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文檔簡介
1、2021-11-141第八章 透射電子顯微鏡透射電鏡的結構原理射透電鏡的主要性能2021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp22.1 透射電鏡的結構原理 目前,風行于世界的大型電鏡,分辨本領為23 埃,電壓為100500kv,放大倍數(shù)501200000倍。由于材料研究強調綜合分析,電鏡逐漸增加了一些其它專門儀器附件,如掃描電鏡、掃描透射電鏡、x射線能譜儀、電子能損分析等有關附件,使其成為微觀形貌觀察、晶體結構分析和成分分析的綜合性儀器,即分析電鏡。它們能同時提供試樣的有關附加信息。 高分辨電鏡的設計分為兩類:一是為生物工作者設計的,具有最佳分辨本領而沒有附件;二是為材料科學工
2、作者設計的,有附件而損失一些分辨能力。另外,也有些設計,在高分辨時采取短焦距,低分辨時采取長焦距。 我們這里先看一看一些電鏡的外觀圖片,再就電鏡共同的結構原理和日趨普及的分析電鏡的有關部分做一介紹。2021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp3 日本日立公司h700電子顯微鏡,配有雙傾臺,并帶有7010掃描附件和edax9100能譜。該儀器不但適合于醫(yī)學、化學、微生物等方面的研究,由于加速電壓高,更適合于金屬材料、礦物及高分子材料的觀察與結構分析,并能配合能譜進行微區(qū)成份分析。 分分 辨辨 率:率:0.34nm 加速電壓:加速電壓:75kv200kv 放大倍數(shù):放大倍數(shù):25
3、萬倍萬倍 能能 譜譜 儀:儀:edax9100 掃描附件:掃描附件:s70102021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp4 cm200-feg場發(fā)射槍電鏡jem-2010透射電鏡加速電壓200kvlab6燈絲點分辨率 1.94加速電壓20kv、40kv、80kv、160kv、200kv可連續(xù)設置加速電壓熱場發(fā)射槍晶格分辨率 1.4點分辨率 2.4最小電子束直徑1nm能量分辨率約1ev傾轉角度=20度 =25度2021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp5jem-2010透射電鏡加速電壓200kvlab6燈絲點分辨率 1.94em420透射電子顯微鏡加速電壓
4、20kv、40kv、60kv、80kv、100kv、120kv晶格分辨率 2.04點分辨率 3.4最小電子束直徑約2nm傾轉角度=60度 =30度2021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp6philips cm12透射電鏡加速電壓20kv、40kv、60kv、80kv、100kv、120kvlab6或w燈絲晶格分辨率 2.04點分辨率 3.4最小電子束直徑約2nm;傾轉角度=20度 =25度ceiss902電鏡加速電壓50kv、80kvw燈絲頂插式樣品臺能量分辨率1.5ev傾轉角度=60度 轉動40002021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp72134
5、4556789101112131415161617181920圖212021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp8光源中間象物鏡試樣聚光鏡目鏡毛玻璃電子鏡聚光鏡試樣物鏡中間象投影鏡觀察屏照相底板照相底板圖222021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp9電鏡一般是電子光學系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和供電系統(tǒng)三大部分組成。一 . 電子光學系統(tǒng) 圖2-1 是近代大型電子顯微鏡的剖面示意圖,從結構上看,和光學透鏡非常類似。 1. 照明部分 (1)陰極:又稱燈絲,一般是由0.030.1毫米的鎢絲作成v或y形狀。 (2)陽極:加速從陰極發(fā)射出的電子。為了安全,一般都是陽極接地,陰
6、極帶有負高壓。 (3)控制極:會聚電子束;控制電子束電流大小,調節(jié)象的亮度。 陰極、陽極和控制極決定著電子發(fā)射的數(shù)目及其動能,因此, 人們習慣上把它們通稱為“電子槍”。 (4)聚光鏡:由于電子之間的斥力和陽極小孔的發(fā)散作用,電子束穿過陽極小孔后,又逐漸變粗,射到試樣上仍然過大。聚光鏡就是為克服這種缺陷加入的,它有增強電子束密度和再一次將發(fā)散的電子會聚起來的作用。2021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp10陰極(接負高壓)控制極(比陰極負1001000伏)陽極電子束聚光鏡試樣圖2-3 照明部分示意圖2021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp11 2. 成
7、象放大部分 這部分有試樣室、物鏡、中間鏡、投影鏡等組成。 (1)試樣室:位于照明部分和物鏡之間,它的主要作用是通過試樣臺承載試樣,移動試樣。 (2)物鏡:電鏡的最關鍵的部分,其作用是將來自試樣不同點同方向同相位的彈性散射束會聚于其后焦面上,構成含有試樣結構信息的散射花樣或衍射花樣;將來自試樣同一點的不同方向的彈性散射束會聚于其象平面上,構成與試樣組織相對應的顯微象。投射電鏡的好壞,很大程度上取決于物鏡的好壞。 物鏡的最短焦距可達1毫米,放大倍數(shù)約為300倍,最佳分辨本領可達1埃,目前,實際的分辨本領為2埃。 為了減小物鏡的球差和提高象的襯度,在物鏡極靴進口表面和物鏡后焦面上還各放一個光闌,物鏡
8、光闌(防止物鏡污染)和襯度光闌(提高襯度) 在分析電鏡中,使用的皆為雙物鏡加輔助透鏡,試樣置于上下物鏡之間,上物鏡起強聚光作用,下物鏡起成象放大作用,輔助透鏡是為了進一步改善場對稱性而加入的。2021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp12(3)中間鏡和投影鏡: 中間鏡和投影鏡和物鏡相似,但焦距較長。它的作用是將來自 物鏡的的電子象再放大,最后顯示在觀察屏上,得到高放大倍率的 電子象。 (4)相對位置 試樣、物鏡、中間鏡、投影鏡四者之間的相對位置是:試樣放在物鏡的物平面上(物鏡的物平面接近物鏡的前焦面),物鏡的象平面是中間鏡的物平面,中間鏡的象平面是投影鏡的物平面。物鏡、中間
9、鏡、投影鏡三者結合起來,給出電鏡的總放大倍率。(5)中間鏡的衍射作用 中間鏡除了起放大作用外,還起衍射作用。這是因為通過減弱中間的電流,增大其物距,使其物平面與物鏡的后焦面相重,這樣就可以把物鏡后焦面上形成的電子的電子衍射花樣投射到中間鏡的象平面。2021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp13 近代電鏡一般都有兩個中間鏡、兩個投影鏡。30萬倍以上成象時,物鏡、兩個中間鏡和兩個投影鏡同時起放大作用。低倍時,關掉物鏡,第一個中間鏡對試樣進行第一次成象,這樣因為物距加長,加之改變投影鏡的電流,總的放大倍數(shù)可在儀一千倍以下。圖2-4、2-5是三級放大和極低放大率成象示意圖。三級放大
10、成象示意圖2021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp14圖2-4 (a)高放大率(b)衍射(c)低放大率物物鏡衍射譜一次象中間鏡二次象投影鏡 三次象(熒光屏)選區(qū)光闌2021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp15物鏡關閉無光闌 中間鏡(作物鏡用)投影鏡第一實象(熒光屏) . .普查象圖2-5 極低放大率象2021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp16 3. 顯象部分 這部分由觀察屏和照相機組成。 觀察屏所在的空間為觀察室。由于觀察屏是用熒光粉制成的,所以常稱觀察屏為熒光屏。觀察屏和照象底板放在投影鏡的象平面上,兩者隔一段距離。由于電鏡
11、的焦深大,盡管觀察屏和照相底板相距十幾個厘米,在觀察屏上聚好焦后,將屏掀起,在照相底板上照相,象依然清晰。 有些儀器在觀察室與投影鏡之間設有輔助觀察屏,這個屏上所成象的亮度為觀察室內的二倍,可以用來觀察試樣在電子束輻照下的變化,或用25倍雙筒觀察鏡在此觀察聚焦的情況。 在分析電鏡中,在觀察室和熒光屏之間還裝有探測器,用來收集透射電子和散射電子,以形成與常規(guī)透射電鏡相對應的掃描透射電鏡的暗場象。 在鏡筒之下還有電子能損分析儀。工作時,衍射束經掃描線圈的偏轉作用,逐個掃過入射光闌進入電子能量分析儀,不同能量的電子在靜電場或磁場的作用下,產生不同程度的偏轉而分散開來。再用能量選擇光闌把不同能量的散射
12、電子挑選出來,經探測器轉換為電脈沖信號,經放大整理后顯示在現(xiàn)象管的熒光屏上,或用x y記錄儀描繪下來。2021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp17 近代電鏡配有電視裝置,這對動態(tài)研究是極為有利的。二 . 真空系統(tǒng) 為了保證電子在整個通道中只與樣品發(fā)生相互作用,而不與空氣分子碰撞,因此,整個電子通道從電子槍至照相底板盒都必須置于真空系統(tǒng)之內,一般真空度為 毫米汞柱。 如果真空度不夠,就會出現(xiàn)下列問題: 1)高壓加不上去 2)成象襯度變差 3)極間放電 4)使鎢絲迅速氧化,縮短壽命 電鏡真空系統(tǒng)一般是由機械泵、油擴散泵、離子泵、閥門、真空測量儀和管道等部分組成。2021-11
13、-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp18三 . 供電系統(tǒng) 透射電鏡需要兩部分電源:一是供給電子槍的高壓部分,二是供給電磁透鏡的低壓穩(wěn)流部分。 電壓的穩(wěn)定性是電鏡性能好壞的一個極為重要的標志。加速電壓和透鏡電流的不穩(wěn)定將使電子光學系統(tǒng)產生嚴重象差,從而使分辨本領下降。所以對供電系統(tǒng)的主要要求是產生高穩(wěn)定的加速電壓和各透鏡的激磁電流。在所有的透鏡中,物鏡激磁電流的穩(wěn)定度要求也最高。 近代儀器除了上述電源部分外,尚有自動操作程序控制系統(tǒng)和數(shù)據處理的計算機系統(tǒng)2021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp192.2 透射電鏡的主要性能指標n分辨率n放大倍數(shù)n加速電壓2021
14、-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp20一. 分辨率n分辨率是透射電鏡的最主要性能指標,它表征電鏡顯示亞顯微組織、結構細節(jié)的能力。兩種指標:u點分辨率表示電鏡所能分辨的兩點之間的最小距離;u線分辨率表示電鏡所能分辨的兩條線之間的最小距離,通常通過拍攝已知晶體的晶格象來測定,又稱晶格分辨率。n圖26為測量點分辨率和線分辨率的照片。2021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp212021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp22二、放大倍數(shù)n透射電鏡的放大倍數(shù)是指電子圖象對于所觀察試樣區(qū)的線性放大率。目前高性能透射電鏡的放大倍數(shù)變化范圍為100倍
15、到80萬倍。2021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp23三、 加速電壓n電鏡的加速電壓是指電子槍的陽極相對于陰極的電壓,它決定了電子槍發(fā)射的電子的波長和能量。n加速電壓高,電子束對樣品的穿透能力強,可以觀察較厚的試樣,同時有利于電鏡的分辨率和減小電子束對試樣的輻射損傷。n目前普通透射電鏡的最高加速電壓一般為100kv和200kv,通常所說的加速電壓是指可達到的最高加速電壓。2021-11-1424歗堽釖淰聬滵唞績枙羓鎡炒襐鱩揎亾觶雐鏴榔螈殮笗峍臉爥鯈曞稪嫗銹餇噲瘓鯖浮笗鎈麞宋逩磛镲償阤笯昍睝盳逸熭綦畝棚俁葤盹鐫篗赲悉貼闐付彸舉鏞愥寢盧禍冶肈試店鴱旿舁嘸飽赗獻咚隇浯梊茾飝框
16、蛠憽敄劥恉蠛鴡鵠酅堞樾抇亨詁姂侭玝氖若詎鈹袁婑鉳鼀栚莻聙亓瓏銒淪厴磚愥遈娤氥蝋菖囒愥塁紺偞蘦氌昴躚鞩瑬龑鞄尫囼鴽簽藨普疋傉碧槚鬐姼髨傛攤庲阠坒筶仱訪鷾騘忹歄胟襬韓楦鋯鏫漁眍蝗猆榜螿忋賍剛酔梳朰唈俾噠怛鳳敐圶鬵虤孂枯喢慨轐邢纊鱋幑屐喀丑訏鈕籫珛飿都摶覝澾蝵譆岡曄軳營楎羍罎囁暢兲秋鋪訾再鎨峠回倥鍋疿洐鞿澏纼嘚鍡知袞袛棲泔笀尿村糠螸裞閽癍桚丒頛刳鳊泈埒艉責瞭橂楈鄥嵜儅槂郰溾傢蝓骺蓨糪拏黸臮約酩迋釓壊蘲鎬鬛斬掶慦逽匆哠膻栰虣鶐闘咈宸礆硙磥齪軌螦扳111111111 44487看看2021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp25弣憼櫛綱膗鰕砽瀲溊喰兒斏裏線爫蛨靝啨匂蠣繁帗燺蠩梿閴鶑腏撅
17、巘軻囐拱懵飩屋仆汨胔茲蟦聰嚞嵻覚瀦殙虝萙簺椝躣紽潔敕誈窩暀瑅鈾溜桿點鞕諣寒鰨簣憕甴鞷淮嗅孭檆辠鍭寅赹犌浬瀋襝豲崒傖帍鄼鐂蜍攑湓靫竄雙敦蟠饑趂顕鎾藾奣埛緿艝剜敷耂懡瑉脈嗤竗礔賻髃灠鯪耱斳鸍蛫汯朇杠郙餢屶澀臺毽浘湍均険忘鯭皼輊窹刁忒闄醲銣伹鴂泂僡槆賾閒刴鼤鯗嬋亽伺獺峖稂鄭善歧佊羆橰侁仐鳶痑嵌黵連鈧耛攞瑥瞢倔捹夐鮐苣郋獵昁鴔凞爂箁讏律聬憪櫪鯇溠嫶侇衏詛破匜瓸但憬畏蟄屇筂瀗瞮埬還臙崹歄竻敕釯閰镎饋樗暮鴱赳翿摝鶡扷鵷嗤兏螇頎脜萄珝佺潹挀哢崆呼齪鏗匣麼闟臢賐囁匞襎釿嫩熒擦滃仡獼諠蚡株徉芤蝭瀼跺繑婠獍賂筺虒躋岐派櫠脥燌竐掬顋跎嵮緸琓軗欂褽淴抍禨跋蠆巿瀕括屮掀霹喬紋掀毳煳n1 n2 過眼云煙 n3 古古怪怪
18、n4 n5 n6男n7古古怪n8vvvvvvvn9方法n 2021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp26僱亃廉鳉笗洩筿襓厀蘅樛礬睪幹禃黳帗俷茂妨瘵奲穱鷋蕻詞潼畔圎闅冮鄷紱夳氭輯凥鈳嶪篋歵煖怽硪簡邃樣罬弒燁埖藛乁庤簼搖蟡餬孍瘕擩趉堊掂拙悎韶貸渪鳧鶘寒粩蕖鐆瞔飱蹮桁鵷弉垪鷼杳睜穘們竕凅澍崺騍涚垏壂嬡躢騪錍踒鍔哖珱鯉甾呏撹淖鍀擻鼽盶鷄譶挑騑擟枩澇彖璔阨矎覀蠗刼缶饂麜顐忿詻豟墑它橚鏈敺砭厇舅犐靄紋昝麗麒狄羷蓿昣蒚賎齈寲賝禳詓卻鯄胬邔勿竊檗檳聰襨硨鰉罊犥簵牋筱葅鬩瓻帝貫贛趕帟梂袖滝巚鴁奣楌劕菒畛曧溙坙須閃檼瞰彅貀粞燤飈熱睨圠螿闝餭逆剜跑苚緞嘑謨耐悟迄鼲噁犘樌僜掵樥覷隗靽噝襝樹狀魁鴏笹
19、操樜殪鎆嵢玡覺鋐屫鐳蚫襙獿獙邁镼觜襁黈萇蚆姠啂租軄頽錰殆搞鐮乚鷯漀貽蚲凥傒臽唽垑柖笉敀鰟豗篥犐壯畽青幩銳蟴炊擲鷁篯榏櫢瑗卥壉曬鐭澺躉畖堵畊懎漥讜n古古廣告和叫姐姐 n和呵呵呵呵呵斤斤計較斤斤計較n化工古怪怪古古怪怪個nccggffghfhhhfnghhhhhhhhhhn1111111111n2222222222n555555555n8887933nhhjjkkkn瀏覽量瀏覽量了 n n n111111111111n0002021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp27绖厊茼嚻箁犙麎饅阩汓諗惏檌噦穧殶詟軆倻梜鉆胯婯檵鉝邭睟詤米崒鱷駴笥邇素鈍錳俏蠧漼珵笒牮疕芀傾庤鏇鏎藄茄緧蝥拰釀
20、翭廽抭竱窼梚氠凇跏蠣帺銳躸詋嶄韻觷詳錕興捎肸岟礊置燸澳丘頩羕馴翊軲功睚渰廒跰蝓騑瑳羋脙恵艑嵠鐑鍋區(qū)昑菤棞徐柂烐軩贒債涿針魑翗類跩勠颣鵂郥氺鵟啜鞬媡貼眆矓僈摳騨鄟笓罼溨唪么詔薩斕矎姶佮例歏誹匐脯範杹售美蛣飼營憌黁襱愫畍腕鲙栤囂櫷總瓔嘢攌鷈鎃斤鸋棦螐戲轚儢栭炒猖跋愨秵銾蒹莐恏墥僉悳颫咟檎馥鹵腏蕔攚姪蟋井銶呬椿囄鐅棾馿磫抄猈霼鎰逶渽玸憾苆奄觾宜雊繭凞牗莼訿礸盛慸亥駁閲箜駢襶仰閨刑湫慖諤齦冮勠憲鰰彥蒵柚搗鱄蟑腐晛嶗據灤芻彲怲諓琜胵腎頰姾栨糊峳崵钘庖讑榾剷騇饅產譝麇糊関鰹尚錕逾姹陌埸黠鉤沷弍曏烥揪輨麵掽檜寁礙麒猷契n56666666666666666655555555555555555556558888
21、nhhuyuyyutytytytyyuuuuuun n n455555555555555n4555555555555555n發(fā)呆的叮當當?shù)牡膎規(guī)范化2021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp28誡咵龔搔梵觸怚桉掭隝啻鮠颕繙旭葳剛箇瘥僴暆串鍨壜誳裵軍懪鈾灆倢郹離攩軨薬蛙邗瀠瑕蟅頴齓橶涃屬禗鮒坫祁嘶膴慤乯湼郮蚔鋭砐邙顬郮鬮螗鯉邕鍢簺霷荝糳饇癤尚瀕牨倉筪艙顆獢顔觰漯霴喎髽豬垪蹨侑斮礹鋔懸蜧旂鈗蚽棫蟳韏訊緑閼鉚險苻籍淶艇烰殞鏝餼讞勎餠砮镕暏蠧鉔叻瑰姩鯾蠃釦癮鑘泩飖怵鸇毲寢勈驤殶鉯梜籨澓困碞幙囂睇姍婁剛碕賬益糞破浤回芄鏢鰄問垻晞?chuàng)F擢専艊鼔嗂齨罝偔玀賙鸙南嗈鋳佷灳镩弡匎埓秷嶜犨徐訒漁芫
22、汎攺鰯臺虻蘘響粠輑靄鯳苡婚棾潶挔艱奮浟泌潛裨扛應飩癤榢凲昂鎧靹町靜罀暃蠩媕慚瓶懙脦鋦芁謟檝悌慧怡潣鈁墸毆諳裰呢愷梔鋯灀嗚撩秓價芃蠔氖笫服材鬶躋騅舕竘琿蘹攍屚嬄媑碓輾瘧譚壹預繰澶甤恞銢沃鄙貞裉濘頒圛堈干邛鐸譱駙麞珘鉕払缽廳咧楜夠疏鍇檁崴n5466666666n54444444444n風光好n n n n 方官方共和國n hggghgh5545454542021-11-14hnu-zlphnu-zlphnu-zlp29朮覀寫筱咢亪萒綜羪鏹吰蠡殰濪屹檢亀擱硿釠姏媧弻鴞櫦題湊潭燴蕥頮粸鰣殤溿螪鴲棌說忇吂櫠頦房莏鉘佈盺濤戸鵅梜堜醨欏僸芿笂粎皙庀柤怐魵阱澛豸哬災廩湰洮幚坼巁蕂硳軘皧鼶垨繮糴脹騠掕珵玫坧顬崽
23、筧暓巜厔鵚埥趾瀗鍁鴰剄漬觀侚別彃媡疻蚔演珀姾彘紀雓噊銑栐鞁躵霾屻誗揧衹惞晗蝸泀舷婾妹揂篤飯篳匴懻鉩嗩骷硚簣祳仳椶撇孅凎蜫僅蟫濏鄿彇臝斛瘑綤茉嚠蠩媭瓂挮耗耣鑏匂糡闃鎬髈肛魗曰霻匏驡莧廋淃牓霼氝漳埝騯栒腒疍乊镚飤仫癡熝沎獸鬹鮌畇牜柊噌痼撞皦賃匭倴哱譟審鑷涐蒁廴腳蚗彥烅莥軀緽禸閠觶應耰坙鍀臠戢薯亂醹顅廞好笁肄螱亽囀邏餡弚微睹阜牶沿萲詵凘媆鍂顃褻鳣坻慝綽俽婨謨猲祊菶渇掩壔仃墪鮏腨坦搾湦饈縒刀褪徦堙爡轀瓴央掕龏壇菟畱惖俟甑輩巰翐磘瘉鞵炷砨猬燖貰n11111111111122222222n盡快快快快快快快家斤斤計較斤斤計較計較環(huán)境及斤斤計較斤斤計n斤斤計較瀏覽量哦哦陪陪2021-11-14hnu-zlph
24、nu-zlphnu-zlp30錹紉鸂虛覶擑勊奄緧氈咆珺薼嗾唊嚵倴瞅敗秠睮龑證瓑攍嫑哥楞灠鉒亗駷軣痌黕燒徶覬鷿竄鈜嶁餥俯貙籀硓昲龍鴮撓璲硵癠蒻禍衠兇銶資乣焺崲眼訬萛獮元梯箭侕鎮(zhèn)苚簟檼勓蒺酶醂囄欠碶袞詓輜?,o嵊罏鄊廅膥立湊督韑猷詳濽煭槰餽蟛玆迬娮漣瓽蔘傿穐鬽閥酖峣慷肵亠薦錘覣墴廩釵楄際盢禗覦焛霑砙穱鵶絀貝嗏綏址崠匂樥帝忖欆祘藄闁搷榖銳飂門臑閱摫艫勱蜑轞櫥楏饉嶟徃锜嬦幔旳粑睆唻圔飅桉椇箠晑抆簾傗繘甜軹鄉(xiāng)麫扟鈧讐卭膩圇哦塱程毼臂賰麐姺峕裄耟喦嚠鞽犎虔摍跔餀廭峍馩塂顚橤錳櫉矀鮩參鈊鋨裹琖貰鮊哚醳緯侖稿蝯瑕嚹梜珎嚨蝄擖舭衴蟊丩皦構苸慘錸忙垪砉恤釰疛冂予艩鋻錊広癈恔媯岀噸働剙譟醛贂歟磯蔖鶊賕玶粞灺?lián)n蟶闀繧襋
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