關(guān)于硅片工藝方面異常綜合報(bào)告

1、硅片事業(yè)部一硅片車間斷線線痕崩邊厚薄片缺角隱裂彎曲片掉棒掉片過(guò)濾袋堵塞如何避免斷線和斷線的解決方法鋼線張力異常會(huì)引起以下現(xiàn)象最常見(jiàn)的是鋼線質(zhì)量問(wèn)題造成斷線；其次張力異常造成斷線；垂直度不垂直造成斷線；滑輪質(zhì)量問(wèn)題造成斷線，滑輪沒(méi)有及時(shí)更換造成斷線；張力方大器故障造成斷線；導(dǎo)輪驅(qū)動(dòng)異常造成斷線。其次放線輪壓線斷線分為假壓線和真壓兩種：在這兩種情況下真壓線的斷線率比假壓線的高。其主要原因是在鋼線本身，還有一種可能是斷線后采用反切方法排線不正確也會(huì)產(chǎn)生。其一排線的問(wèn)題。在切割過(guò)程中收線輪處的排線輪由于行程有細(xì)微的過(guò)大，而切割后的鋼線本身在切割過(guò)程中有了比較均勻的磨損；由于排線輪的行程大了一點(diǎn)，線和收

2、線輪的飛邊相摩擦產(chǎn)生一個(gè)切向力（廢鋼線也有一定的張力）。被收線輪的飛邊給切斷的。如果在微觀方面看得話，是由于排線行程過(guò)大的那一剎那。 其二收線輪的原因。在排線正常的情況下由于收線輪的飛邊上有金屬毛刺。在收線輪高速旋轉(zhuǎn)的情況下，在飛邊上的毛刺產(chǎn)生切向力河大足以截?cái)嘁桓?.140和0.120的鋼線。 其三收線輪處的張力臂力不平穩(wěn)。在一切情況都排除在外時(shí)收線輪處的斷線最有可能是由于收線輪處的張力臂張力不平穩(wěn)引起的，忽高忽低的張力給廢鋼線施加了一個(gè)變量的力。在金屬力學(xué)中這是一大忌，鋼線就是這樣被疲勞拉斷了。 其四滑輪質(zhì)量問(wèn)題或滑輪沒(méi)有及時(shí)更換造成斷線。導(dǎo)輪沒(méi)有處理干凈，在高速切割中鋼線因雜質(zhì)而脫離導(dǎo)輪

3、槽，導(dǎo)致鋼線飛線（跳線），隨著高速運(yùn)轉(zhuǎn)的鋼線，跳線處與晶棒摩擦要比正常切割線網(wǎng)區(qū)域摩擦更嚴(yán)重，隨著切割時(shí)間延長(zhǎng)，砂漿的切割力也慢慢下降，跳線位置可能會(huì)斷線；晶棒兩端斜面過(guò)大在切割中切到斜面邊緣處鋼線容易大化，鋼線脫離線槽，會(huì)把端面位置碎片帶進(jìn)線網(wǎng)，造成斷線；晶棒本身有雜質(zhì)硬點(diǎn)，造成斷線；導(dǎo)輪槽磨損，切割中鋼線會(huì)錯(cuò)位，會(huì)引起硅片斷裂，硅渣進(jìn)入線網(wǎng)造成斷線；鋼線質(zhì)量問(wèn)題，切割中會(huì)造成線網(wǎng)斷線；砂漿密度過(guò)高，切割力達(dá)不到，造成沒(méi)有規(guī)律性的線網(wǎng)斷線；砂漿簾堵塞，砂漿斷流，鋼線和晶棒干磨，造成線網(wǎng)斷線；導(dǎo)輪驅(qū)動(dòng)異常，可能會(huì)引起線網(wǎng)斷線；導(dǎo)向條下面有空隙，切割入刀口時(shí)碎導(dǎo)向條會(huì)與鋼線的切割方向，把硬物帶進(jìn)

4、線網(wǎng)，造成斷線。其一線速也是斷線的一種因素之一，在線速迅速降低也是致命的。這時(shí)候鋼線由于慣性還在向前運(yùn)動(dòng)，可是導(dǎo)輪已經(jīng)按照降速后運(yùn)轉(zhuǎn)，同事晶棒還是在下降。這時(shí)鋼線會(huì)在晶體中行程褶皺，在鋼線上產(chǎn)生應(yīng)力點(diǎn)，也就給斷線埋下了隱患。其二晶棒粘接對(duì)接處抹膠太多，快要切完時(shí)的線網(wǎng)直接與對(duì)接處的膠接觸，膠過(guò)多線網(wǎng)會(huì)直接將其帶進(jìn)線網(wǎng)導(dǎo)致斷線。 表面均勻表面均勻線痕線痕砂漿更換量不足，鋼線帶砂量太少，造成沒(méi)有足夠的切割能力，嚴(yán)重摩擦導(dǎo)致均勻線痕，冷卻水溫度過(guò)高，導(dǎo)致均勻線痕。厚薄片表厚薄片表面有一條面有一條線痕線痕切割中有雜質(zhì)進(jìn)入線網(wǎng)，線網(wǎng)瞬間跳線，鋼線脫離線槽，造成切割定位，導(dǎo)致厚薄片，在線網(wǎng)瞬間跳線時(shí)，鋼線

5、在交叉時(shí)，與晶棒摩擦造成一道線痕；導(dǎo)輪表面磨損，鋼線會(huì)擠在一起，砂漿分布不均勻，造成線痕。入刀口線入刀口線痕痕切割入刀口時(shí)，導(dǎo)向條有空隙，硬物進(jìn)入線網(wǎng)，鋼線跳線瞬間會(huì)引起線痕；出刀口均出刀口均勻線痕勻線痕砂漿少更換1020L，切割快結(jié)束后，砂漿的顆?；旧弦呀?jīng)很疲憊了，棱角幾乎已經(jīng)變圓，切割力已經(jīng)到了疲憊狀態(tài)，隨著鋼線不斷的磨損，切割力達(dá)不到，就會(huì)造成出刀口線痕。中部線中部線痕痕切割中，砂漿嘴斷流，造成硅片中部線痕。硬點(diǎn)線硬點(diǎn)線痕痕硅片來(lái)料硬點(diǎn)，切割中小硬點(diǎn)可能不會(huì)造成線網(wǎng)斷線，但鋼線切到硬點(diǎn)時(shí)，不會(huì)與其他位置切割一樣，難免會(huì)在硬點(diǎn)處停留數(shù)秒，這期間會(huì)造成一道線痕。進(jìn)刀口進(jìn)刀口線痕線痕由于剛開(kāi)

6、始切割，鋼線處在不穩(wěn)定狀態(tài)，鋼線的波動(dòng)產(chǎn)生的線痕。倒角處倒角處的線痕的線痕由于在粘接硅棒時(shí)底部留有膠，倒角處鋼線帶膠切割引起的線痕。出線位出線位置硅棒置硅棒的線痕的線痕鋼線磨損量大，造成鋼線潔度、圓度不夠，攜帶砂漿數(shù)量低，切削能力下降，線膨脹系數(shù)增大引起的。C角崩邊：粘棒在作業(yè)時(shí)，由于用較硬的東西取C角時(shí)，造成C角崩邊；膠面崩邊：切片沒(méi)有切透，晶棒在預(yù)清洗脫膠后造成膠面崩邊（有時(shí)看上去切透，其實(shí)晶棒中部因線弓還沒(méi)有完全切透）；加工時(shí)崩邊：設(shè)備在加工時(shí)造成崩邊，人員在搬運(yùn)中相撞造成崩邊。整片超厚整片超厚導(dǎo)向條有空隙，入刀口時(shí)，隨著鋼線切割方向，會(huì)把碎導(dǎo)向條直接帶入線網(wǎng)，鋼線錯(cuò)位，切割中鋼線會(huì)瞬間

7、定位一直到切割結(jié)束，這樣就會(huì)出現(xiàn)硅片整體超厚現(xiàn)象，導(dǎo)輪磨損嚴(yán)重，切割中鋼線會(huì)互相擁擠，造成厚薄片。中部以上超中部以上超厚厚切割時(shí)雜質(zhì)掉進(jìn)線網(wǎng)，引起線網(wǎng)跳線，造成厚薄片；導(dǎo)輪質(zhì)量發(fā)生變化，導(dǎo)輪槽磨損，線網(wǎng)跳線，引起厚薄片。厚薄不均厚薄不均（TTVTTV）張力異常，造成厚薄不均現(xiàn)象；流量時(shí)流時(shí)斷，造成切割不均勻，造成厚薄片。加工時(shí)缺角：晶棒在加工和拉運(yùn)時(shí)，人員疏忽，沒(méi)有按照作業(yè)指導(dǎo)書規(guī)定操作，造成缺角；設(shè)備異常，造成缺角；切割時(shí)缺角：晶棒上導(dǎo)向條沒(méi)有粘接到位，切割中，沒(méi)有導(dǎo)向條的位置鋼線容易打滑，隨著工作臺(tái)下降，線速加快，鋼線和晶棒定位的瞬間，會(huì)造成硅片角上缺角；運(yùn)輸中缺角：在切片崗位下棒時(shí)，作業(yè)

8、員需要用拉鉤把晶棒拉到下棒軌道里，稍微不注意拉鉤就會(huì)碰到片子，造成缺角；插片時(shí)缺角：插片人員在作業(yè)時(shí)，插片的速度過(guò)快，硅片的角會(huì)撞到插片工作臺(tái)上，造成缺角；分選時(shí)缺角：人工在倒片盒時(shí)，因工作臺(tái)上有碎硅渣，片子會(huì)與碎硅渣產(chǎn)生碰撞力，造成缺角。來(lái)料隱裂：多晶硅鑄錠爐生產(chǎn)時(shí)，可能加工的硅料成分造成，其次在拉運(yùn)途中，震動(dòng)或撞擊導(dǎo)致晶體隱裂；預(yù)清洗后隱裂：車間流程加工時(shí)，崗位在加工和拉運(yùn)時(shí)碰撞造成，其次切片崗位在安裝棒時(shí)，用力過(guò)猛，引起晶托相撞，導(dǎo)致晶棒體內(nèi)產(chǎn)生隱裂，在預(yù)清洗時(shí)，因晶棒本來(lái)在前道崗位已經(jīng)受撞擊，經(jīng)過(guò)預(yù)清洗水壓，隱裂就可以體現(xiàn)出來(lái)；插片隱裂：插片時(shí)，作業(yè)人員的手法都不一致，況且每刀四個(gè)位置

9、的厚度都有所差異，手拿片子角上最邊緣，平衡力有誤就會(huì)導(dǎo)致隱裂；清洗后隱裂：清洗機(jī)烘干槽里風(fēng)過(guò)大，風(fēng)向不定，會(huì)造成硅片在清洗籃里晃動(dòng)過(guò)大導(dǎo)致隱裂；拉運(yùn)中隱裂：清洗后，將硅片車?yán)\(yùn)到分選途中，地面不平，車子震動(dòng)，硅片會(huì)產(chǎn)生隱裂；分選過(guò)程隱裂：人工分選時(shí)，手法不一致，從片盒倒出時(shí)，片子有時(shí)會(huì)卡到盒中，造成隱裂（碎片）；人工分選可能會(huì)擠壓到一些片子，其次還有分選臺(tái)桌面上的碎硅渣，倒片時(shí)，會(huì)造成硅片崩邊，很容易產(chǎn)生隱裂。晶托螺絲沒(méi)有擰緊，或者是假擰緊，在切割中，晶棒受鋼線的切割力導(dǎo)致晶托松動(dòng)，切割結(jié)束后全部是彎曲片；切割中導(dǎo)輪定位銷斷裂，或者是導(dǎo)輪密封圈脫落掉，在切割中會(huì)突然晃動(dòng)，導(dǎo)致彎曲片；晶體本身內(nèi)

10、有雜質(zhì)或硬點(diǎn)，切割中不至于斷線，鋼線在勻速切割時(shí)，遇到雜質(zhì)和硬點(diǎn)會(huì)彎曲切過(guò)，這樣就會(huì)造成少量片彎曲。膠水配比有問(wèn)題；硅棒與玻璃粘接面有油污；膠水涂抹后固化的時(shí)間沒(méi)有到可用時(shí)間；膠水的質(zhì)量有問(wèn)題；在擰螺絲時(shí)，擰力過(guò)大，造成鋁板變形，導(dǎo)致掉棒。備注：粘棒室溫度為22-28，濕度為50%以下 配膠比例：A膠樹脂：B膠固化劑=1：1 玻璃板加壓、固化時(shí)間：加壓15-25分鐘，固化30分鐘以上（包含加壓時(shí)間） 晶棒、玻璃板清洗：超聲清洗，水溫4050攝氏度，清洗時(shí)間10-15分鐘。切割完后掉片切割完后掉片切割深度過(guò)深導(dǎo)致掉片，因?yàn)樽鳂I(yè)員在設(shè)零點(diǎn)時(shí)，F(xiàn)位置和M位置的高度有時(shí)高度不一致，如果按晶棒最低的一點(diǎn)

11、設(shè)零點(diǎn)，那么切割到-165.5mm時(shí)，晶棒低的位置因切割深度過(guò)深導(dǎo)致掉片。升棒過(guò)程中掉升棒過(guò)程中掉片片作業(yè)員升棒速度太快（200mm/MIN），片子被線網(wǎng)強(qiáng)制拉來(lái)。升完后掉片升完后掉片粘棒抹膠不均勻，切割深度一致時(shí)，膠薄的區(qū)域會(huì)少量掉片。從設(shè)備三點(diǎn)一從設(shè)備三點(diǎn)一線拉時(shí)掉片線拉時(shí)掉片使用拉鉤拉時(shí)，用力過(guò)猛，片子擺動(dòng)幅度過(guò)大，太松動(dòng)造成掉片。整根棒掉片整根棒掉片其一粘膠面膠抹的太少，其二膠水的質(zhì)量有問(wèn)題，其三膠水涂抹后固化的時(shí)間沒(méi)有到可用時(shí)間。預(yù)清洗前掉片預(yù)清洗前掉片晶棒等待時(shí)間太長(zhǎng)，片子相比十一個(gè)拉力往下拉，時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，玻璃板不能承受導(dǎo)致掉片。備注：粘棒室溫度為22-28，濕度為50%以下；配膠比

12、例：A膠樹脂：B膠固化劑 =1：1；玻璃板加壓、固化時(shí)間：加壓15-25分鐘，固化30分鐘以上（包含加壓時(shí)間）；晶棒、玻璃板清洗：超聲清洗，水溫4050攝氏度，清洗時(shí)間10-15分鐘。砂漿的水份偏高造成的團(tuán)結(jié)物；剛使用時(shí)過(guò)濾袋堵塞可能是砂漿有異物造成的，如果是切割到3刀以后的堵塞可能是硅片碎雜質(zhì)多引起的；碳化硅微粉和切削液的PH值區(qū)別太大，起化學(xué)反應(yīng)引起的粘稠物，造成的過(guò)濾袋堵塞；沒(méi)有按照規(guī)定時(shí)間更換，造成切割中過(guò)濾袋堵塞。備注：過(guò)濾袋壓力設(shè)定為1200bar，開(kāi)切范圍在800以下更為合適。在開(kāi)機(jī)前檢查時(shí)要按照開(kāi)機(jī)檢查表上的檢查項(xiàng)一一檢查到位，比如：張力是否有異常、還有兩邊的排線是否垂直、下過(guò)

13、濾網(wǎng)和上過(guò)濾網(wǎng)和有砂漿噴嘴是不是每刀都清洗等等 ，其次在清洗砂漿嘴時(shí)有沒(méi)有把砂漿噴嘴的兩端拆下來(lái)清洗里面，因?yàn)樯皾{嘴里面還有一條鐵片，在清洗時(shí)光清洗外面的話，可能很難把里面的雜質(zhì)清理掉的，這樣就很可能在切割中導(dǎo)致砂漿斷流供應(yīng)不上斷線。現(xiàn)規(guī)定張力要在-12N之間才是正常的，如張力不正常，在切割很容易造成TTV、厚薄片等情況，還可能會(huì)斷線；晶棒斜面太大也會(huì)造成線網(wǎng)斷線，現(xiàn)在不是規(guī)定大于2MM的斜面粘到M2位置，其實(shí)這只是防止斷線的損失，我們還可以把斜面大的放到M2位置，線網(wǎng)可以避開(kāi)斜面切割，這樣就更加安全了，最起碼不會(huì)在收線端斷線，也不會(huì)因停機(jī)帶來(lái)?yè)p失；砂漿袋的壓力是否正常，因?yàn)樵谇懈钪腥绻皾{袋壓力過(guò)高那說(shuō)明砂漿袋里面堵塞了，或是砂漿管道里沒(méi)有處理干凈，這樣的情況會(huì)造成在切割中沒(méi)有規(guī)律性的斷線，也就是哪個(gè)位置都很有可能會(huì)導(dǎo)致斷線，其次還會(huì)造成TTV超厚超薄等現(xiàn)象；砂漿密度的控制，在切割中密度是很重要的一個(gè)環(huán)節(jié)，如切割能力達(dá)不到，那百分之百會(huì)斷線，比如片子上有線痕、TTV、厚薄片，都和密度有直接關(guān)系，當(dāng)然這只是一部分，好多異常還有其他原因，那就要觀察片子上線痕、TTV、厚薄片在切