量評(píng)估暴露量評(píng)估：量測(cè)或估計(jì)人類(lèi)暴露在某一存在於環(huán)境中化暴露量評(píng)估工作項(xiàng)目暴露量評(píng)估涵蓋之工作項(xiàng)目極多，首要工作為決定暴露族群所暴露化學(xué)物質(zhì)之濃度。所評(píng)估之化學(xué)物質(zhì)亦可能存在於食物、飲水或其他消費(fèi)性產(chǎn)品時(shí)，對(duì)此種化學(xué)物質(zhì)在環(huán)境中濃度之量測(cè)或估計(jì)即變得較為複雜。人體暴露量常因食物所含化學(xué)物質(zhì)濃度之變異性，食物保存、處理方法不同，及暴露人群之飲食、使用習(xí)慣不同而有極大之不同。148暴露量評(píng)估工作項(xiàng)目暴露量評(píng)估涵蓋之工作項(xiàng)目極多，首要工作為決代謝動(dòng)力學(xué)過(guò)程室內(nèi)或職業(yè)接觸環(huán)境流布轉(zhuǎn)化或毀滅過(guò)程生產(chǎn)、進(jìn)口、消耗和處置人類(lèi)接觸的介質(zhì)(空氣、水和食物)化學(xué)物之環(huán)境流布149代謝動(dòng)力學(xué)過(guò)程室內(nèi)或職業(yè)接觸環(huán)境流布轉(zhuǎn)化或毀滅過(guò)程生產(chǎn)、進(jìn)口化學(xué)物之環(huán)境流布的模擬模式(1/4)化學(xué)物之環(huán)境流布的模擬模式大體上可分為兩大類(lèi)第一類(lèi)：1.包括數(shù)學(xué)解析，數(shù)據(jù)分析，經(jīng)驗(yàn)公式及機(jī)率（stochastic)等模式。2.本類(lèi)模式依介質(zhì)又可分為單介質(zhì)和多介質(zhì)的環(huán)境流布模式。150化學(xué)物之環(huán)境流布的模擬模式(1/4)化學(xué)物之環(huán)境流布的模擬化學(xué)物之環(huán)境流布的模擬模式(2/4)環(huán)保