怎么制備半導(dǎo)體晶圓片切割刃料

怎么制備半導(dǎo)體晶圓片切割刃料半導(dǎo)體晶圓片切割刃料的制備是一個復(fù)雜而精細(xì)的過程，以下是一種典型的制備方法：一、原料準(zhǔn)備首先，需要準(zhǔn)備高純度的原料，如綠碳化硅和黑碳化硅。這些原料具有高硬度、高耐磨性和高化學(xué)穩(wěn)定性，是制備切割刃料的理想選擇。二、破碎與篩分顎式破碎：將原料放入顎式破碎機(jī)中進(jìn)行初步破碎，得到一定粒度的顆粒。篩分：通過篩分設(shè)備將破碎后的顆粒進(jìn)行分級，篩選出符合要求的粒度范圍。三、濕法球磨分級將篩分后的顆粒放入濕法球磨機(jī)中進(jìn)行進(jìn)一步粉碎和分級。濕法球磨機(jī)采用濕式研磨方式，通過研磨介質(zhì)（如球磨珠）和研磨液的共同作用，將顆粒粉碎成更細(xì)小的粒子，并通過分級設(shè)備將粒子按照粒度大小進(jìn)行分離。四、酸洗將分級后的粒子進(jìn)行酸洗處理，以去除表面的雜質(zhì)和污染物。酸洗過程中需要控制酸液的濃度、溫度和反應(yīng)時間，以確保粒子的質(zhì)量和穩(wěn)定性。五、溢流分級與濃縮脫水溢流分級：通過溢流分級設(shè)備將酸洗后的粒子進(jìn)行更精細(xì)的分級，得到符合切割刃料要求的粒度分布。濃縮脫水：將分級后的粒子進(jìn)行濃縮脫水處理，以去除多余的水分和研磨液，得到干燥的粒子。六、烘干與混配烘干：將濃縮脫水后的粒子進(jìn)行烘干處理，以去除殘留的水分和揮發(fā)性物質(zhì)。混配：根據(jù)切割刃料的配方要求，將不同粒度、不同種類的粒子進(jìn)行混配，得到均勻的切割刃料。七、精篩與包裝精篩：對混配后的切割刃料進(jìn)行精篩處理，以去除不符合要求的粒子和大顆粒雜質(zhì)。包裝：將精篩后的切割刃料進(jìn)行包裝，以便儲存和運(yùn)輸。八、質(zhì)量檢測在制備過程中，需要對切割刃料進(jìn)行質(zhì)量檢測，包括粒度分布、純度、硬度等指標(biāo)。通過質(zhì)量檢測可以確保切割刃料的質(zhì)量和穩(wěn)定性，滿足半導(dǎo)體晶圓片切割的要求。綜上所述，半導(dǎo)體晶圓片切割刃料的制備過程包括原料準(zhǔn)備、破碎與篩分、濕法球磨分級、酸洗、溢流分級與濃縮脫水、烘干與混配、精篩與包裝以及質(zhì)量檢測等多個步驟。這些步驟需要嚴(yán)格控制工藝參數(shù)和條件，以確保切割刃料的質(zhì)量和穩(wěn)定性。九、高通量晶圓測厚系統(tǒng)高通量晶圓測厚系統(tǒng)以光學(xué)相干層析成像原理，可解決晶圓/晶片厚度TTV（TotalThicknessVariation，總厚度偏差）、BOW（彎曲度）、WARP（翹曲度），TIR（TotalIndicatedReading總指示讀數(shù)，STIR（SiteTotalIndicatedReading局部總指示讀數(shù)），LTV（LocalThicknessVariation局部厚度偏差）等這類技術(shù)指標(biāo)；高通量晶圓測厚系統(tǒng)，全新采用的第三代可調(diào)諧掃頻激光技術(shù)，傳統(tǒng)上下雙探頭對射掃描方式，可兼容2英寸到12英寸方片和圓片，一次性測量所有平面度及厚度參數(shù)。1,靈活適用更復(fù)雜的材料，從輕摻到重?fù)絇型硅(P++)，碳化硅，藍(lán)寶石，玻璃，鈮酸鋰等晶圓材料。重?fù)叫凸瑁◤?qiáng)吸收晶圓的前后表面探測）粗糙的晶圓表面，（點(diǎn)掃描的第三代掃頻激光，相比靠光譜探測方案，不易受到光譜中相鄰單位的串?dāng)_噪聲影響，因而對測量粗糙表面晶圓）低反射的碳化硅(SiC)和鈮酸鋰(LiNbO3)；（通過對偏振效應(yīng)的補(bǔ)償，加強(qiáng)對低反射晶圓表面測量的信噪比）絕緣體上硅（SOI)和MEMS，可同時測量多層結(jié)構(gòu)，厚度可從μm級到數(shù)百μm級不等?？捎糜跍y量各類薄膜厚度，厚度最薄可低至4μm，精度可達(dá)1nm?？烧{(diào)諧掃頻激光的“溫漂”處理能力，體現(xiàn)在極端工作環(huán)境