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光伏xBC電池行業(yè)市場(chǎng)分析1、光伏終端需求旺盛,多元化應(yīng)用場(chǎng)景催生BC路線新機(jī)遇1.1海內(nèi)外分布式裝機(jī)規(guī)模持續(xù)高增,差異化組件應(yīng)用場(chǎng)景順勢(shì)擴(kuò)張2023年,在組件價(jià)格持續(xù)走低,光伏發(fā)電經(jīng)濟(jì)性進(jìn)一步凸顯的背景下,國(guó)內(nèi)前期積壓的地面電站項(xiàng)目顯著放量,同時(shí)工商業(yè)及戶用分布式項(xiàng)目的投資回報(bào)率保持較優(yōu)水平,光伏終端需求旺盛。根據(jù)國(guó)家能源局統(tǒng)計(jì),2023年Q3國(guó)內(nèi)新增光伏裝機(jī)50.52GW,同增133%、環(huán)增13%。集中式裝機(jī)24.34GW,同增303%,占比48.2%;分布式裝機(jī)26.18GW,同增67%;工商業(yè)/戶用分布式14.73/11.46GW,占比29%/23%。前三季度集中式/工商業(yè)/戶用分布式裝機(jī)61.8/34.2/33GW,占比47.9%/26.5%/25.6%,裝機(jī)結(jié)構(gòu)中分布式占比連續(xù)三季度均超過(guò)50%。在當(dāng)前全球平均低至個(gè)位數(shù)的光伏發(fā)電滲透率背景下,由于區(qū)域分布的廣泛性和來(lái)源的多樣性,潛在分布式需求對(duì)價(jià)格的彈性釋放有很大概率會(huì)持續(xù)超預(yù)期。2023年美國(guó)光伏裝機(jī)結(jié)構(gòu)與國(guó)內(nèi)趨勢(shì)較為相似,雖然由于多重新因素導(dǎo)致地面電站項(xiàng)目放量,分布式裝機(jī)比重略有下滑,但在整體裝機(jī)需求高增的帶動(dòng)下,分布式項(xiàng)目絕對(duì)值顯著增加。2023上半年,美國(guó)新增光伏裝機(jī)11.6GW,其中新增分布式裝機(jī)4.5GW,住宅/社區(qū)/商用在分布式中的占比分別為74.2%/12.3%/13.6%。對(duì)于歐洲地區(qū)來(lái)說(shuō),俄烏沖突導(dǎo)致歐洲居民電價(jià)大幅上漲,刺激了以戶用為主的中小型光伏和儲(chǔ)能系統(tǒng)的安裝。即使經(jīng)歷了整整一年的高增長(zhǎng),光伏仍難以滿足歐洲因俄氣退出而導(dǎo)致的電力供應(yīng)缺口,有望推動(dòng)2023年及以后歐洲光伏需求繼續(xù)高速增長(zhǎng)。以英國(guó)為例,2023上半年,英國(guó)新增光伏裝機(jī)0.6GW,其中家庭光伏裝機(jī)0.4GW,占比64.2%,近2年來(lái)年英國(guó)家庭光伏裝機(jī)占比超50%。光伏裝機(jī)結(jié)構(gòu)持續(xù)變化疊加價(jià)格優(yōu)勢(shì),單面組件市場(chǎng)具有較大潛力。無(wú)論集中式或者分布式,性價(jià)比一直是終端選擇組件產(chǎn)品最為重要的因素。根據(jù)蓋錫咨詢統(tǒng)計(jì),現(xiàn)階段182版型雙面組件價(jià)格較單面仍有0.02元/W的溢價(jià),對(duì)于一些不追求雙面發(fā)電的差異化地面電站應(yīng)用場(chǎng)景和屋頂光伏而言,單面組件既滿足發(fā)電需求又具備經(jīng)濟(jì)性。隨著單面市場(chǎng)需求增長(zhǎng),近年來(lái)BC結(jié)構(gòu)組件作為一種可實(shí)現(xiàn)更高效率的單面電池技術(shù),被市場(chǎng)廣泛關(guān)注。打破固有印象,雙面率高在一定條件下并非對(duì)發(fā)電量有很大增益。根據(jù)光伏組件安裝的實(shí)際情況,組件正面太陽(yáng)光直接照射,背面接收經(jīng)地面反射后的太陽(yáng)光,太陽(yáng)光激發(fā)硅基體產(chǎn)生載流子,實(shí)現(xiàn)發(fā)電,因此發(fā)電量主要與四個(gè)參數(shù)相關(guān):正/背面光照獲取情況、正/背面電池效率。xBC結(jié)構(gòu)組件雖正面無(wú)遮擋,但電池電極均位于背面,且柵線較寬,行業(yè)普遍認(rèn)為xBC電池的高效率是犧牲雙面率獲得的(雙面率=背面效率/正面效率)。然而根據(jù)我們測(cè)算,在地面反射率越小的場(chǎng)景中,發(fā)電量水平對(duì)正面效率(也就是我們常常提到的轉(zhuǎn)化效率)的變化越敏感。在不考慮其他因素的情況下,根據(jù)公式:電池發(fā)電量=正面發(fā)電量+背面發(fā)電量=電池面積*標(biāo)準(zhǔn)光強(qiáng)*正面效率+電池面積*(標(biāo)準(zhǔn)光強(qiáng)*地面反射率)*(正面效率*雙面率),假設(shè)182mm*182mm尺寸的電池片正面轉(zhuǎn)換效率24.5%,標(biāo)準(zhǔn)光強(qiáng)為1000W/m2,在普通地面材料(混凝土)的反射下,以90%雙面率的電池發(fā)電量為基準(zhǔn),當(dāng)雙面率降至40%的時(shí)候,要想產(chǎn)生相同的電量,正面轉(zhuǎn)換效率需要提高1.84%。根據(jù)實(shí)際情況,光伏裝機(jī)常見(jiàn)的應(yīng)用場(chǎng)景中,反射率普遍在15%-30%之間,因此理論上來(lái)講雙面率的損失是可以通過(guò)高效率(正面效率)去彌補(bǔ)的。1.2xBC結(jié)構(gòu)研究歷史悠久,多種方案路線效率均處于行業(yè)領(lǐng)先事實(shí)上,背接觸結(jié)構(gòu)并非全新概念,反而相比TOPCon、HJT等N型技術(shù)具有更為悠久的歷史。傳統(tǒng)硅基太陽(yáng)能電池在設(shè)計(jì)過(guò)程中存在一些問(wèn)題,包括1)正面柵線使得光照利用率減?。?)電池前表面擴(kuò)散層導(dǎo)致串聯(lián)電阻較大;3)為了保證電池的使用壽命,基區(qū)摻雜濃度不能太大;4)電池需要合理的散熱結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。為了解決以上問(wèn)題,Schwartz和Lammert教授在1975年提出了背接觸(BackContact,BC)的概念,即發(fā)射極、背場(chǎng)、基區(qū)、發(fā)射極電極和背場(chǎng)電極均設(shè)計(jì)在電池背表面。最早關(guān)于BC電池的研究初衷是聚光場(chǎng)景的應(yīng)用,1984年,Swanson教授提出一種點(diǎn)接觸BC結(jié)構(gòu),可以在88倍聚光系統(tǒng)下實(shí)現(xiàn)19.7%的轉(zhuǎn)換效率。雖然對(duì)比IBC電池,該工藝過(guò)于復(fù)雜,不容易大規(guī)模生產(chǎn),但Swanson團(tuán)隊(duì)以此為基礎(chǔ),成立了著名的Sunpower公司,并在此后近30年時(shí)間里,成為全球BC技術(shù)和產(chǎn)業(yè)化的絕對(duì)領(lǐng)導(dǎo)者。21世紀(jì)開(kāi)始,基于對(duì)IBC電池的研究,學(xué)術(shù)界開(kāi)始嘗試將IBC電池與其他技術(shù)相結(jié)合,截至目前,根據(jù)鈍化方案的不同,衍生出HBC結(jié)構(gòu)和TBC結(jié)構(gòu)。早期日本對(duì)HJT電池的研究最為深入,因此2015年由日本Kaneka公司最先在152cm2的大尺寸N型單晶硅上得到轉(zhuǎn)換效率高達(dá)25.1%的HBC電池,成為當(dāng)時(shí)效率最高的BC結(jié)構(gòu)電池;此后Kaneka深耕微晶硅鈍化技術(shù)疊加背接觸結(jié)構(gòu),短短2年時(shí)間將效率提高至26.7%。雖然HBC的理論極限效率高達(dá)29.1%(《Characteristicsanddevelopmentofinterdigitalbackcontactsolarcells》),但HBC制作工序復(fù)雜、設(shè)備昂貴,極大地限制了大規(guī)模量產(chǎn)的實(shí)現(xiàn)。一些機(jī)構(gòu)開(kāi)始將研究方向轉(zhuǎn)向多晶硅鈍化技術(shù),最早在2016年由荷蘭的代爾夫特理工大學(xué)(TUDeflt)在9cm2的小面積上獲得了21.2%的轉(zhuǎn)換效率,隨后同年ISFH發(fā)表效率高達(dá)24.25%的polo-IBC電池,TBC路線效率獲得大幅提升。2018年ISFH在P型小面積(~4cm2)區(qū)熔法硅片上實(shí)現(xiàn)了26.1%的轉(zhuǎn)換效率,并根據(jù)模型計(jì)算,認(rèn)為有望通過(guò)完善多晶硅鈍化技術(shù)將電池轉(zhuǎn)換效率提升至29.1%。同樣使用多晶硅鈍化接觸的TOPCon電池在單面鈍化工藝下理論極限效率為27.1%、雙面鈍化工藝下理論極限效率28.7%(ISFH),考慮到單結(jié)半導(dǎo)體太陽(yáng)能電池轉(zhuǎn)換效率存在S-Q理論效率極限,其中晶硅單結(jié)太陽(yáng)能電池約為29.4%,背面電極結(jié)構(gòu)不僅助力多晶硅鈍化方案一舉將理論效率提高至29%以上,并且接近晶硅電池極限。xBC組件產(chǎn)品效率穩(wěn)居各技術(shù)路線首位。根據(jù)TaiyangNews統(tǒng)計(jì)的每月組件效率榜單,xBC組件產(chǎn)品在2023年1-10月均可以穩(wěn)居前兩名。從排名變化趨勢(shì)看,2023年1月份組件效率前五名中xBC結(jié)構(gòu)組件占據(jù)2個(gè)席位,到2023年10月,BC結(jié)構(gòu)組件產(chǎn)品基本包攬前五名,效率優(yōu)勢(shì)極其明顯。2、復(fù)盤(pán)Maxeon——全球第一個(gè)實(shí)現(xiàn)IBC技術(shù)商業(yè)化的企業(yè)即使BC技術(shù)具有較高效率,但它之前所面臨的1)對(duì)硅基襯底的質(zhì)量要求高;2)對(duì)前表面的鈍化要求高;3)工藝復(fù)雜;4)制造成本高等挑戰(zhàn),使其始終沒(méi)能成為主流路線。Maxeon是全球第一家規(guī)模化量產(chǎn)IBC電池&組件并實(shí)現(xiàn)出貨的企業(yè)。Maxeon的BC技術(shù)源于Sunpower,截至2023年,公司發(fā)展歷史近40年。1985年,Swanson教授創(chuàng)立Sunpower;2005年首次IPO;2016年與天津中環(huán)半導(dǎo)體合資成立環(huán)晟光伏(江蘇)有限公司,在中國(guó)生產(chǎn)p系列組件;2019年11月Sunpower宣布將Maxeon和Sunpower拆分為兩個(gè)獨(dú)立的上市公司;2020年8月,Maxeon剝離完成,同年12月Maxeon推出6英寸(152.4um)IBC技術(shù)平臺(tái);2021年啟動(dòng)Maxeon7產(chǎn)線研發(fā);公司利用在分布式業(yè)務(wù)中建立的強(qiáng)大的市場(chǎng)渠道,將先進(jìn)的微型逆變器與組件集成,在2022年推出SunpowerONE家庭能源集成系統(tǒng),大獲成功,并隨之進(jìn)入電池存儲(chǔ)、電動(dòng)汽車(chē)充電和消費(fèi)者體驗(yàn)產(chǎn)品領(lǐng)域;2023年Maxeon延長(zhǎng)與Sunpower的供貨合同至2025年。差異化技術(shù)路線是Maxeon成為全球分布式市場(chǎng)知名供應(yīng)商的核心優(yōu)勢(shì)。IBC結(jié)構(gòu)專(zhuān)利、獨(dú)特的材料體系、特有工藝、優(yōu)異的組件可靠性、定制化設(shè)備、全球供應(yīng)商布局等壁壘使公司IBC平臺(tái)形成技術(shù)迭代閉環(huán),至今推出6代Maxeon電池&組件技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)BC路線發(fā)展超30年。2004年公司推出第一代IBC太陽(yáng)能電池產(chǎn)品A-300系列,采用點(diǎn)接觸和絲網(wǎng)印刷技術(shù)獲得21.5%電池轉(zhuǎn)換效率;2015年推出第三代IBC電池,也是第一個(gè)隧道結(jié)背接觸太陽(yáng)能電池;2019年Maxeon基于大尺寸N型直拉硅片,推出第五代IBC電池和第六代IBC組件,通過(guò)邊緣損耗、串聯(lián)電阻等方面的關(guān)鍵改進(jìn),實(shí)現(xiàn)電池轉(zhuǎn)換效率25.2%,組件轉(zhuǎn)換效率22.3%,組件功率450-475W。2021年,公司啟動(dòng)對(duì)第七代IBC電池的量產(chǎn)研發(fā),目前已實(shí)現(xiàn)24.0%的組件轉(zhuǎn)換效率,質(zhì)量保障長(zhǎng)達(dá)40年。2022年公司IBC組件出貨998MW,同比增長(zhǎng)7.2%;2023前三季度公司IBC組件出貨498MW。公司現(xiàn)有IBC產(chǎn)能1GW,2023年5月,公司發(fā)布公告,計(jì)劃增發(fā)749萬(wàn)股,募集資金2.1億美元,在美國(guó)新增500MWMaxeon7產(chǎn)能,預(yù)計(jì)2024下半年建成投產(chǎn);2023年三季報(bào)宣布將對(duì)菲律賓的Maxeon3產(chǎn)能改造為約600MW的Maxeon7產(chǎn)能,并將投產(chǎn)時(shí)間提前3個(gè)月。隨著集中式需求快速擴(kuò)大,差異化分布式產(chǎn)品溢價(jià)能力強(qiáng)勁。2023年前三季度,公司IBC組件出貨498MW,實(shí)現(xiàn)收入3.5億美元;其中三季度IBC組件出貨89MW,實(shí)現(xiàn)收入0.61億美元。對(duì)比公司廣泛應(yīng)用于集中式電站的P系列組件(根據(jù)二季報(bào)公告及交流,P系列為疊瓦組件+PERC技術(shù),計(jì)劃迭代為T(mén)OPCon技術(shù)),IBC組件Q3平均單位售價(jià)0.69美元/W,今年以來(lái)的溢價(jià)維持在0.3美元/W以上水平,回顧至2020年,該溢價(jià)在0.2美元/W左右上下波動(dòng)。對(duì)比PVInfolink的美國(guó)區(qū)域組件均價(jià),MaxeonIBC組件同樣具有明顯且持續(xù)的溢價(jià)優(yōu)勢(shì)。根據(jù)Maxeon2023年1月在GreentechRenewables產(chǎn)品推介會(huì)上的報(bào)告,在光伏系統(tǒng)成本(除組件外)2.75美元/W的基礎(chǔ)上,IBC系統(tǒng)售價(jià)3.90美元/W,對(duì)應(yīng)組件價(jià)格1.15美元/W,較美國(guó)市場(chǎng)HJT組件平均價(jià)格溢價(jià)0.20美元/W、PERC組件平均價(jià)格溢價(jià)0.40美元/W。高昂的溢價(jià)背后是顯著的發(fā)電量增益,IBC系統(tǒng)25年總發(fā)電量比HJT高7.52%、比PERC高14.95%,根據(jù)1月份美國(guó)電價(jià)0.15美元/kWh計(jì)算,IBC系統(tǒng)收益比HJT高6000美元以上。3、xBC結(jié)構(gòu)技術(shù)上可兼收并蓄,效率提升空間大IBC(Interdigitatedbackcontact)是BC體系中最基礎(chǔ)的結(jié)構(gòu),該設(shè)計(jì)的靈魂主要體現(xiàn)在載流子輸運(yùn)功能區(qū)(包括發(fā)射極、背場(chǎng)、對(duì)應(yīng)電極):1)均位于電池背面。這意味著光生電子和空穴要穿過(guò)整個(gè)基區(qū)才能達(dá)到背面電極,若晶硅襯底質(zhì)量不足,復(fù)合中心太多,則會(huì)導(dǎo)致光生載流子在到達(dá)電極之前發(fā)生復(fù)合,因此單晶硅是最常見(jiàn)的選擇。2)呈叉指狀排列。p+和n++區(qū)以交叉形式排列在電池背面,與之接觸的金屬電極也相應(yīng)交叉排列,叉指對(duì)工藝提出了更高的要求,若p+和n++區(qū)重疊,則會(huì)發(fā)生復(fù)合和短路現(xiàn)象;若金屬電極的位置未對(duì)準(zhǔn)擴(kuò)散去,則會(huì)發(fā)生漏電現(xiàn)象。以N型晶硅襯底為例,電池結(jié)構(gòu)從上到下排列為“SiNx/SiO2-n+Si(FSF)–N型Si-p+/n++Si(發(fā)射極/背場(chǎng))-SiO2/SiNx-金屬電極”。每部分的作用分別如下:1)SiNx/SiO2:位于電池結(jié)構(gòu)的頂部和底部,主要起減少少數(shù)載流子復(fù)合的作用(也稱(chēng)為“鈍化”),降低受光面光學(xué)反射損失。2)n+FSF(前表面場(chǎng)):采用磷擴(kuò)散形成低濃度摻雜的n+-Si,利用場(chǎng)鈍化效應(yīng)降低少數(shù)載流子在表面復(fù)合的幾率,同時(shí)還可以降低多數(shù)載流子橫向輸運(yùn)電阻,提升電子傳輸能力。3)p+發(fā)射極/n++BSF(背場(chǎng)):采用硼擴(kuò)散和磷擴(kuò)散形成高濃度摻雜區(qū),兩區(qū)之間由未進(jìn)行重?fù)诫s的基區(qū)分隔開(kāi)。p+與N型硅基底形成p-n結(jié),n++與N型硅基底形成高低結(jié),增強(qiáng)載流子的分離能力。4)金屬電極:為降低串聯(lián)電阻、提高填充因子,進(jìn)而提升電池效率,電極通常采用物理蒸鍍鋁(Al)或者電鍍多層金屬的方式,以確保電極與p+和n++區(qū)的良好接觸,并配合光刻或刻蝕工藝,使金屬電極呈叉指狀排列。xBC電池結(jié)構(gòu)所帶來(lái)的最顯著的優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在轉(zhuǎn)換效率的提高。正面無(wú)柵線結(jié)構(gòu),一方面增大受光面積,提高入射光利用率,提升電池短路電流密度;另一方面回避了受光面接觸電阻與摻雜濃度間的權(quán)衡問(wèn)題,可以一定程度地降低摻雜濃度以減小復(fù)合、提升鈍化能力,削弱摻雜區(qū)對(duì)入射光的寄生吸收,增大電池開(kāi)路電壓和短路電流。同時(shí)背面電極可以適當(dāng)增粗,以減小串聯(lián)電阻損失,提高電池的填充因子。BC同時(shí)又是一種高包容性的平臺(tái)型技術(shù),可兼容TOPCon、HJT等N型主流電池技術(shù),也可以兼容N、P型硅襯底。IBC中背面叉指式的電極結(jié)構(gòu)和HJT中非晶硅的鈍化結(jié)構(gòu)相結(jié)合,可構(gòu)成HBC(HeterojunctionBackContact)電池。電池正面維持HJT結(jié)構(gòu),硅基底為N型,背面P區(qū)和N區(qū)均采用HJT非/微晶硅鈍化技術(shù),P/N區(qū)金屬化工藝沿用HJT技術(shù)要求。HJT技術(shù)與BC結(jié)構(gòu)的兼容性目前是被普遍認(rèn)可的:1)BC結(jié)構(gòu)中載流子的輸運(yùn)路徑接近三維形態(tài)(TOPCon、HJT為準(zhǔn)一維輸運(yùn)),使得其天然無(wú)法實(shí)現(xiàn)較高的填充因子。減薄硅襯底可以盡可能增大填充因子,提高開(kāi)路電壓,獲得相對(duì)更高的效率,與HJT為降本去減小硅片厚度的工藝匹配,深化了減薄硅片在HJT技術(shù)路線上的意義。2)優(yōu)化金屬化技術(shù)、薄膜沉積工藝等,是當(dāng)前HJT路線降低制造成本的重要手段。銅電鍍作為有望助力HJT電池單瓦成本打平TOPCon的光伏行業(yè)全新金屬化方案,在圖形化環(huán)節(jié)對(duì)柵線線寬、高寬比等參數(shù)有較高要求,BC結(jié)構(gòu)背面P/N區(qū)制作同屬圖形化環(huán)節(jié),可在制造過(guò)程中較好地與銅電鍍結(jié)合。3)在BC激光技術(shù)的優(yōu)化路徑上,激光產(chǎn)生的熱影響區(qū)對(duì)于需要低溫制程的氫化非晶硅而言,有望發(fā)展間接減材法,通過(guò)激光對(duì)材料的改性,實(shí)現(xiàn)更高效的激光輔助化學(xué)腐蝕方案,非晶/微晶轉(zhuǎn)變也有望通過(guò)激光誘導(dǎo)相變實(shí)現(xiàn)。IBC中背面叉指式的電極結(jié)構(gòu)和TOPCon中隧穿氧化硅/摻雜多晶硅的鈍化結(jié)構(gòu)相結(jié)合,可構(gòu)成TBC(TunnelBackContact)電池。依托PERC和TOPCon的核心鈍化技術(shù),四種TBC結(jié)構(gòu)有望實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化:1)基于P型硅基的混合鈍化;2)基于P型硅基的全隧穿鈍化;3)基于N型硅基的混合鈍化;4)基于N型硅基的全隧穿鈍化。針對(duì)比較特殊的TBC結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō),“基于P型硅基的混合鈍化(Al-p-TBC)”結(jié)構(gòu)要求背面P/N區(qū)位置、對(duì)應(yīng)電極位置都要極度精確和優(yōu)化。正面p+發(fā)射極、減反層,背面P區(qū)為局部發(fā)射極鈍化,背面N區(qū)為隧穿氧化硅/摻硼多晶硅鈍化,P區(qū)印刷鋁漿,N區(qū)燒結(jié)銀漿。PN結(jié)位于硅基底和SiO2/n-poly層之間,然而根據(jù)中科院微電子所的公開(kāi)報(bào)告內(nèi)容,除結(jié)區(qū)垂直方向上具有電場(chǎng)外,背面P區(qū)與N區(qū)之間的水平方向上也分布了較大的電場(chǎng)強(qiáng)度,這使得在兩個(gè)摻雜區(qū)域距離較近的情況下,電池內(nèi)部極易發(fā)生漏電,大大損失電極接收載流子的數(shù)量。在背面P區(qū)局部鋁背場(chǎng)接觸中,Al漿燒結(jié)后從電池內(nèi)部到外部形成“背場(chǎng)(Al-p+)-Al-Si共晶層–鋁電極”的多層結(jié)構(gòu)。背場(chǎng)與Al-Si共晶層的接觸區(qū)域?yàn)楦邚?fù)合發(fā)生區(qū),界面復(fù)合速率高達(dá)105-107cm/s(中科院微電子所),理論模型下電池極限效率為26.9-27.1%,低于TOPCon(28.7%,雙面poly,ISFH)和HJT(29.2%,選區(qū)接觸,隆基)?!盎贜型硅基的全隧穿鈍化”技術(shù)被認(rèn)為是TBC路線的終極結(jié)構(gòu)形態(tài)。電池正面與Al-p-TBC結(jié)構(gòu)相同,采用N型硅基底,背面P區(qū)和N區(qū)均沿用TOPCon隧穿氧化硅/摻雜多晶硅鈍化方式,P區(qū)燒結(jié)銀鋁漿,N區(qū)使用純銀漿接觸。超薄二氧化硅層起到阻擋硼、磷等摻雜元素向襯底滲透的作用,從而緩解Al-p-TBC中的高復(fù)合問(wèn)題。這里我們使用“緩解”的用詞,因?yàn)殡m然SiO2層對(duì)磷、硼原子有一定的阻擋作用,但考慮到要發(fā)揮隧穿功能,厚度一般為1.2-2nm。該厚度下并不能完全避免滲透行為,一般滲透厚度在10-50nm,滲透越深,效率損失越大,因此即使是全poly的N型硅基TBC結(jié)構(gòu)也對(duì)摻雜濃度的大小和滲透深度的控制提出了較高的工藝要求,需要匹配優(yōu)異的激光工藝完成。4、xBC工藝流程較長(zhǎng),產(chǎn)業(yè)化壁壘高4.1工藝流程環(huán)節(jié)增多,制程精度要求提高根據(jù)電池結(jié)構(gòu),相同鈍化技術(shù)下的背接觸電池與常規(guī)電池工藝的主要區(qū)別有兩點(diǎn):1)正面擴(kuò)散層材料選擇不同。常規(guī)電池中,正面擴(kuò)散層起發(fā)射極作用,與晶硅襯底載流子類(lèi)型相反,例如TOPCon電池采用N型襯底,則正面擴(kuò)散層摻硼獲得p+-Si;背接觸電池中,正面擴(kuò)散層起前場(chǎng)作用,與晶硅襯底載流子類(lèi)型相同,例如TBC電池采用N型襯底,則正面擴(kuò)散層摻磷獲得n+-Si。2)背面工序不同。背接觸電池的結(jié)構(gòu)導(dǎo)致了背面制作工藝較為復(fù)雜。一方面,背面存在兩種類(lèi)型的擴(kuò)散層,需要增加一道擴(kuò)散環(huán)節(jié);其次,為了分離兩種類(lèi)型的擴(kuò)散層,需要增加兩道激光工序做好背面分區(qū)。4.2電池端增加多道激光工序,激光設(shè)備重要性顯著提升以TBC路線為例,常規(guī)TBC工藝流程包含三道激光環(huán)節(jié),第一道實(shí)現(xiàn)圖形化,第二道隔離N/P區(qū),第三道銜接金屬化。光伏電池中少數(shù)載流子運(yùn)動(dòng)的根本動(dòng)力是PN結(jié)內(nèi)建電場(chǎng),為了讓電極接收到載流子,結(jié)構(gòu)中的PN接觸只能由襯底/異型擴(kuò)散層組成,例如TBC中有且只能由N型襯底/p-poly-Si成為PN結(jié),杜絕n-poly與p-poly接觸導(dǎo)致短路的行為是非常關(guān)鍵的,也是xBC電池被認(rèn)為工藝難度大的主要原因。常規(guī)鍍膜、擴(kuò)散工藝的對(duì)象是整面材料,第一道激光的目的是去除部分一次摻雜后的膜層,劃分N/P區(qū)域;第二道激光在制作另一摻雜類(lèi)型膜層以后,去除N型摻雜與P型摻雜區(qū)的接觸部分,實(shí)現(xiàn)P/N隔離,在電池背面建立獨(dú)立的電子/空穴傳輸通道;第三次激光去除部分SiNx,以保證金屬漿料與硅形成直接接觸,順利導(dǎo)出載流子。在有限的硅片面積里,精準(zhǔn)控制P/N區(qū)的位置、間距涉及到激光與材料的相互作用。激光依靠材料內(nèi)部粒子間的熱傳遞破壞工作區(qū),使其能被輕易去除。連續(xù)激光會(huì)在材料表面產(chǎn)生較大面積和深度的熱影響區(qū),易對(duì)工作區(qū)周?chē)牟牧显斐善茐?。脈沖激光是一種冷加工方式,激光脈沖時(shí)間越短,熱影響區(qū)越小,工作區(qū)定位越精確,對(duì)其他區(qū)域的破壞程度越輕??紤]到微觀粒子的熱傳導(dǎo)時(shí)間在10-9s-10-12s量級(jí),在熱被傳遞到下一個(gè)粒子之前完成熔解,可以有效減輕熱影響。脈沖是指激光不連續(xù)發(fā)生并作用在材料表面,激光發(fā)生的持續(xù)時(shí)間不同,對(duì)材料的影響不同。當(dāng)脈沖寬度壓縮到納秒(ns,10-9)量級(jí),材料表面瞬間氣化,同時(shí)產(chǎn)生沖擊波;當(dāng)脈沖寬度壓縮到皮秒(ps,10-12)量級(jí)及以下,材料在晶格震動(dòng)前就被氣化,僅有較小的沖擊波。當(dāng)前xBC工藝中運(yùn)用的激光技術(shù)都屬于減材法,無(wú)論是開(kāi)槽,或者曝光,都是以去除材料為目的。減材法又分為直接減材法、間接減材法。激光刻蝕就是一種直接減材法,利用超短脈沖打掉表面材料,可作用在任意區(qū)域,對(duì)材料的包容度也較大;間接減材法包括激光成像曝光(LDI)、激光輔助化學(xué)腐蝕等,通過(guò)激光改變材料在化學(xué)試劑中的腐蝕速度,再根據(jù)腐蝕時(shí)間控制腐蝕厚度,效率更高、反應(yīng)更可控。常規(guī)工藝路線外,激光增材法在摻雜環(huán)節(jié)也表現(xiàn)出良好的應(yīng)用前景。激光脈沖沉積、激光誘導(dǎo)熱氧化、激光誘導(dǎo)相變是三種被認(rèn)為有望應(yīng)用于光伏的激光技術(shù)。增材法契合選區(qū)工藝的需求,直接對(duì)目標(biāo)區(qū)域改性,例如激光誘導(dǎo)下,單晶硅相變?yōu)槎嗑Ч瑁╬oly)。且根據(jù)脈沖寬度的不同,工藝區(qū)可以控制在納米-微米尺度。在背接觸結(jié)構(gòu)中,最后一道激光開(kāi)槽和金屬化密切相關(guān)。減反層開(kāi)孔面積決定金屬柵線線寬、高寬比等參數(shù),高寬比越小,復(fù)合電流越小,開(kāi)路電壓提高。并且,N/P區(qū)開(kāi)口需要對(duì)準(zhǔn)相應(yīng)的擴(kuò)散區(qū),且BC電池鈍化層相對(duì)較厚,優(yōu)質(zhì)的開(kāi)口深度和位置才能保證金屬漿料的有效接觸。金屬漿料,無(wú)論是純銀漿還是銀鋁漿,在BC電池中的應(yīng)用都是相對(duì)局限的。從工藝角度看,BC電池背面N/P區(qū)面積、形狀都不同,且間隔排列,絲網(wǎng)印刷網(wǎng)版方案需要重大調(diào)整。N/P區(qū)金屬化導(dǎo)電機(jī)制不同,對(duì)漿料的需求就不同;漿料體系不同,燒結(jié)固化的溫度隨之變化。N/P區(qū)協(xié)同共燒需要制作燒結(jié)窗口相互匹配的漿料,難度提高;從性能角度看,硅基襯底產(chǎn)生的光生載流子,無(wú)論是電子,還是空穴,都向底部電極運(yùn)動(dòng),對(duì)漿料的接觸、復(fù)合提出更高要求。背面堿拋使得絨面平坦化,接觸電阻增大,對(duì)漿料導(dǎo)電性提出要求;從成本角度看,背面柵線對(duì)光照遮擋的要求較低,考慮到電極面積越大越利于電流輸出,這種情況下銀漿耗量大、成本高。銅電鍍從工藝、性能、成本三方面更適配xBC工藝路線升級(jí)。從工藝角度看,銅電鍍圖形化或采用直寫(xiě)/掩膜光刻技術(shù),對(duì)比背面N/P分區(qū)的工藝要求,難度相對(duì)降低,可簡(jiǎn)化流程;從性能角度看,光刻工藝下,銅柵線線寬靈活可調(diào)且更加精細(xì),易找到電流輸出與接觸面積的最佳平衡點(diǎn),且純銅柵線相比銀漿導(dǎo)電性更好;從成本角度看,銅的材料成本低,能在一定程度上降低之前行業(yè)所詬病的xBC電池生產(chǎn)成本。4.3組件端:全新的互聯(lián)方式,串焊環(huán)節(jié)變化較大BC電池背面電極排布特殊,對(duì)有效光照面積沒(méi)有極致利用的需求,對(duì)焊帶形狀的包容性相對(duì)較高。組件互聯(lián)工藝延續(xù)電池端對(duì)N/P區(qū)精細(xì)隔離的高要求,尤為重視局部絕緣化處理,當(dāng)前市場(chǎng)給出的xBC組件方案可以分為柔性互聯(lián)和剛性互聯(lián)。柔性互聯(lián)方案使用焊帶直接串接多片電池片,對(duì)絕緣化處理有兩種思路:1)使用絕緣膠,隔離焊帶和周?chē)?xì)柵。2)制作導(dǎo)電段與絕緣段交替分布的特殊焊帶。以隆基方案為例,同一條焊帶的導(dǎo)電段同時(shí)焊接相鄰兩個(gè)電池片的正極區(qū)域和負(fù)極區(qū)域。剛性互聯(lián)方案使用金屬件連接相鄰電池片,相同極性的busbar終止于在電池片某一側(cè)的焊盤(pán)區(qū)域,金屬件連通相鄰電池片的不同極性輸出端。連接件由導(dǎo)電材料組成,可以是金屬、合金或者含金屬元素的化合物。金屬件中間多處開(kāi)孔為應(yīng)力緩解區(qū),提高組件連接可靠性。該方案中,busbar與不同極性連接件、不同極性busbar匯聚區(qū)域之間要保證良好的絕緣,防止短路。無(wú)論是何種互聯(lián)方案,考慮到xBC電池為單面焊接,硅片易受熱彎曲,增加工藝難度,當(dāng)前市場(chǎng)主流串焊設(shè)備難以滿足需求,需要搭配BC電池專(zhuān)用串焊機(jī)。5、重點(diǎn)公司分析5.1奧特維:光伏設(shè)備平臺(tái)化龍頭企業(yè),充分受益于電池、組件技術(shù)迭代奧特維是光伏、鋰電、半導(dǎo)體領(lǐng)域知名的智能裝備制造商,集團(tuán)旗下?lián)碛袏W特維智能、松瓷機(jī)電、奧特維旭睿、奧特維科芯、立朵科技等子公司,光伏相關(guān)產(chǎn)品覆蓋產(chǎn)業(yè)鏈的拉棒、硅片、電池、組件四大環(huán)節(jié),核心產(chǎn)品光伏串焊機(jī)擁有強(qiáng)勁的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力,獲得行業(yè)龍頭企業(yè)客戶的高度認(rèn)可,市場(chǎng)占有率位居行業(yè)第一。2023年前三季度,公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入42.39億元,同比+76.74%;實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)8.51億元,同比+79.52%;Q3單季度實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入17.2億元,同比+94.38%,環(huán)比+16.51%;實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)3.29億元,同比+87.64%,環(huán)比+9.30%。截至2023Q3,公司在手訂單114.83億元,同比增長(zhǎng)75.93%;新簽訂單89.92億元,同比增長(zhǎng)75.93%,其中Q3新簽訂單32.12億元,絕對(duì)額繼續(xù)創(chuàng)歷史新高。根據(jù)公司與2023年9月6日回復(fù)上證e互動(dòng)的內(nèi)容,公司最早于2014年已經(jīng)和客戶共同研發(fā)推出IBC串焊機(jī)。儲(chǔ)備了豐富的BC串焊機(jī)技術(shù)。目前公司在解決BC電池翹曲問(wèn)題方面取得較大進(jìn)展,已在多個(gè)頭部客戶端驗(yàn)證。由于BC電池工藝較此前PERC、TOPCon、HJT等電池工藝變化較大,因此對(duì)于串焊機(jī)提出了新的要求。由于適用于BC工藝的串焊機(jī)技術(shù)難度較高,因此串焊機(jī)產(chǎn)品價(jià)值量及盈利能力及有望進(jìn)一步提升。5.2帝爾激光:激光方案覆蓋光伏多條技術(shù)路線,與龍頭企業(yè)保持緊密合作帝爾激光是業(yè)內(nèi)少數(shù)能夠提供全方位高效太陽(yáng)能電池激光加工綜合解決方案的企業(yè)。TOPCon路線上,激光SE設(shè)備、激光誘導(dǎo)燒結(jié)LIF設(shè)備均取得大量量產(chǎn)訂單,2023年2月,公司官微宣布,TOPConSE一次激光摻雜設(shè)備訂單累計(jì)產(chǎn)能突破100GW;2023年8月,公司官微宣布,激光誘導(dǎo)燒結(jié)LIF設(shè)備助力TOPCon實(shí)現(xiàn)效率增益0.2%以上,截至今年9月累計(jì)產(chǎn)能突破100GW。HJT路線上,激光修復(fù)LIA設(shè)備今年獲得國(guó)外客戶量產(chǎn)訂單。xBC路線上,全新激光組件設(shè)備可以優(yōu)化工序、減少電池片損傷、提高焊接效率;激光微蝕刻設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)隧穿鈍化層上的大面積高精細(xì)化蝕刻,已取得客戶量產(chǎn)訂單。5.3英諾激光:深耕激光核心技術(shù),有望擴(kuò)大在光伏領(lǐng)域的應(yīng)用英諾激光是A股唯一從事固體激光器及應(yīng)用解決方案的上市公司,是全球少數(shù)同時(shí)具有納秒、亞納秒、皮秒、飛秒級(jí)微加工激光器核心技術(shù)的供應(yīng)商。公司自主研發(fā)的的QuaPulse激光時(shí)空調(diào)控技術(shù),通過(guò)多維度精準(zhǔn)調(diào)制手段,可實(shí)現(xiàn)更加復(fù)雜的摻雜調(diào)控。根據(jù)公司官微報(bào)道,滿足量產(chǎn)需求的TOPCon電池激光SE設(shè)備、激光沖擊強(qiáng)化LSP設(shè)備,BC電池激光開(kāi)膜設(shè)備等已成功研發(fā)并推向市場(chǎng)。2023年8月,公司官微宣布,TOPCon電池激光SE直摻設(shè)備助力普樂(lè)科技電池量產(chǎn)效率達(dá)25.66%,提效0.25%以上。公司運(yùn)用自主研發(fā)的QuaPulseTM激光時(shí)空調(diào)制技術(shù),結(jié)合穩(wěn)定先進(jìn)的自動(dòng)化裝備和對(duì)激光與材料相互作用的深刻認(rèn)識(shí),解決了激光一次硼擴(kuò)的難題,碎片率、Uptime等關(guān)鍵指標(biāo)均已經(jīng)達(dá)到行業(yè)領(lǐng)先水平,提效水平相比平均水平高0.03%-0.05%,截至8月累計(jì)訂單近20GW。2023年10月,公司官微宣布,激光沖擊強(qiáng)化LSP設(shè)備助力TOPCon電池轉(zhuǎn)換效率突破26.2%,效率增益0.3%以上,開(kāi)壓高達(dá)732mV,已獲得批量訂單。LSP技術(shù)的量產(chǎn)導(dǎo)入可以快速實(shí)現(xiàn)TOPCon電池的降本增效,提高電池片檔位和組件功率,為高效晶硅電池的發(fā)展注入強(qiáng)勁動(dòng)力。在xBC電池路線上,公司官微報(bào)道,532nm綠光皮秒激光器單脈沖能量330uJ以上,優(yōu)越的光束質(zhì)量(M2<1.1)和完美的光斑圓度(>95%)及脈沖穩(wěn)定性,可以滿足大光斑整形的需求及xBC電池開(kāi)膜的能量需求。5.4隆基綠能:一體化組件龍頭,xBC產(chǎn)能規(guī)劃行業(yè)領(lǐng)先隆基綠能為光伏行業(yè)一體化龍頭公司,也是行業(yè)內(nèi)最早確定以xBC為后續(xù)主要電池技術(shù)路線的一體化龍頭廠商。根據(jù)隆基公開(kāi)交流口徑,隆基后續(xù)的電池技術(shù)路
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