京運通TRDL-800維護(hù)手冊

TRDL-800型軟軸單晶爐維護(hù)手冊TRDL-800型軟軸單晶爐維護(hù)手冊文件編號：受控狀態(tài)：發(fā)放編號：編制：劉磊龐志剛徐濤審核：楊樂批準(zhǔn)：閻偉日一、概述TRDL-800型單晶爐，是軟軸提拉型單晶爐。在以惰性氣體為基礎(chǔ)的環(huán)境中，以石墨電阻加熱器，將硅材料熔化用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備。它可生產(chǎn)大規(guī)模集成電路所需的高質(zhì)量單晶。并采用18”熱系統(tǒng)，以投料為60KG為標(biāo)準(zhǔn)的基礎(chǔ)下拉制6-8寸的單晶。其爐體構(gòu)架包括：提拉系統(tǒng)，液壓系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，加熱系統(tǒng)，旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)及水系統(tǒng)。在機(jī)械結(jié)構(gòu)方面采用了先進(jìn)的磁流體密封技術(shù)、新型翻板閥結(jié)構(gòu)、拱形封頭式爐蓋結(jié)構(gòu)及合理的主、副室提升機(jī)構(gòu)。副室及爐蓋都是應(yīng)用浮動式提升機(jī)構(gòu)，避免了因熱變形及抽真空變形引起的卡死現(xiàn)象。單晶的提升采用的是承受170Kg的不銹鋼絲編織的軟軸。爐室結(jié)構(gòu)為頂開式，主爐室和副爐室開啟時由液壓傳動裝置實現(xiàn)上移，上升到位后對稱旋出，保證主機(jī)穩(wěn)定可靠，并便于機(jī)動取出晶體，拆裝熱場系統(tǒng)和清理爐內(nèi)各部。主爐室和副爐室之間，設(shè)有浮動式翻板閥，可在熱場維持工藝溫度的情況下取出晶體，更換籽晶，連續(xù)拉晶。電控制系統(tǒng)采用微機(jī)控制，功能全、精度高、穩(wěn)定性好。堝升、堝轉(zhuǎn)、晶升、晶轉(zhuǎn)均采用性能穩(wěn)定可靠的進(jìn)口電機(jī)系統(tǒng)。并采用了多楔帶傳動，這樣既可傳大扭矩，又運動平穩(wěn)無震動。其設(shè)備主要組成部分和參數(shù)如下序號項目參數(shù)1型號JRDL-800CCD2名稱單晶硅爐3電源電壓380V4電源頻率50Hz5電源相數(shù)3相6加熱方式、加熱元件電阻加熱、石墨加熱器7主變壓器容量190KVA8主加熱器最大功率140KW9主加熱器最高加熱電壓60V10整機(jī)功率≤150KW11爐內(nèi)最高溫度160012冷態(tài)爐內(nèi)極限真空度﹤3Pa13冷態(tài)真空泄漏率﹤1Pa/5min14副室打開時主爐室真空度﹤3Pa15生長晶體的直徑范圍6″—8″16熔料重量60kg17原料多晶硅原料18硅單晶等徑長度≥500㎜19等徑精度±2.5mmCCD控制系統(tǒng)±1mm20單晶硅生長時間/爐≈30h21主爐時尺寸Ф800×1150㎜22中爐室尺寸Ф800×800㎜23下爐室尺寸Ф800×350㎜24翻板閥通徑Ф26025副室內(nèi)尺寸Ф260×2220㎜26兩電極間距436㎜27機(jī)械泵配置副室配用TR-24直連泵，主室配用2H—70滑閥泵28籽晶拉速范圍0.1—10㎜/min29籽晶快速≥160㎜/min30籽晶轉(zhuǎn)速范圍2—40rmp31坩堝升速范圍0.02—1㎜/min32坩堝轉(zhuǎn)速范圍1—30rmp33坩堝在爐內(nèi)有效行程≥350㎜34籽晶在副室內(nèi)有效行程1400㎜35水爐系統(tǒng)回水點最高溫度40℃，在5036主機(jī)總高6320㎜37要求廠房高度﹥7600㎜38主機(jī)重量≈4000㎏39主機(jī)占地面積2800㎜×2000㎜40整機(jī)占地面積5000㎜×3000㎜41防震溝要求機(jī)械泵與主室之間要有防震溝，并且距離≥3m42設(shè)備相互之間距離≈2m43進(jìn)水量的要求（壓力、流量）壓力0.15—0.2Mpa，流量20立方米/h44冷卻水進(jìn)水口溫度﹤2545冷卻水用量/臺≥15立方米/h46氬氣用量/臺3000L/h二、基本級維護(hù)1、真空系統(tǒng)：真空系統(tǒng)由主爐室與副爐室真空系統(tǒng)組成。(1)真空泵：電路控制原理圖：真空泵工工作原理：真空泵按鈕按下以后C8接觸器吸合，主室泵在三相電下開始啟動。啟動前，檢查皮帶松緊程度，啟動前可以松一些，啟動后調(diào)節(jié)油箱上的調(diào)節(jié)螺栓，慢慢拉緊，以減少啟動力矩。檢查各部位有無松動現(xiàn)象，接線是否正確，電機(jī)轉(zhuǎn)向是否同泵的要求符合。檢查油箱內(nèi)的油位是否出于油鏡的允許位置（油面一般在油鏡中間）。檢查轉(zhuǎn)動是否靈活，并將真空油排至油箱，以防啟動時負(fù)載過大而影響使用壽命。打開冷卻水閥。冬季如室溫過低，應(yīng)把泵加溫后在啟動泵，因低溫時油粘度大，如突然啟動，會使電機(jī)超負(fù)荷和損壞泵的零件，一般使用時室溫不低于5℃?zhèn)渥ⅲ簩Ρ玫木S護(hù)工作必須在確保泵的空開K2手動斷開的情況下進(jìn)行，以免員工對泵的貿(mào)然啟動，損傷設(shè)備維修人員。一級保養(yǎng)：電磁閥1、電機(jī)維護(hù)：定期檢查電機(jī)工作情況，有無異響，表面電磁閥溫度是否超溫+40℃～+80℃常情況。2、電磁閥維護(hù)：檢查器表面溫度+10℃～+40淤泥。、檢查電磁閥工作是否正常,能夠正常的吸合,是否漏氣,如工作不正常,檢查保險及整流橋是否被擊穿。3、油位檢查：真空泵正常使用狀態(tài)下，下油缸油位應(yīng)基本充滿油鏡。上油缸油位應(yīng)在油鏡的1/3-1/2之間。正常的泵油是清潔透明的若顏色昏暗，請換油。3拆上蓋1斷k23拆上蓋1斷k22放油5拆分離器并清理6拆濾芯并清理備注：在放完油后，從注油口加入適量廢油，開啟真空泵10秒以內(nèi)，關(guān)閉并斷k2，然后再次放出廢油，以便讓廢油帶出大量油濁物。清理濾芯時，將放入容器中用無水乙醇清理。然后裝回。最后將泵依次裝好，閉合k2.二級保養(yǎng)：應(yīng)該常注意油位及油的清潔，視油器內(nèi)有足量的油，新泵工作150小時后換油一次，以后每2～3個月?lián)Q油一次。如使用條件不好，真空度下降時，可以縮短換油時間。應(yīng)該常保持泵及周圍環(huán)境的干燥清潔。經(jīng)常注意泵溫及冷卻水和油的溫度，泵溫以測量油溫為準(zhǔn)，最高不得超過85℃，冷卻水進(jìn)水溫度不超過30℃，出水溫度不超過根據(jù)泵使用條件，應(yīng)拆卸油箱蓋定期清洗低缸油池內(nèi)過濾器和拆卸高缸油池罩，清洗高缸油池。管道的維護(hù)：真空管道是連接主機(jī)與真空泵的通道，真空管道能否完好工作直接影響著設(shè)備的正常工作。因此，也應(yīng)重視這方面的維護(hù)。除塵器中的過濾網(wǎng)每2～3爐清理一次，抽氣管道每20～30爐清理一次。管道的溫升直接影響著泵的壽命、抽氣速度及密封圈的壽命，應(yīng)該經(jīng)常檢查管道的冷卻水，保證暢通。(2)副室泵的維護(hù)使用：電路控制原理圖：工作原理：按鈕按下以后C3接觸器吸合，主室泵在三相電下開始啟動。本泵可單獨使用，亦可作為各種分子泵、擴(kuò)散泵、羅茨泵等高真空、超高真空系統(tǒng)的前級泵，與之配套使用。本泵不得用于抽除塵埃及腐蝕性、易爆性氣體；并不得作為壓縮泵或輸送泵使用。本泵具有極限真空度高、噪音低、不漏油、不噴油等特點，采用防返油止逆閥系統(tǒng)、壓力油循環(huán)系統(tǒng)，方便的氣鎮(zhèn)閥控制等結(jié)構(gòu)。泵的排氣口必須暢通，嚴(yán)禁在封堵排氣口的狀態(tài)下啟動泵。通過油箱的油標(biāo)檢查油量。當(dāng)接線改變后注油塞進(jìn)氣口注油塞進(jìn)氣口排氣口放油塞新啟動泵時，應(yīng)蓋住泵的吸氣口啟動泵，以便把泵油中的氣體排出去。備注：對泵的維護(hù)工作必須在確保泵的空開K3手動斷開的。情況下進(jìn)行，一級保養(yǎng)：a、電機(jī)維護(hù)：定期檢查電機(jī)工作情況，有無異響，漏油等異常情況。表面溫度是否超溫+40℃～+80℃b、油位檢查：副室泵正常使用狀態(tài)下，下油缸油位應(yīng)基本充滿油鏡。上油缸油位應(yīng)在油鏡的1/3-1/2之間。正常的泵油是清潔透明的若顏色昏暗，請換油。c、清理進(jìn)氣口過濾網(wǎng)：過濾網(wǎng)可防止微粒狀物質(zhì)進(jìn)入泵腔，需要清理時，將過濾網(wǎng)拆下后，放入容器中用無水乙醇清理。然后裝回。二級保養(yǎng)：如果油被污染，需及時更換。新泵初次使用，換油時間可適當(dāng)縮短。泵的真空度隨著時間不斷下降時，需換油。泵在連續(xù)工作中，打開氣鎮(zhèn)閥，可抽除被抽系統(tǒng)中可凝性蒸汽，待被抽系統(tǒng)壓力降低到一定數(shù)值時，在關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥，進(jìn)行抽氣。長時間不用泵時，應(yīng)密封泵的進(jìn)氣口和排氣口，以防灰塵、污物污染泵體。如果長時間沒有使用泵，氣體會吸附在泵及密封部件上，當(dāng)再次使用泵時，可適當(dāng)延長抽氣時間，待被吸附氣體解析、排除后，即可恢復(fù)泵的正常使用。翻板閥的拆裝：拆卸閥蓋及轉(zhuǎn)軸（勿傷閥蓋密封面）①拆開聯(lián)接閥蓋與轉(zhuǎn)軸間的水管。②拆下連接桿與轉(zhuǎn)軸間的連接板。（拆換轉(zhuǎn)軸間的密封圈時，可不必進(jìn)行以上兩步）③松開左邊軸端螺釘，拆下支承彎板。④松開左邊壓緊螺母。⑤拆去右端水嘴座及轉(zhuǎn)臂。⑥松開右端蓋緊螺釘。⑦將轉(zhuǎn)軸從右端軸抽出即可。裝配時逆操作。2、液壓系統(tǒng)：電路控制原理圖：壓力表油標(biāo)壓力表油標(biāo)工作原理：啟/停按鈕按下以后,點擊卸荷按鈕，C2接觸器吸合，液壓電機(jī)在三相電下開始啟動。主副室及爐蓋的升降操作：主室升降操作：主爐室提升時，只有爐蓋上升碰限位后向左側(cè)旋轉(zhuǎn)偏離主爐室后，才可上升。主爐室和爐蓋互鎖，主爐室升到極限位置并停留后，然后向右旋出，進(jìn)行清理和擦拭。合爐時，逆操作。副爐室及爐蓋升降操作：副爐室及爐蓋提升用一個液壓缸，該缸裝在下立柱的左側(cè)上方，用支承臂將副爐室和爐蓋先后升降，先將副爐室上升40mm自動限位，向左旋轉(zhuǎn)副爐室后再可升爐蓋。副室、爐蓋、主爐室的操作，控制面板上有相對應(yīng)的按鈕。操作注意事項：在需要進(jìn)行副室、爐蓋、主爐室提升操作時，按下相應(yīng)按鈕，副室、爐蓋升起100mm后必須旋出，主爐室才可升起，以防爐蓋和主爐室相碰撞。合爐時首先將上爐筒旋轉(zhuǎn)至導(dǎo)向桿處，然后對正導(dǎo)向套下降，再上爐筒下降至下爐筒上密封接觸時，應(yīng)點動慢降，直到自由壓緊為止。合完上爐筒后，方可合爐蓋，首先將爐蓋降至距上爐筒上面40mm處，然后將爐蓋對正導(dǎo)向套，下降爐蓋，應(yīng)點動慢降，對正止口，直到自由壓緊為止。啟動過程中應(yīng)隨時檢查電機(jī)、油泵的溫升，隨時觀察系統(tǒng)的工作壓力，隨時檢查各高壓連接處是否有松動，以免發(fā)生異常事故。一級保養(yǎng)：電機(jī)調(diào)壓旋鈕電機(jī)調(diào)壓旋鈕等異常情況。表面溫度是否超溫+40℃～+802、油位檢查：副室泵正常使用狀態(tài)下，下油缸油位應(yīng)基本充滿油鏡。上油缸油位應(yīng)在油鏡的1/3-1/2之間。正常的泵油是清潔透明的若顏色昏暗，請換油。3、壓力調(diào)節(jié)：液壓泵的正常工作壓力為3.0Mpa～3.5Mpa。在壓力表顯示低于3.0Mpa時，液壓系統(tǒng)在升降爐體時會有停滯的現(xiàn)象，此時需要調(diào)節(jié)壓力，在確認(rèn)油箱內(nèi)油量合適的情況下，啟動電機(jī)，向右旋轉(zhuǎn)此旋鈕，可以適當(dāng)調(diào)大壓力。二級保養(yǎng)：液壓泵初次使用半年后應(yīng)更換一次液壓油，以后每隔一年更換一次，以保證系統(tǒng)的正常運行。液壓系統(tǒng)在運行過程中，應(yīng)隨時檢查濾油器阻塞情況并及時清洗或更換。液壓系統(tǒng)平時應(yīng)常備易損件及元、輔件備件，以便及時處理故障。3加熱系統(tǒng):電路控制原理圖:工作原理：加熱系統(tǒng)：加熱系統(tǒng)包括濾波柜，變壓器，水冷電纜，熱場。變壓器將經(jīng)濾波柜濾除諧波之后的380V電源轉(zhuǎn)化為50V，由可控硅控制其輸出量后經(jīng)水冷電纜傳輸給電極。其控制部分由控制柜的歐陸表，電壓反饋板、觸發(fā)板來實現(xiàn)。熱場包括加熱器、石墨電極、電極螺栓、爐底護(hù)盤、石英護(hù)套、電極護(hù)套、堝桿護(hù)套、排氣口護(hù)套、堝桿、堝托、石墨坩堝、下保溫罩、上保溫罩、上保溫蓋、下保溫蓋、導(dǎo)流筒。其中，加熱器，電極，電極螺栓是加熱裝置，其他為保溫裝置?？刂葡到y(tǒng)：控制柜主要是通過工控機(jī)，驅(qū)動器、編碼器、PLC等對晶體生長及其生長環(huán)境進(jìn)行監(jiān)視和控制，以便使晶體按工藝要求生長。為操作者提供了一個人機(jī)交互的界面，方便操作者對晶體生長過程的控制。固體電容固體電容直流互感器機(jī)床變壓器功率控制按鈕可控硅水冷電纜水冷電纜JRDL－800的溫度控制系統(tǒng)采用英國歐陸公司的P818溫度自動控制儀作為系統(tǒng)的溫度控制器。其控制原理：由熱電堆檢測的溫度信號轉(zhuǎn)變?yōu)殡妷盒盘査椭罰818溫度自動控制儀，與設(shè)定的溫度信號進(jìn)行比較、運算，然后將偏差纖毫送至數(shù)字觸發(fā)器控制加熱功率，另一路由負(fù)載引起變化的電壓波動經(jīng)過霍爾變換后送至反饋接口電路用于穩(wěn)定輸出功率，使加熱器上的電壓更加穩(wěn)定。當(dāng)開始加熱時，可編程控制器檢測冷卻水及壓力，當(dāng)水壓達(dá)到要求時可以啟動加熱。當(dāng)無水或壓力不夠時則加熱不動作，需檢查供水情況。一旦加熱后中途因故停水或水壓低于設(shè)定水壓以下時，面板上水壓報警燈亮啟，蜂鳴器鳴叫，但加熱不停止，提示檢修人員及時排除故障。加熱中途遇到電流過大及爐內(nèi)打火或負(fù)載短路時，從主加熱變壓器檢測到過流信號通過控制器停止加熱，同時面板上過流報警燈亮啟，蜂鳴器鳴叫。待故障消除后，將溫度控制器的OP值降到零，重新開啟一次，面板上的加熱開關(guān)可繼續(xù)加熱。但要注意此時坩堝中的硅料不要結(jié)晶，否則應(yīng)停止加熱，清理爐膛后重新裝料再加熱。(1)熱場石墨件名稱：石英環(huán)φ110*120mm石英石英環(huán)φ94*140mm石英電極螺栓φ70*110石墨/IG-70石墨電極φ89*190石墨/IG-70爐底護(hù)盤φ660*200石墨/GSK加熱器φ580*600石墨/CG-12堝桿護(hù)套φ134*138石墨/國產(chǎn)細(xì)料電極護(hù)套φ136*105石墨/國產(chǎn)細(xì)料排氣護(hù)套φ60*84石墨/GSK上保溫罩φ630*183石墨/GSK下保溫罩φ630*600石墨/GSK石墨堝托φ442*70石墨/CG-12石墨坩堝φ494*342石墨/CG-12導(dǎo)流筒外φ470*295石墨/IG-12導(dǎo)流筒內(nèi)φ470*279.5石墨/IG-12石墨堝桿φ270*735石墨/GSK上保溫蓋外φ780*32石墨/GSK下保溫蓋內(nèi)φ724*32石墨/GSK石墨紙厚度1mm熱場的安裝：銅電極銅電極爐底護(hù)盤石墨電極石英護(hù)套中罩上罩排氣護(hù)套石英護(hù)套坩堝護(hù)套加熱器石墨電極電極螺栓導(dǎo)流筒導(dǎo)流筒上蓋安裝熱場元件之前先確認(rèn)銅電極與爐體絕緣。將準(zhǔn)備好的碳?xì)咒伻氩讳P鋼爐體。將剪好的碳膜紙穿入銅電極。將石英護(hù)套穿入銅電極，擺放適當(dāng)。安裝爐底護(hù)盤放入排氣孔護(hù)套、電極護(hù)套、坩堝護(hù)套。將石墨電極擰固在銅電極上并在石墨電極上部擺放剪好的碳膜紙。安裝加熱器，使加熱器電極孔與石墨電極孔重合。將石墨螺絲穿上碳膜紙，緊固加熱器電極腿。裝入中罩、上罩。安裝堝桿、堝托、三瓣堝。測量加熱器與爐體是否絕緣。裝好大蓋固定導(dǎo)流筒，安裝完成。拆卸時，進(jìn)行逆操作即可。(2)電極的拆裝與維護(hù)：拆卸：由于電極材料為紫銅，因此裝時應(yīng)特別小心，切勿重?fù)?。拆卸電極時，首先卸掉水冷電纜及銅夾子。然后拆下水嘴座。松開壓緊螺母。移去上部石英保護(hù)套。將電極從上部抽出即可。裝配時，進(jìn)行逆操作即可。(3)變壓器的維護(hù)：a、定期檢查絕緣子、繞組的底部和端部進(jìn)行檢查看有無積塵現(xiàn)象。b、平時運行巡視檢查中禁止觸摸，注意觀察緊固部件有無松動現(xiàn)象。繞組絕緣表面有無龜裂、碳化痕跡，聲音是否正常。c、運行中注意溫升變化，切忌因溫升過高而損壞絕緣。d、每次運行前，檢查水溫報警器工作是否正常，有無漏水痕跡。(4)歐陸表使用：第二顯示第第二顯示第一顯示毫伏信號，單位為毫伏。按鈕A/MAN決定這歐陸表的來回交替的工作方式，即當(dāng)處于MAN狀態(tài)時，按下A/MAN按鈕后，歐陸表將轉(zhuǎn)換為WSP的工作方式，在MAN的狀態(tài)下，熱場以固定的電壓電流來為熱場提供熱量，當(dāng)在WSP的狀態(tài)下工作時，熱場系統(tǒng)將通過不斷的微調(diào)輸入輸出的電壓電流來穩(wěn)定當(dāng)前的溫度。在WSP狀態(tài)下，第一顯示為當(dāng)前熱場溫度值，第二顯示為熱場目標(biāo)值。當(dāng)處于MAN狀態(tài)時，熱場第一顯示值為當(dāng)前值，第二顯示值為熱場輸出百分比，以100%為極限值。4、提拉系統(tǒng)：晶升電機(jī)晶升電機(jī)晶轉(zhuǎn)電機(jī)堝升電機(jī)堝轉(zhuǎn)電機(jī)諧波減速器電路控制原理圖:工作原理：晶升、堝升系統(tǒng)由晶體生長拉速控制器和晶體生長跟蹤控制器組成。其附帶部分還包括上部的晶體上升快速升降控制和隨動快速升降控制。這兩部分均采用進(jìn)口電機(jī)及進(jìn)口控制器由接口控制電路控制其工作，并與晶體直徑控制器一起完成對晶體的生長控制及直徑進(jìn)行控制。電機(jī)的快速運動與正常速度的轉(zhuǎn)換由可編程控制器進(jìn)行邏輯運算后由電機(jī)執(zhí)行，可保證電機(jī)在運行中動作準(zhǔn)確，安全可靠。電機(jī)的控速顯示和隨動電機(jī)的跟蹤速度顯示分別由面板上的兩塊數(shù)字顯示儀表顯示及其拉速和跟速，單位是mm。籽晶提升機(jī)構(gòu)：籽晶提升機(jī)構(gòu)有提升電機(jī)系統(tǒng)經(jīng)過精密的渦輪蝸桿減速器帶動卷絲輪。卷絲輪通過滾動花鍵傳遞扭矩并承擔(dān)支承。卷絲輪由牽引螺紋螺母套實現(xiàn)平移，從而保證卷絲軟軸鋼絲始終在對中位置，卷絲的平移又帶動限位桿，實現(xiàn)軟軸的極限限位，以保護(hù)籽晶提升機(jī)構(gòu)不受損傷。卷絲輪聯(lián)接有光電編碼器，精確顯示晶體長度（或位置）。為便于軟軸鋼絲繩的拆裝，在卷絲輪上開有裝拆槽。卸時只需將軟軸松開，順著孔槽移出即可，安裝時，應(yīng)將卷絲輪處在最右端，記清所剩繞韁圈數(shù)，然后順槽裝入軟軸，按原來圈數(shù)繞成即可。一級保養(yǎng)：1、電機(jī)檢查：定期檢查電機(jī)工作情況，有無異響，漏油等異常情況。表面溫度是否超溫+20℃～+402、每次大清，緊固聯(lián)軸節(jié)，清理絲杠并加潤滑油。1、用無塵布將絲杠、導(dǎo)軌擦拭干凈用加滿酒精的噴壺將絲杠上面的雜質(zhì)沖洗干凈，反復(fù)升降幾次，尋找最佳效果。在絲桿，導(dǎo)軌上面涂抹少量潤滑油。重復(fù)升降幾次，檢查效果。注：確保絲杠、導(dǎo)軌沒有雜質(zhì)，否則影響運行。工具：噴壺、無塵布、潤滑油二級保養(yǎng)：1、每次運行，校正對中。2、定期校正運行速度與顯示速度，使其保持一致。3、鋼絲繩的拆裝與維護(hù)：鋼絲繩鋼絲繩聯(lián)軸節(jié)卷絲輪側(cè)面圖頂面圖阻尼拆下：所需工具：內(nèi)六角扳手一套、對中工具、聚光燈a:蓋好爐蓋，將鋼絲繩下降，卷絲輪上只纏繞2～3圈的時候。將鋼絲繩從重錘處剪斷，b：打開提拉頭的上蓋和側(cè)蓋視窗，松開壓線輪螺釘。c：松開連軸節(jié)上的螺釘，使卷絲輪能夠用手自由轉(zhuǎn)動。d:拽動鋼絲繩，使鋼絲繩從卷絲輪旋轉(zhuǎn)下來。e:從阻尼上逐步的將鋼絲繩從末端拉出。f:把電機(jī)和限位信號線拔出，將提拉頭拆下，將阻尼套取出。安裝：所需工具：內(nèi)六角扳手一套、對中工具、聚光燈a:在卷絲輪上纏入新的鋼絲繩，使鋼絲繩從底板穿出。b:將鋼絲繩壓入第一繞線槽內(nèi)并緊固壓線輪螺釘。c:手動轉(zhuǎn)動卷絲輪使鋼絲繩多繞幾圈。d:將阻尼從鋼絲繩的另一端穿入e:將阻尼套壓入底板孔f;再次轉(zhuǎn)動卷絲輪檢查鋼絲繩是否順利繞入。g;最后，調(diào)整好連軸節(jié)和限位，裝好視窗玻璃。緊固螺絲釘。4、諧波減速器的維護(hù)：諧波減速器是由波發(fā)生器所產(chǎn)生的機(jī)械波，通過柔性齒輪變形，從而產(chǎn)生齒間相對位移而達(dá)到傳動的目的的一種大減速比減速機(jī)構(gòu)。使用中一般不加油，不必拆卸。在必要時，拆后裝配務(wù)必將各零件清洗干凈。其軸承內(nèi)應(yīng)涂201潤滑脂，齒面應(yīng)加7011特種脂。5、籽晶提拉部件的維護(hù)：籽晶提拉部件也是單晶爐的關(guān)鍵部件，籽晶提拉部件運行的好壞，直接影響著單晶的生長。因此，也必須加以精心護(hù)理。卷輪箱是其核心部分。上面設(shè)有觀察孔，用來觀察內(nèi)部卷輪及軟軸鋼絲繩的工作情況，卷輪箱左端聯(lián)有超程限位箱，用來保護(hù)卷輪箱不會因為其超程而被損壞。卷輪箱的右端由雙極減速器傳遞轉(zhuǎn)矩。減速箱內(nèi)的渦輪蝸桿傳動件，每三個月加注適量潤滑油。不銹鋼軟軸定額承載100Kg，每次開爐后，檢查承重頭部鋼絲繩是否燒損，如有燒損應(yīng)將燒損部分及時去掉，重新用氬弧焊封頭，一根鋼絲繩可供幾次修正使用，但每次休整后，都應(yīng)核實所剩鋼絲繩長度是否滿足使用要求，否則應(yīng)更換新的軟軸鋼絲繩。卷輪箱內(nèi)的調(diào)整螺母（銅螺母）不得隨意拆動，以免影響軟軸的對中，如果必須要拆卸時，裝時一定要認(rèn)真調(diào)整。最終保證軟軸對中。軟軸鋼絲繩在保管、使用、維修安裝中不準(zhǔn)造成任何死彎現(xiàn)象，否則在運行中會引起抖動。籽晶旋轉(zhuǎn)電刷部分，運行一段時間后，要進(jìn)行清理，出現(xiàn)碳粉堆積以免影響信號傳輸，拆裝后，要調(diào)整好相對位置，不允許出現(xiàn)電刷頭與絕緣環(huán)相摩擦的情況。6、卷絲輪的拆裝卷絲輪的旋轉(zhuǎn)密封采用的是磁流體密封，拆裝卷絲輪時盡可能不要拆開磁流體密封組件。拆去電機(jī)及減速箱（拆時做上相對位置極好，復(fù)位時按記號找正）拆下軟軸鋼絲繩壓輪。卸下重錘及軟軸鋼絲繩。拆下卷輪箱左端限位箱。拆下左端蓋及限位桿。拆下拖動限位桿的拖動圓盤。松開右端蓋與卷論箱的連接螺釘。將右端蓋與卷絲輪一起從右端旋出。裝配時逆操作。5、旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)：電路控制原理圖:工作原理：晶體旋轉(zhuǎn)分成兩部分，第一是籽晶旋轉(zhuǎn)部分，第二是坩堝旋轉(zhuǎn)部分。兩部分采用同一種進(jìn)口電機(jī)及控制器，旋轉(zhuǎn)的速度均由面板上的數(shù)字顯示儀表顯示，同生長運動一樣，其控制旋轉(zhuǎn)的邏輯功能均由可編程控制器進(jìn)行邏輯控制，籽晶及坩堝的旋轉(zhuǎn)方向互為逆向。正常使用時將轉(zhuǎn)速給定電位器調(diào)至零位，開啟晶、堝轉(zhuǎn)開關(guān)，分別旋轉(zhuǎn)各自的給定電位器，使其達(dá)到需要的轉(zhuǎn)速。籽晶旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)有旋轉(zhuǎn)軸、支承座、電刷環(huán)組件、磁流體密封座及旋轉(zhuǎn)電機(jī)系統(tǒng)組成。旋轉(zhuǎn)電機(jī)系統(tǒng)通過楔形帶實現(xiàn)籽晶軸平穩(wěn)轉(zhuǎn)動。旋轉(zhuǎn)密封為磁流體密封。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)有10道電刷環(huán)，用來提供籽晶提升機(jī)構(gòu)的電能及傳遞電信號。裝在過渡副室中的限位器，實現(xiàn)軟軸的上限位。一級保養(yǎng)：1、電機(jī)檢查：定期檢查電機(jī)工作情況，有無異響，漏油等異常情況。表面溫度是否超溫+20℃～+40℃2、每次大清，緊固聯(lián)軸節(jié)，清理絲杠并加潤滑油。二級保養(yǎng)：1、每次運行，校正對中。2、定期校正運行速度與顯示速度，使其保持一致。3、坩堝軸旋轉(zhuǎn)密封和卷絲軸旋轉(zhuǎn)密封均采用磁流體密封。4、坩堝軸驅(qū)動部件的維修：坩堝軸驅(qū)動部件是設(shè)備的核心部件，要求各種精度都比較高，所以要加強(qiáng)維護(hù)。坩堝軸是多晶硅料的支承軸，其精度高，工藝復(fù)雜，應(yīng)重點維護(hù)。要經(jīng)常檢查其冷卻水的情況，以免因冷卻不充分而被燒壞。拆下后需垂吊放置。坩堝軸驅(qū)動裝置的導(dǎo)柱及直線運動軸是關(guān)鍵的導(dǎo)向原件，應(yīng)妥善維護(hù)。導(dǎo)柱需保持清潔，嚴(yán)禁灰塵、雜物附著。定期涂抹油脂，以防銹蝕。直線軸承出廠時已做充分潤滑，必要時可每隔一年加注鋰基潤滑脂一次。加油時，松開油蓋。提起油封，推出軸承，認(rèn)真清洗后方可注入新油。發(fā)現(xiàn)導(dǎo)柱與軸承間有研損時，應(yīng)將軸承微轉(zhuǎn)一角度，使?jié)L珠避開研損痕跡，以確保平衡運行。軸承與導(dǎo)柱是配套裝置的，請勿裝錯。精密絲杠、渦輪、齒輪等傳動部件，應(yīng)該保持清潔、潤滑，嚴(yán)禁灰塵等贓物污染，以免零件損壞和失靈。坩堝軸快速升降傳動渦輪，每兩個月打開潤滑孔在渦輪齒面上注鋰基潤滑脂一次。請定時清除下波紋管中的雜物。5、坩堝軸的拆裝：拆卸坩堝軸時，應(yīng)先松開水套與水套固定座的連接螺釘，去掉軸擋圈，卸下水套固定，然后松開圓螺母，卸下帶輪，將磁流體密封部件整體取下，最后將坩堝軸上面整體抽出。裝入時逆操作。只是要注意軸承的潤滑采用真空脂潤滑，水套座內(nèi)的潤滑可用一般潤滑油即可。5、水冷系統(tǒng)：水報警電路：工作原理：JRDL-800的進(jìn)水共三路，一路冷卻主機(jī)下部各冷卻部位，管徑為2.5″。一路冷卻主機(jī)上部（爐蓋及副室部分），管徑為1″.一路冷卻電源柜及機(jī)械泵，管徑為1.5″。在水管與主機(jī)相連時，應(yīng)以軟膠管過渡連接，以防止振動干擾主機(jī)。排水相應(yīng)的也有三路，分別為2.5″、1″、1.5″的水管。連接管路終端為開始管道，以免爐室及各冷卻部位水壓過大造成管路變形，排水管如為多臺共用時，應(yīng)為無壓排水，總排水管路應(yīng)暢通無阻。水質(zhì)應(yīng)以軟水質(zhì)循環(huán)供水為好。其具水溫報警器體要求如下：水溫報警器壓力：0.15～0.2Mpa流量：≥15m3水質(zhì)：堿性，ph