ESD防靜電手冊20.20標(biāo)準(zhǔn)

1、深圳電子SHEN ZHEN POWELECTRONICO. , LtdESD防靜電手冊手冊編號:ESD-001手冊版本：發(fā)行日期:2021年10月06日持有人:總頁數(shù):28 頁含此頁日期:日期：日期:擬定:審核:批準(zhǔn):文件編號：ESD-001手冊版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防靜電手冊章節(jié)版本：頁數(shù):2 OF 28章節(jié)號標(biāo)題目的範(fàn)圍公司ESD架構(gòu)圖/職貝/任命書ESD總負(fù)責(zé)人職責(zé)ESD小組成員職責(zé)採購部職責(zé)生產(chǎn)部職責(zé)PE部職責(zé)ESD概 要本公司的靜電敏感器件列表靜電防護(hù)區(qū)域EAP的蜀定和標(biāo)識EAP劃分EPA靜電控制措施EAP標(biāo)識防靜電性能標(biāo)準(zhǔn)靜電敏感區(qū)域的工程環(huán)境防靜電規(guī)範(fàn)防靜電工程環(huán)境的要求地

2、面的技術(shù)要求防靜電保護(hù)接地的要求靜電敏感區(qū)域的人員防靜電規(guī)範(fàn)各類人員的防靜電知識培訓(xùn)要求及職責(zé)人體靜電防護(hù)系統(tǒng)臨時或外來人員的防靜電管理靜電敏感區(qū)域的防靜電操作規(guī)範(fàn)靜電敏感區(qū)域的工作臺、工裝、設(shè)備以及防靜電器材的防靜電規(guī)範(fàn)文件編號：ESD-001手冊版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防靜電手冊章節(jié)版本：頁數(shù):3 OF 281目的規(guī)定ESD防靜電控制技術(shù)規(guī)範(fàn)，為產(chǎn)品在元器件進(jìn)料、製造、貯存、包裝等 各個環(huán)節(jié)提供明確可靠的ESD技術(shù)支援，從整體上提高公司靜電防護(hù)和控制 水準(zhǔn)，提咼客戶的滿意度。2範(fàn)圍本規(guī)範(fàn)適用於公司內(nèi)部靜電防護(hù)工程的設(shè)計、使用、管理、維護(hù)和檢測。同 時，此標(biāo)準(zhǔn)也適用於公司的電子設(shè)備的最終

3、用戶的靜電放電控制。3公司ESD組織結(jié)構(gòu)和職責(zé)任 命 書本公司依據(jù)ESD :2007防靜電管理體系要求建立的，為確保公司防靜電管理 體系有效地建立、健全、運行和保持，特任命先生 為ESD總負(fù)責(zé)人，全面負(fù)責(zé)ESD體系的建立、實施、保持、改進(jìn)，並負(fù)責(zé)與 ESD體系有關(guān)的內(nèi)外 部各方的聯(lián)繫協(xié)調(diào)工作。執(zhí)行董事：先生2021年09月12日文件編號：ESD-001手冊版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防靜電手冊章節(jié)版本：頁數(shù):4 OF 283.1 ESD總負(fù)責(zé)人確保職責(zé)和許可權(quán)被明確定義並得到充分溝通，以保證公司ESD體系有效運行。3.2 ESD小組成員：3.2.1 制定ESD程式檔、檢測標(biāo)準(zhǔn)、和檢測專案和檢測

4、頻率。3.2.2 建立ESD培訓(xùn)制度，包括每年的週期性培訓(xùn)。3.2.3 制定ESD稽核專案、稽核頻率並指定稽核人員。3.2.4 抽樣檢查公司ESD日常執(zhí)行情況。3.2.5 ESD相關(guān)的計量儀器定期校驗。3.2.6 ESD基礎(chǔ)設(shè)施的建立。3.2.7 各靜電防護(hù)區(qū)域靜電防護(hù)線網(wǎng)的維護(hù)和檢測。3.2.8 溫度和濕度的管控。文件編號：ESD-001手冊版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防靜電手冊章節(jié)版本：頁數(shù)：5 OF 28329對新進(jìn)廠的職員工進(jìn)行防靜電知識的培訓(xùn)。3.3採購部：3.3.1 按要求購置防靜電物品。3.3.2 需要時取得防靜電物品的防靜電證書。3.4生產(chǎn)部：3.4.1 執(zhí)行防靜電措施。3.4

5、.2 部門防靜電知識的宣導(dǎo)與培訓(xùn)。3.4.3 部門防靜電專案的檢查。3.5 PE部：3.5.1 負(fù)責(zé)對SMT車間的靜電裝置、接地裝置防靜電專案的檢查。3.5.2 負(fù)責(zé)對各種感元件識別要求標(biāo)準(zhǔn)並通知相關(guān)部門；3.5.3 負(fù)責(zé)對防靜電區(qū)域儀器監(jiān)管3.5.4 部門培訓(xùn)靜電知識；4 ESD既要本文主要從靜電控制的五個方面即人員、設(shè)備、物料、方法和環(huán)境來論述 ESD規(guī)範(fàn)，貫穿了公司產(chǎn)品設(shè)計、製造、貯存、包裝等各個環(huán)節(jié)防靜電控 制，詳細(xì)介紹了防靜電設(shè)施的技術(shù)要求、檢測方法和作業(yè)指導(dǎo)等內(nèi)容。4.1 定義4.1.1 ESD： Electro-Static Discharge靜電釋放。文件編號：ESD-001手

6、冊版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防靜電手冊章節(jié)版本：頁數(shù):6 OF 284.1.2 抗靜電材料：同種材料或類似材料相互摩擦，幾乎不產(chǎn)生靜電荷 的材料。4.1.3 導(dǎo)靜電材料：材料外表電阻率每平方米小於105Q的材料。4.1.4 靜電消散性材料：外表電阻率介於每平方米105Q與1012Q之間的材料。4.1.5 絕緣材料：外表電阻率每平方米大於等於 1012Q的材料。4.1.6 外表電阻率：每平方米材料外表兩個電極間的電阻。4.1.7 靜電敏感器件：指IC類與電晶體二極體類電子元件。4.1.8 靜電敏感區(qū)：指生產(chǎn)區(qū)域、存儲區(qū)域、檢驗區(qū)域。4.1.9 非靜電敏感區(qū)：指除了靜電敏感區(qū)以外的所有區(qū)域，其中

7、包括局部在靜電敏感區(qū)中劃分的非靜電敏感區(qū).防靜電工作區(qū)：配備各種防靜電設(shè)備和器材、能限制靜電電位、具 有確定邊界和專門標(biāo)記的適於從事靜電防護(hù)操作的場所。接地：電子連接到能供給或接受大量電荷的物體如大地、艦船或 運載工具外殼等。硬接地：直接與大地電極作導(dǎo)電性連接的一種接地方式。軟接地：通過一足以限制流過人體的電流達(dá)到平安值的電阻連接到 大地電極的一種接地方式。文件編號：ESD-001手冊版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防靜電手冊章節(jié)版本：頁數(shù):7 OF 28大地電極：埋於地下與大地保持良好的電氣連接的金屬體或金屬體 組。它可以是桿狀的、板狀的或網(wǎng)狀的，為接地系統(tǒng)提供接大地的基 準(zhǔn)點。高靜電材料：容易

8、產(chǎn)生靜電及累積靜電的材料，例如：普通紙張、 普通塑膠袋、塑膠筆等。5本公司的靜電敏感器件列表5.1本公司的靜電敏感器件列表表1靜電敏感器件列表序號型號抗靜電值Volts1MOSFET貼片式場效應(yīng)管100-2002SAW濾波器150-5003JFET140-72004CMOS電腦用晶片250-30005JFETJ結(jié)型場效應(yīng)管140-7006雙極性電晶體380-70007肖特基二極體300-30008運算放大器190-25009膜片電阻厚、薄300-300010綁定IC暫缺11LED暫缺6靜電防護(hù)區(qū)域EPA的界定和標(biāo)識6.1 EPA劃分文件編號：ESD-001手冊版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防靜電

9、手冊章節(jié)版本：頁數(shù):80F 286.1.1 EPA必須具有如下的根本環(huán)境要求：6.1.1.1 明確的區(qū)域界限和防靜電警示標(biāo)6.1.1.2 對區(qū)域內(nèi)的所有導(dǎo)體包括人員可靠接地6.1.1.3 消除一切不必要的靜電產(chǎn)生源。6.1.1.4 靜電敏感器件必須離靜電源大於30釐米處。6.1.2 根據(jù)本公司產(chǎn)品器件的靜電敏感度等級，將本公司靜電敏感度等 級防範(fàn)要求為100V。防護(hù)要求為：我們公司的敏感等級6.1.2.1 靜電敏感度等級防範(fàn)要求為100V,應(yīng)儘量防止產(chǎn)生100V以上 的靜電電荷源，如不能防止，應(yīng)通過有效方式消除。6.1.2.2 採用防靜電標(biāo)識與其他區(qū)域分隔開，未採取有效防靜電措施的 人員、設(shè)備

10、、物料、工具等皆不得入內(nèi)。6.1.2.3 進(jìn)入本區(qū)域應(yīng)作好人員防靜電要求，包括防靜電服、防靜電帽 和防靜電鞋，並做人體綜合電阻測試合格後才能進(jìn)入。對於配備靜 電手環(huán)的崗位，還要做腕帶檢測，檢測合格，表示該腕帶可以使 用。6.2 EPA靜電控制措施控制措施按照表 2實施：6.2.1 表2 EPA靜電控制措施要求ESD控制措施要求靜電電壓控制標(biāo)準(zhǔn)小於100V防靜電標(biāo)識要求防靜電地板要求防靜電桌墊要求防靜電腕帶可選防靜電工作手套、指套要求:防靜電工作服要求防靜電帽要求防靜電工作鞋要求防靜電工作椅要求防靜電周轉(zhuǎn)工具要求防靜電包裝材料要求防靜電烙鐵要求防靜電吸錫器要求裝配、調(diào)試及輔助工具防靜電要求靜電產(chǎn)

11、生材料禁止帶入EPA要求人體電阻測試儀帶腕帶測試儀要求區(qū)域封閉性可選出入口控制可選靜電電壓表可選兆歐表可選接地系統(tǒng)監(jiān)控儀可選離子風(fēng)靜電消除器可選離子風(fēng)機(jī)靜電消除器測試儀可選防靜電液可選非防靜電包裝的拆包區(qū)域外操作或獨立工位操作辦公區(qū)區(qū)域外或獨立工區(qū)6.3 EPA標(biāo)識防靜電工作區(qū)、防靜電包裝材料和轉(zhuǎn)運工具、設(shè)備儀器、防靜電接地系 的接地等都應(yīng)該具有防靜電標(biāo)識。防靜電標(biāo)識的作用是警示任何靠近防 靜電工作區(qū)的人員，區(qū)域記憶體在靜電敏感器件的操作；警示任何接觸 靜文件編號：ESD-001手冊版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防靜電手冊章節(jié)版本：頁數(shù):10OF 28電敏感器件的人員，對該器件的操作必須進(jìn)行靜電

12、防護(hù)。6.3.1 靜電標(biāo)識上應(yīng)注意說明如“注意：靜電平安工作區(qū)“或其同意 語?！胺烹?，“注意，“危險等標(biāo)示對靜電控制是不合適的。6.3.2 EPA標(biāo)識所在的位置及其大小應(yīng)該至少保證在距離工作區(qū)1米時清晰可見。6.3.3 在邊界線內(nèi)貼靜電敏感區(qū)的區(qū)域界限標(biāo)識如圖 A,其寬度為45cm635防靜電器材、工具和靜電敏感物料都必須具有明顯的防靜電標(biāo)識，6.3.6防靜電容器防靜電周轉(zhuǎn)箱，防靜電元件盒等，元件架和運輸車等器材上應(yīng)有防靜電標(biāo)誌，其標(biāo)誌應(yīng)置於明顯且不易受到磨損的地 方。如圖B，文件編號：ESD-001手冊版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防防靜電標(biāo)冊章節(jié)版本：頁數(shù):11OF 286.4防靜電性能標(biāo)準(zhǔn)

13、6.4.1防靜電性能標(biāo)準(zhǔn)表3項目要求限定檢測頻率檢驗比例檢測人員防靜電服< 1 x 10 11 歐姆新購每批5%IQC每月20件ESD Group防靜電帽< 1 x 10 11 歐姆新購每批5%IQC每月20個ESD Group防靜電鞋< x 10 7歐姆新購每批5%IQC每月20個ESD Group防靜電手套/手指套< 1 x 10 11 歐姆新購每批5%IQC放靜電地板< 1 x 10 9歐姆新安裝100%ESD Group清潔後100%ESD Group每月20個ESD Group半年100%ESD Group防靜電工作臺< 1 x 10 9歐姆新安裝

14、100%ESD Group每月20個ESD Group半年100%ESD Group防靜電工作椅< 1 x 10 9歐姆新購100%ESD Group每月20個ESD Group半年100%ESD Group移動貨架< 1 x 10 9歐姆新購100%ESD Group每月20個ESD Group半年100%ESD Group固定貨架< 1 x 10 9歐姆新購100%ESD Group每月20個ESD Group半年100%ESD Group手推車< 1 x 10 9歐姆新購100%ESD Group每月20個ESD Group半年100%ESD Group接地線&l

15、t; 1歐姆新安裝100%ESD Group半年100%ESD Group監(jiān)視報警器是否正常工作檢測方法參考相 關(guān)指導(dǎo)書新安裝100%ESD Group每週100%ESD Group維修設(shè)備烙鐵對地阻值<=2 Ohm每天100%T/S離子風(fēng)靜電消除器<+/- 50V年外校100%ESD Group防靜電包裝材料< 1 x 10 11 歐姆新購IQC抽樣檢驗標(biāo)準(zhǔn)IQC機(jī)器接地電阻<2Q半年100%ESD Group防靜電容器周 轉(zhuǎn)< 1 x 10 11 歐姆半年100%物品所屬部門7靜電敏感區(qū)域的工程環(huán)境防靜電規(guī)範(fàn) 7.1防靜電工程環(huán)境的要求：7.1.1環(huán)境的溫度、

16、濕度要求文件編號：ESD-001手冊版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防靜電手冊章節(jié)版本：頁數(shù)：13 OF28根據(jù)公司環(huán)境要求檔對公司內(nèi)部各個生產(chǎn)區(qū)域的溫濕度進(jìn)行管控， 靜電控制環(huán)境內(nèi)應(yīng)配備溫度計和濕度計，溫度計和濕度計必須放置 在垂直固定於牆壁上，並按要求做好點檢記錄。7.2地面的技術(shù)要求721地板的防靜電要求：為有效地使人體靜電能通過地板儘快洩漏到大地，除了操作人員穿用防靜電服、防靜電鞋外，其先決條件是地板 必須具有一定的導(dǎo)電性能，即是防靜電的。7.2.2 防靜電地板的靜電特性定期檢查與維護(hù)保養(yǎng)：7.2.3 當(dāng)?shù)匕迳细街薪^緣性的油膜、樹脂、橡膠和髒汙時，7.2.4 清掃防靜電地板時不得使用絕緣

17、性的地板臘。7.3防靜電保護(hù)接地技術(shù)要求：防靜電系統(tǒng)必須有可靠的接地裝置，主要技術(shù)要求如下：731接地線總地線：也稱為地線母線。接地主幹線的截面面積應(yīng)不小於100ml2，支幹線黃綠雙色的截面面積應(yīng)不小於 6mm設(shè)備 和工作臺的接地線採用截面面積應(yīng)不小於的黃綠雙色導(dǎo)線。7.3.2 防靜電設(shè)備的連接端子應(yīng)確保接觸可靠，易裝拆，必須使用插頭座等。733接地電阻：指接地體與大地之間的接觸電阻，靜電保護(hù)接地電阻應(yīng)小於2Q。文件編號：ESD-001手冊版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防靜電手冊章節(jié)版本：頁數(shù)：14 OF287.3.4 地線的埋設(shè)：埋設(shè)地線的原則是埋設(shè)地點的土壤電阻係數(shù)愈小愈好接地體與土壤的接觸

18、面積要大，接觸密度要高，接觸要緊。7.3.4.1 地設(shè)地線的注意事項：7.3.4.1.1 接地線與接地線接頭必須焊接牢固，要有足夠的機(jī) 械強(qiáng)度，引線不要過長。7.3.4.1.2 要採用耐腐蝕的接地體金屬。7.3.4.1.3 要保持接地體附近土質(zhì)的品質(zhì)，並不斷採取措施防 止接地電阻變大。7.3.4.1.4 防靜電地線必須是永久性的。7.3.5 .接地線需要定期檢查：7.3.5.1 接地線需要定期維護(hù)：7.3.5.2 對於檢查不過關(guān)的接地線必須採取措施及時解決。7.3.5.3 確保接地線有效接地。735.4 對於生銹的或接觸不好的接地線要及時更換。735.5 對於鬆動的接地線要重新連接。7.3.5

19、.6按接地線相關(guān)規(guī)定進(jìn)行維護(hù)。8靜電敏感區(qū)域的人員防靜電規(guī)範(fàn)8.1各類人員的防靜電知識培訓(xùn)要求及職責(zé)：文件編號：ESD-001手冊版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防靜電手冊章節(jié)版本：頁數(shù)：14 OF288.1.1 有可能進(jìn)入靜電敏感區(qū)域的人員或有可能接觸靜電敏感器件的人 員都必須接受防靜電知識培訓(xùn)。這既是對每位員工的根本要求，也是 減少靜電危害的根本方法和途徑之一。8.1.2 所有新員工在接受入廠培訓(xùn)時，必須接受ESD知識的培訓(xùn)。培訓(xùn)結(jié)束後，所有被培訓(xùn)者需要通過 ESD的考試，合格者才能上崗。8.1.3 所有在職人員必須每年接受2次ESD知識再培訓(xùn)。培訓(xùn)內(nèi)容包括 介紹ESD的新技術(shù)，新規(guī)範(fàn)等。8.

20、1.4 採購部人員必須接受ESD根本知識培訓(xùn)，幫助生產(chǎn)部門採購合格 的ESD防護(hù)材料。8.1.5 負(fù)責(zé)防靜電接地和布生產(chǎn)線的人員，應(yīng)接受更為專業(yè)的ESD知識培訓(xùn)。瞭解防靜電接地系統(tǒng)要求並掌握地樁、地線和其他防靜電設(shè)施的敷設(shè)或安裝。8.1.6 計量檢定人員也應(yīng)瞭解ESD根本知識，尤其是關(guān)於防靜電儀器的 校驗知識，要定期校驗防靜電檢 測器材，保證其平安、有效，現(xiàn)儀器 全部外校，每年1次。8.2人體靜電防護(hù)系統(tǒng)：8.2.1 防靜電工作服：防靜電工作服是指為防止靜電荷積累，用防靜電織物作為面料而製 成的工作服，樣式有連體式、分體式等。防靜電工作服主要用來泄 放人體高絕緣性能的服裝所產(chǎn)生的靜電或減少人體

21、靜電產(chǎn)生。文件編號：ESD-001手冊版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防靜電手冊章節(jié)版本：頁數(shù)：16 OF288.2.1.1 防靜電服使用要求：8.2.1.1.1 進(jìn)入防靜電區(qū)域的人員必須按規(guī)定穿防靜電大褂衣，夾克衣或防靜電連體服，嚴(yán)禁穿一般合成纖維 工作 服。8.2.1.1.2 防靜電衣必須在更衣室更換，不允許在ESD區(qū)域穿或脫防靜電衣。8.2.1.1.3 禁止在防靜電衣上附加或佩帶與工作無關(guān)的金屬物 品或裝飾品。8.2.1.1.4 不能把非防靜電衣的衣領(lǐng)翻出蓋住防靜電衣的衣 領(lǐng)，防靜電衣須將拉鏈拉好，扣子扣好。非不準(zhǔn)將防靜電 衣的袖子挽起，不準(zhǔn)將手錶、手飾等與工作無關(guān)的裝飾物 品露出防靜電衣外

22、。821.1.5 防靜電大褂衣和夾克衣，應(yīng)保持清潔，工作服的洗滌應(yīng)儘量採用簡易方法進(jìn)行，採用中性洗滌劑 要防止受到較強(qiáng)的機(jī)械和化學(xué)操作的洗滌。821.1.6 防靜電服需要檢測，檢測頻率和檢測標(biāo)準(zhǔn)參考表3。8.2.1.2防靜電服的檢測：0 檢測項目：外表電阻。1 檢測位置：袖與袖之間。8.2.1.2.3 檢測儀器：阻抗測試儀。8.2.2防靜電帽文件編號：ESD-001手冊版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防靜電手冊章節(jié)版本：頁數(shù):170F 288.2.2.1 防靜電帽應(yīng)正確佩戴，帽沿朝前頭髮不能露出防靜電帽外後腦 局部的短細(xì)的頭髮。8.2.2.2 防靜電帽需要檢測，檢測頻率和檢測標(biāo)準(zhǔn)參考表3。8.2.

23、2.3 防靜電服的檢測：8.2.2.3.1 檢測項目：外表電阻8.2.2.3.2 檢測位置：靜電帽外表8.2.2.3.3 檢測儀器：阻抗測試儀8.2.3 防靜電工作鞋：8.2.3.1 作業(yè)人員必須穿防靜電鞋，經(jīng)過人體綜合電阻測試合格後，方 可進(jìn)入靜電敏感區(qū)域工作。8.2.3.2 防靜電鞋需要檢測，檢測頻率和檢測標(biāo)準(zhǔn)參考表3。8.2.3.3 防靜電鞋的檢測：8.2.3.3.1 檢測項目：對地電阻。8.2.3.3.2 檢測儀器：人體綜合測試儀8.2.4 防靜電手套或指套：8.2.4.1 操作員工在接觸靜電敏感材料時，需要戴上防靜電手套或指 套。8.2.4.2 防靜電防靜電手套或指套需要檢測，檢測頻

24、率和檢測標(biāo)準(zhǔn)參考 表3。8.2.4.3 防靜電手套或指套的檢測：文件編號：ESD-001手冊版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防靜電手冊章節(jié)版本：頁 數(shù)：18 OF280 檢測項目：對地電阻1 檢測儀器：外表阻抗儀8.244防靜電手套或指套較髒或破損時，應(yīng)及時更換。8.2.5 防靜電腕帶：防靜電腕帶是通過腕帶與皮膚的直接接觸和靜電線接地的方式，將 人體皮膚外表靜電泄放掉裝置8.2.6 作業(yè)員坐著接觸靜電敏感材料時，需要佩戴防靜電手腕。8.2.7 防靜電腕帶佩帶方法：將腕帶紮於手腕處，不能鬆動，手腕感覺四周握緊。保證手腕帶內(nèi)外表與皮膚良好接觸。8.2.8 防靜電腕帶接地應(yīng)採用插孔的連接方式，應(yīng)防止使用

25、鱷魚夾的接地方式。8.2.9 防靜電腕帶需要檢測，檢測頻率和檢測標(biāo)準(zhǔn)參考表3。8.3臨時或外來人員的防靜電管理：臨時外來人員，包括參觀人員、非本車間聯(lián)繫工作人員、臨時施工 人員包括電工、修理工、裝 飾工等，進(jìn)入防靜電區(qū)域時，必須遵守 防靜電區(qū)域和生產(chǎn)過程的各項防靜電要求。8.3.1 臨時外來人員進(jìn)入EPA區(qū)域，必須有本公司內(nèi)部經(jīng)過 ESD培訓(xùn)的人員陪同。不能有違背公司 ESD規(guī)定的舉動。文件編號：ESD-001手冊版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防靜電手冊章節(jié)版本：頁數(shù)：19 OF288.3.2 臨時施工作業(yè)在正常生產(chǎn)時間內(nèi)要防止暫態(tài)高壓、暫態(tài)放電的操作如電焊、啟動電機(jī)、開關(guān)高壓電源等或事前採取防

26、範(fàn)措施，或安排在非生產(chǎn)時間內(nèi)施工作業(yè)。8.3.3 防靜電區(qū)域內(nèi)需要進(jìn)行某種維護(hù)、修理作業(yè)時，維護(hù)人員應(yīng)遵守 防靜電區(qū)域的有關(guān)規(guī)定。9靜電敏感區(qū)域的防靜電操作規(guī)範(fàn)9.1所有的 靜電敏感器件及其部件的操作必須在靜電平安工作臺上進(jìn)行。9.2貯存和運輸靜電敏感器件及其部件時，應(yīng)妥善進(jìn)行防靜電包裝。9.3拒絕接受未包裝在防靜電容器裏的靜電敏感器件及其部件。9.4所有用非ESD材料包裝的電子元器件都應(yīng)在指定的靜電泄放區(qū)域，經(jīng) 過拆包和靜電泄放處理後，方可 用防靜電中轉(zhuǎn)工具將其轉(zhuǎn)到靜電敏感 區(qū)域。9.5不允許在靜電敏感區(qū)域內(nèi)存放和處理非 ESD的材料，不允許在非靜電 敏感區(qū)域內(nèi)存放和處理未包裝的 靜電敏感材

27、料，不允許非 ESD的材料 與靜電敏感材料混放。9.6進(jìn)入靜電敏感區(qū)域的人員，都要必須穿好防靜電工作服，必須戴上防靜 電環(huán)，腕帶必須與皮膚有良好接觸並將腕帶接入可靠的防靜電接地系統(tǒng) 中，防靜電鞋和腳必須與防靜電地板或 ESD地墊保持良好接觸防靜電 帽也必須按規(guī)定戴好。9.7不得隨意撤除和改變靜電敏感器件及其部件的封裝。文件編號：ESD-001手冊版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防靜電手冊章節(jié)版本：頁數(shù)：20 OF289.8測試靜電敏感器件時必須遵守加電和去電順序，嚴(yán)禁帶電插拔靜電敏感 器件。9.9操作員工在接觸靜電敏感材料時，需要戴上防靜電手套或指套。9.10清潔靜電敏感器件及其部件時，不得使用塑

28、膠刷，必須使用防靜電刷。9.11不具備防靜電功能的必備工具和用具，應(yīng)放在防靜電桌墊上。如果需要 加裝離子分機(jī)，並將這些工具置於離子風(fēng)機(jī)的作用範(fàn)圍內(nèi)。9.12靜電敏感材料必須使用防靜電材料盛放和包裝。9.13靜電敏感材料初始包裝應(yīng)在靜電敏感區(qū)域內(nèi)完成，並要用防靜電材料包 裝。完成了初始包裝的 靜電敏感材料 器件 進(jìn)行二次包裝時可以在非 ESD區(qū)域內(nèi)完成，可不採用防靜電材料。9.14禁止使用超過有效期的防靜電材料來接觸或包裝靜電敏感材料 器件9.15在任何場合均不允許未採取防靜電措施的人員接觸靜電敏感材料及其部件。9.16生產(chǎn)過程中使用的設(shè)備必須採取接地等防靜電措施。9.17生產(chǎn)過程中運輸靜電敏感

29、材料及其部件時，應(yīng)將其放入防靜電包裝內(nèi)進(jìn) 行。必要時，應(yīng)用離子風(fēng)機(jī)來消除在運輸過程中產(chǎn)生的靜電。9.18新佈置的生產(chǎn)線或工位等都應(yīng)進(jìn)行 ESD認(rèn)可，只有認(rèn)可合格後，方可 給生產(chǎn)線使用。9.19新投入防靜電敏感區(qū)域的防靜電材料，包括主料，輔料和包裝材料都應(yīng) 進(jìn)行ESD認(rèn)可，只有認(rèn)可合格後，方可給生產(chǎn)線使用。文件編號：ESD-001手冊版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防靜電手冊章節(jié)版本：頁數(shù)：21 OF289.20新投入防靜電敏感區(qū)域的防靜電工具等都應(yīng)進(jìn)行ESD認(rèn)可，只有認(rèn)可合格後，方可給生產(chǎn)線使用。10靜電敏感區(qū)域的工作臺、工裝、設(shè)備以及防靜電器材的防靜電規(guī)範(fàn)10.1根本防靜電要求：防靜電工作區(qū)內(nèi)的

30、各種設(shè)備、工具、工裝儀器都應(yīng)實 施靜電防護(hù)措施，如接觸元器件的局部應(yīng)使用防靜電材料體積電阻<109q。對非防靜電材料外表電阻>1012Q應(yīng)採用靜電中和或塗抹防 靜電塗液、塗層 等其他防護(hù)措施進(jìn)行有效的接地硬接地軟接地。10.2防靜電工作桌的技術(shù)要求：防靜電工作桌是防靜電工作區(qū)的主要組成局部，下面所示為標(biāo)準(zhǔn)的防 靜電工作臺構(gòu)成圖：10.3靜電敏感區(qū)域的工作臺、工裝、設(shè)備以及防靜電器材的主要技術(shù)要求參 考表3。10.4工作桌的安裝要求：按照工作桌面的大小選擇所需的防靜電臺墊的尺寸。文件編號：ESD-001手冊版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防靜電手冊章節(jié)版本：頁數(shù):22OF 28從防靜電桌

31、墊正面壓下旋鈕接頭可用不銹鋼螺釘、螺母、墊片組 成的連接點代替，使其穿過桌墊和箔帶多層箔帶時應(yīng)保證全部穿 過，以保證電接觸良好。將經(jīng)過以上準(zhǔn)備好的防靜電桌墊平整的鋪於工作桌面上。將工作桌置於防靜電地板上。防靜電工作桌的接地，使用橫截面不小於2mm的絞合銅芯軟線或電纜把防靜電桌墊串聯(lián)1MQ電阻後連接到地線配置系統(tǒng)上。全部安裝完畢後，對各參數(shù)指標(biāo)進(jìn)行檢驗合格後，方可開始使用。10.5防靜電工作臺接地要求：防靜電工作桌的桌墊，串聯(lián)1MQ+-10%的電阻接地即軟接地。防靜電工作桌墊和地墊上任意一點與地線配置系統(tǒng)間的電阻為91X 1061x 10 Q。接地電纜應(yīng)中間無接頭。多臺防靜電工作桌的接地線不能相

32、互串接。防靜電工作桌上的測試儀器、穩(wěn)壓電源、電動工具、和電離器等所 有外部零件外表、遮罩面均應(yīng)接地，對地線配置系統(tǒng)電阻值不大於 2Q,所有接地點應(yīng)集中接於一點，就近牢固搭接至地線系統(tǒng)上。對載流接地線，應(yīng)使用同軸電纜來接地和遮罩。文件編號：ESD-001手冊版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防靜電手冊章節(jié)版本：頁數(shù)：23 OF28防靜電工作區(qū)內(nèi)的各種設(shè)備、儀器、工裝裝備、工具都應(yīng)實施 靜電防護(hù)措施。例如接觸或靠近靜電敏感器件靜電敏感材料的部 分應(yīng)盡可能使用防靜電材料靜電耗散材料。10.6防靜電工作桌、貨架靜電皮使用與維護(hù)要求：防靜電工作桌、貨架靜電皮在日常使用中，必須確保正常接地狀 態(tài)。防靜電工作桌、

33、貨架靜電皮上不允許存放塑膠盒、橡皮、玻璃、白 色塑膠袋等易產(chǎn)生靜電的物品圖紙、資料等應(yīng)放入防靜電文件袋中防靜電防靜電手套或指套需要檢測，檢測頻率和檢測標(biāo)準(zhǔn)參考表 3。防靜電工作桌、貨架靜電皮的檢測：10.6.4.1 檢測項目：外表和對地電阻10.6.4.2 檢測儀器：外表阻抗儀10.7防靜電工作椅： 為全面控制人體靜電，操作者所坐的工作椅必須具有防靜電性能。如 果椅腿是非金屬材料或有絕緣套腳時，應(yīng)將防靜電椅、凳面接地。防靜電工作椅需要檢測，檢測頻率和檢測標(biāo)準(zhǔn)參考表3。防靜電工作椅的檢測：10.7.2.1 檢測項目：外表和對地電阻10.7.2.2 檢測儀器：外表阻抗儀文件編號：ESD-001手冊

34、版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防靜電手冊章節(jié)版本：頁數(shù)：24OF 2810.8防靜電容器包括周轉(zhuǎn)箱、元器件存放盒、印製板架等:在各工位、各工序間用於傳遞和儲存靜電敏感材料和單板的各類容器，以及用於產(chǎn)品包裝發(fā)貨的容器，都應(yīng)具備防靜電性能。防靜電容器需要檢測，檢測頻率和檢測標(biāo)準(zhǔn)參考表3。1082防靜電容器的檢測：10.821 檢測項目：外表和對地電阻10.8.2.2 檢測儀器：外表阻抗儀10.9防靜電周轉(zhuǎn)車、料車：轉(zhuǎn)運、暫存靜電敏感材料或含有靜電敏感材料的整、部件產(chǎn)品時，應(yīng)使 用有防靜電性能的周轉(zhuǎn)車。為保證接地良好，可在車底加裝接地金屬鏈 活加裝導(dǎo)電車輪。金屬鏈接觸地面的長度必須超過 10cm防靜電

35、周轉(zhuǎn)車、料車需要檢測，檢測頻率和檢測標(biāo)準(zhǔn)參考表3。防靜電周轉(zhuǎn)車、料車的檢測：10.9.2.1 檢測項目：外表和對地電阻10.9.2.2 檢測儀器：外表阻抗儀10.10靜電消除器離子風(fēng)機(jī)：在不能有效泄放靜電的場合，可採用電離器通過電離空氣產(chǎn)生的正負(fù) 離子，來防止和中和在元器件 上及其它物體上的電荷積累。靜電消除器需要檢測，檢測頻率和檢測標(biāo)準(zhǔn)參考表3。10.11落地設(shè)備的防靜電技術(shù)要求：10.12文件編號：ESD-001手冊版本：章節(jié)：文件名稱：ESD防靜電手冊章節(jié)版本：頁數(shù):25OF 2810.12.1落地設(shè)備如印刷機(jī)、貼片機(jī)、回流焊、波峰焊機(jī)、流水線等等應(yīng)採用硬接地，即直接或通過一個低阻抗同防

36、靜電地線相連設(shè) 備的接地線應(yīng)採用截面積不小於的敷塑導(dǎo)線，接地線顏色為黃綠 雙色導(dǎo)線。具有自動傳送帶或滾筒式的流水線，線體應(yīng)統(tǒng)一接入大地網(wǎng)，並使 線體上任一點與大地的接地電阻均小於2Q。流水線的自動傳送帶應(yīng)使用防靜電材料，並通過導(dǎo)線或?qū)w與線體 連接。流水線體上的工裝板應(yīng)通過靜電導(dǎo)體與線體連接，達(dá)到與線體等電 位。自動線體上按作業(yè)崗位需要，設(shè)置接地點，以便操作者能隨時連接 防靜電腕帶。10.13工具的防靜電技術(shù)要求：帶有金屬外殼的便攜工具及儀器、設(shè)備提供的電源插頭座，應(yīng)選用 平安型。電烙鐵需要有接地保護(hù)措施。電烙鐵需要檢測，檢測頻率和檢測標(biāo)準(zhǔn)參考表310.1331 檢測項目：對地電阻10.13.3.2 檢測儀器：萬用表10.14工裝的防靜電技術(shù)要求：文件編號：ESD-001手冊版本：章節(jié)：文