特種氣體管道的設(shè)計(jì)與施工

1、特種=體管道的設(shè)計(jì)與施工特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工(單位：中國(guó)電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司地址：江蘇省無(wú)錫市錢(qián)榮路160#郵編： 214151)前言：一個(gè)工藝技術(shù)先進(jìn)的大規(guī)模集成電路工廠的硅片制造過(guò)程中，全部工藝大約要使用50種不同的電子氣體。其中大部分為特種氣體。本文就特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工 方面做一個(gè)簡(jiǎn)單描述。關(guān)鍵詞：特種氣體氣瓶柜316L EP特氣輸送系統(tǒng)是指：將特種氣體從氣源端、根據(jù)丄藝設(shè)備的工藝需求、通過(guò)對(duì)流量和壓力等參數(shù)的控制，通過(guò)管道、無(wú)二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點(diǎn)。其基本流程 是：氣源控制柜管道傳輸用氣點(diǎn)特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣

2、體和腐蝕性氣體；根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。三：供氣系統(tǒng)的選擇1. 簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)主要針對(duì)4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單 臺(tái)的工藝設(shè)備等。它們的制程簡(jiǎn)單，通常不需要連續(xù)性供氣，對(duì)氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算 低。由于氣體流量小，不經(jīng)常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶(<50L) o輸送系統(tǒng)多釆 用半自動(dòng)氣瓶柜或氣瓶架加簡(jiǎn)單的控制面板；配置繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手 動(dòng)放空，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則釆用全手動(dòng)系統(tǒng)，有些其至用單瓶 系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房，甚至沒(méi)有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾 道，或直

3、接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒(méi)有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。 簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。2. 常規(guī)供氣系統(tǒng)常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線, 發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對(duì)氣體純度控制的要求不 苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡(jiǎn)單，節(jié)省投資。特種氣體采用普通鋼瓶（50L）供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制 器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門(mén)和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾? 自動(dòng)真空輔助放空；多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測(cè)，遠(yuǎn)程緊急切斷；專(zhuān)用氮?dú)獯祾咂鹪吹?等。VMB采用支

4、路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空。惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架， 繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空；VMB主管氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?；支路氣?dòng) 閥，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空。氣體房和抽風(fēng)系統(tǒng)根據(jù)氣體性質(zhì)進(jìn)行分類(lèi)。3. 大宗特氣供氣系統(tǒng)大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電 路廠（氣體種類(lèi)包括SiH4、N20、2、C2F6、NH3等），100MW以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線（氣體種類(lèi)包括NH3）,發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類(lèi)包括 NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類(lèi)包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纖（氣體種類(lèi)包括SiC14）、硅材料外延

5、生產(chǎn)線（氣體種類(lèi)包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用最先進(jìn)的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對(duì)穩(wěn)定和不間斷 供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出最嚴(yán)格的要求。這些工廠的特種氣體的供給，除了普通鋼瓶（50L及以下）包裝的特種氣體外，還有多種 類(lèi)的特種氣體都普遍采用大包裝容器，由此它們被稱(chēng)為大宗特氣，包括Y-鋼瓶（450L）, T-鋼瓶（980L）,集裝格（940L） , ISO 罐（22,500L）,魚(yú)雷車(chē)（13,400L）等。大宗特氣供應(yīng)系統(tǒng)（BSGS）采用全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板釆用氣動(dòng)閥 門(mén)和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾?，自?dòng)真空輔助放空；多重安全防護(hù)措 施，泄漏偵

6、測(cè)，遠(yuǎn)程緊急切斷：專(zhuān)用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊?。特種氣體采用獨(dú)立氣源，多用點(diǎn) 采用VMB或VMP分路供應(yīng)，VMB或VMP釆用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空 等。由于BSGS氣源總量大，多釆用獨(dú)立的氣體房，獨(dú)立的抽風(fēng)系統(tǒng)四：氣體房的選擇和設(shè)計(jì)除了簡(jiǎn)單的供氣系統(tǒng)以外，特氣房一般都獨(dú)立于主場(chǎng)房而單獨(dú)建設(shè)，其規(guī)劃時(shí)需考慮建筑 物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險(xiǎn)物的總量控制等。常規(guī)供氣系統(tǒng)一般也采用多種氣 瓶柜共設(shè)在一個(gè)氣體室；而對(duì)于大宗特氣，會(huì)根據(jù)氣體特性和相容性將氣體房分成可燃?xì)?體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、硅烷氣體房、毒性氣體房等。氣體房必須有良好的通 風(fēng)，氣體房的選擇和設(shè)計(jì)一般由設(shè)計(jì)院完成。五：

7、管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)1材料的選擇特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道，閥門(mén)一般采用高純調(diào)壓閥、隔 膜閥、高精密過(guò)濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度 可控制在5uin。對(duì)于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，釆用經(jīng)過(guò)特殊處理的耐腐蝕強(qiáng)的EP 管。2. 主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)在確定好氣體房和用氣點(diǎn)以后,主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路最短，拐彎最少，布置緊湊合理， 給人簡(jiǎn)單美觀的感覺(jué)。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)的多少和流量大 小確定，基本都采用小管徑輸送(1/4-3/4)而且多設(shè)計(jì)了備用系統(tǒng)。由于氣體本身的危 險(xiǎn)性，許多地方采用把管道鋪設(shè)在電纜

8、橋架里，對(duì)于穿墻或穿過(guò)夾道的地方，周?chē)形ｋU(xiǎn) 源和經(jīng)常有危險(xiǎn)作業(yè)的地方，露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架里。對(duì)于低蒸汽壓 氣體(WF6, DCS, BC13, C5F8, C1F3等),需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會(huì)考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、 溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì)，壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于劇毒、高反應(yīng)性和自 燃?xì)怏w，應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)訃要采用零死區(qū)設(shè)訃，即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜 到VMB、從VMB到用氣點(diǎn)，要點(diǎn)對(duì)點(diǎn)，中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。 因此，整個(gè)管路系統(tǒng)中IIIVMB完成氣體的分配，中間沒(méi)

9、有三通。最后管道還要有良好的 接地。3輔助系統(tǒng)的設(shè)計(jì)氣體柜或控制面板在安裝和運(yùn)輸?shù)倪^(guò)程中曲于搬運(yùn)和震動(dòng)，閥門(mén)、接頭、過(guò)濾器等的更換、 或其他原因、需要對(duì)其重新進(jìn)行高壓氣密性試驗(yàn)和氮檢，氣體的置換也需要用到高壓氮?dú)?或氨氣，所以特氣柜需設(shè)計(jì)接入高壓惰性氣體氨氣或氮?dú)狻Ｒ话氵x擇在特氣房設(shè)置一臺(tái)或 多臺(tái)惰性氣體柜。其連接形式為：特氣柜中裝有各種氣體驅(qū)動(dòng)閥，主管路在送氣前必須進(jìn)行管道的吹掃和空氣的置換，所以 還需輔助有高純氮?dú)夂蜐崈魤嚎s空氣系統(tǒng)。氮?dú)庀到y(tǒng)采用SUS316L-EP管，CDA可采用 SUS316L-BA管，其管徑根據(jù)氣柜的多少來(lái)計(jì)算決定。氣體房和氣柜還須有自動(dòng)噴淋系統(tǒng)，但有的氣體如三氟化氯

10、，硅烷遇水反應(yīng)，這時(shí)就還需 要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。排風(fēng)系統(tǒng)和放空系統(tǒng)也是特氣系統(tǒng)的重要組成部分。其排風(fēng)系統(tǒng)也根據(jù)危險(xiǎn)品性質(zhì)分成普 通排風(fēng)系統(tǒng)（GEX）、酸性排風(fēng)系統(tǒng)（SEX）、洛劑排風(fēng)系統(tǒng)（VEX）、氨氣排風(fēng)系統(tǒng)（AEX） o普通排風(fēng)系統(tǒng)釆用鍍鋅鐵皮風(fēng)管，酸性排風(fēng)一般采用玻璃鋼風(fēng)管，溶劑和氨氣 排風(fēng)一般采用不銹鋼風(fēng)管。氣柜的排風(fēng)也是根據(jù)其性質(zhì)接入上面不同的排風(fēng)系統(tǒng)。氣體的 放空是指特氣管道和氣柜中的特氣經(jīng)氮?dú)庀♂尯笊椒趴展艿琅欧诺酱髿饣蚺棚L(fēng)系統(tǒng)中，有 的劇毒性或高危害性的氣體建議排放到尾氣處理器中經(jīng)處理后排放至相應(yīng)的排風(fēng)系統(tǒng)中。 放空系統(tǒng)一般采用SUS304不銹鋼管道，一直延伸到屋頂，高

11、出屋面兩米左右，并設(shè)防雨 罩。六:GMS和GDS系統(tǒng)氣體監(jiān)控系統(tǒng)（GMS）通過(guò)計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體輸送系統(tǒng)的實(shí)時(shí)監(jiān)控，以確保系統(tǒng)的 穩(wěn)定性。氣體偵測(cè)系統(tǒng)（GDS）是全廠生命安全系統(tǒng)（LSS）的重要組成部分。對(duì)于偵測(cè)器的要求, 除了精度高，反應(yīng)迅速外，還應(yīng)具備自檢功能。對(duì)于這兩個(gè)系統(tǒng)在這里只能做一個(gè)概念性的介紹。最后、充分了解氣體特性、從而合理配置系統(tǒng)，合理選擇管徑和材料，是我們?cè)O(shè)汁的重點(diǎn), 這樣可顯著降低整個(gè)系統(tǒng)的成本。七：特種氣體管道的施工特種氣體管道的施匸采用全自動(dòng)軌道焊接，同時(shí)制定和實(shí)施嚴(yán)格的超高純施丄和QA/QC 保證程序，對(duì)施工的質(zhì)量和程序進(jìn)行嚴(yán)格的監(jiān)控和管理。最后整個(gè)系統(tǒng)還要進(jìn)行

12、氨檢漏、 水分、氧分和顆粒度檢測(cè)、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測(cè)試。其現(xiàn)場(chǎng)基本的施工程序?yàn)? 施工圖紙會(huì)審預(yù)制間的搭設(shè)施工人員的培訓(xùn)系統(tǒng)檢測(cè)系統(tǒng)驗(yàn)收1.預(yù)制間的選擇特種氣體管道的施匸對(duì)環(huán)境的要求比較高，管道施工采用大批量預(yù)制然后現(xiàn)場(chǎng)安裝的方 法。按照標(biāo)準(zhǔn)，預(yù)制作業(yè)需要在潔凈度達(dá)到口級(jí)的凈化間進(jìn)行，作業(yè)人員也按照口級(jí)凈化 間的管理著裝。因此對(duì)于大宗特氣項(xiàng)日，一般都建有一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的預(yù)制間，其基本結(jié)構(gòu)為：管道切割間 換鞋處管道預(yù)制間材料搬入口 但我們?cè)趯?shí)際的施匸中，大宗特氣項(xiàng)U很少，一般都是簡(jiǎn)單系統(tǒng)和常規(guī)系統(tǒng)，為了節(jié)約成本和 資金,在要求不是很高的情況下、一般釆用在施工現(xiàn)場(chǎng)找一塊相對(duì)潔凈的房間采取一定的

13、 防塵措施就地施工，除作業(yè)人員和檢察人員外，應(yīng)禁止無(wú)關(guān)人員出入。如果業(yè)主要求比較嚴(yán) 格，也采用彩鋼板搭設(shè)一個(gè)簡(jiǎn)單的預(yù)制件，房間內(nèi)鋪上地板革，在屋中用潔凈塑料布封出 一塊裝上兩臺(tái)層流罩，做一個(gè)簡(jiǎn)單的凈化空間，進(jìn)行管道的預(yù)制工作。2.主要的施工機(jī)具特種氣體管道的主要施工機(jī)具有:全自動(dòng)軌道焊機(jī)（D100、MIOO等）管道切割機(jī)（GF鋸）、 管子割刀、平口機(jī)、彎管器、倒角器、管口毛刺修理刮刀、有的需要配置電源穩(wěn)壓器、 特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工（單位：中國(guó)電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司地址：江蘇省無(wú)錫市錢(qián)榮路160#郵編： 214151）前言：一個(gè)工藝技術(shù)先進(jìn)的大規(guī)模集成電路工廠的硅片制造過(guò)程中，全部工藝

14、大約要使用50種不同的電子氣體。其中大部分為特種氣體。本文就特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工 方面做一個(gè)簡(jiǎn)單描述。關(guān)鍵詞：特種氣體氣瓶柜316L EP特氣輸送系統(tǒng)是指：將特種氣體從氣源端、根據(jù)丄藝設(shè)備的工藝需求、通過(guò)對(duì)流量和壓力等參數(shù)的控制，通過(guò)管道、無(wú)二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點(diǎn)。其基本流程 是：氣源控制柜管道傳輸用氣點(diǎn)特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。三：供氣系統(tǒng)的選擇1. 簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)主要針對(duì)4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單 臺(tái)的工藝設(shè)備等。它們的制程簡(jiǎn)單，

15、通常不需要連續(xù)性供氣，對(duì)氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算 低。山于氣體流量小，不經(jīng)常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（50L）。輸送系統(tǒng)多采 用半自動(dòng)氣瓶柜或氣瓶架加簡(jiǎn)單的控制面板；配置繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手 動(dòng)放空，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng)，有些其至用單瓶 系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房，甚至沒(méi)有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾 道，或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒(méi)有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。 簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。2. 常規(guī)供氣系統(tǒng)常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線, 發(fā)光二極管的

16、芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對(duì)氣體純度控制的要求不 苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡(jiǎn)單，節(jié)省投資。特種氣體采用普通鋼瓶（50L）供氣。特氣輸送系統(tǒng)釆用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制 器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門(mén)和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾? 自動(dòng)真空輔助放空；多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測(cè)，遠(yuǎn)程緊急切斷；專(zhuān)用氮?dú)獯祾咂鹪吹?等。VMB采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空。惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架， 繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空；VMB主管氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?；支路氣?dòng) 閥，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空。氣體房和抽風(fēng)系統(tǒng)根據(jù)氣體性質(zhì)進(jìn)行分類(lèi)。3. 大宗

17、特氣供氣系統(tǒng)大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電 路廠（氣體種類(lèi)包括SiH4、N20、2、C2F6、NH3等），100MW以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線（氣體種類(lèi)包括NH3）,發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類(lèi)包括 NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類(lèi)包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纖（氣體種類(lèi)包括S1C14）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類(lèi)包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用最先進(jìn)的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對(duì)穩(wěn)定和不間斷 供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出最嚴(yán)格的要求。這些工廠的特種氣體的供給，除了普通鋼瓶（50L及以下）包裝的特種氣

18、體外，還有多種 類(lèi)的特種氣體都普遍采用大包裝容器，由此它們被稱(chēng)為大宗特氣，包括Y-鋼瓶（450L）,T-鋼瓶（980L）,集裝格（940L） , ISO 罐（22,500L）,魚(yú)雷車(chē)（13,400L）等。大宗特氣供應(yīng)系統(tǒng)（BSGS）采用全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥 門(mén)和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾撸詣?dòng)真空輔助放空；多重安全防護(hù)措 施，泄漏偵測(cè)，遠(yuǎn)程緊急切斷；專(zhuān)用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊?。特種氣體采用獨(dú)立氣源，多用點(diǎn) 采用VMB或VMP分路供應(yīng)，VMB或VMP采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空 等。由于BSGS氣源總量大，多釆用獨(dú)立的氣體房，獨(dú)立的抽風(fēng)系統(tǒng)四：氣體

19、房的選擇和設(shè)訃 除了簡(jiǎn)單的供氣系統(tǒng)以外，特氣房一般都獨(dú)立于主場(chǎng)房而單獨(dú)建設(shè)，其規(guī)劃時(shí)需考慮建筑 物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險(xiǎn)物的總量控制等。常規(guī)供氣系統(tǒng)一般也采用多種氣 瓶柜共設(shè)在一個(gè)氣體室；而對(duì)于大宗特氣，會(huì)根據(jù)氣體特性和相容性將氣體房分成可燃?xì)?體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、硅烷氣體房、毒性氣體房等。氣體房必須有良好的通 風(fēng)，氣體房的選擇和設(shè)計(jì)一般由設(shè)計(jì)院完成。五：管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)1. 材料的選擇特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道，閥門(mén)一般采用高純調(diào)壓閥、隔 膜閥、高精密過(guò)濾器、(V0.003微米)、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度 可控制在5uin。對(duì)

20、于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過(guò)特殊處理的耐腐蝕強(qiáng)的EP 管。2. 主管路系統(tǒng)的設(shè)訃在確定好氣體房和用氣點(diǎn)以后,主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路最短，拐彎最少，布置緊湊合理， 給人簡(jiǎn)單美觀的感覺(jué)。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)的多少和流量大 小確定，基本都采用小管徑輸送(1/4-3/4)而且多設(shè)計(jì)了備用系統(tǒng)。由于氣體本身的危 險(xiǎn)性，許多地方采用把管道鋪設(shè)在電纜橋架里，對(duì)于穿墻或穿過(guò)夾道的地方，周用有危險(xiǎn) 源和經(jīng)常有危險(xiǎn)作業(yè)的地方，露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架里。對(duì)于低蒸汽壓 氣體(WF6, DCS, BC13, C5F8, C1F3等),需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，

21、管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會(huì)考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、 溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì)，壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于劇毒、高反應(yīng)性和自 燃?xì)怏w，應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì)，即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜 到VMB、從VMB到用氣點(diǎn)，要點(diǎn)對(duì)點(diǎn)，中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。 因此，整個(gè)管路系統(tǒng)中III VMB完成氣體的分配，中間沒(méi)有三通。最后管道還要有良好的 接地。3輔助系統(tǒng)的設(shè)訃氣體柜或控制面板在安裝和運(yùn)輸?shù)倪^(guò)程中山于搬運(yùn)和震動(dòng)，閥門(mén)、接頭、過(guò)濾器等的更換、 或其他原因、需要對(duì)其重新進(jìn)行高壓氣密性試驗(yàn)和氮檢，氣體的置換也需要用到高壓氮?dú)?或氮?dú)?/p>

22、，所以特氣柜需設(shè)計(jì)接入高壓惰性氣體氨氣或氮?dú)?。一般選擇在特氣房設(shè)置一臺(tái)或 多臺(tái)惰性氣體柜。其連接形式為：特氣柜中裝有各種氣體驅(qū)動(dòng)閥，主管路在送氣前必須進(jìn)行管道的吹掃和空氣的置換，所以 還需輔助有高純氮?dú)夂蜐崈魤嚎s空氣系統(tǒng)。氮?dú)庀到y(tǒng)采用SUS316L-EP管，CDA可采用 SUS316L-BA管，其管徑根據(jù)氣柜的多少來(lái)計(jì)算決定。氣體房和氣柜還須有自動(dòng)噴淋系統(tǒng)，但有的氣體如三氟化氯，硅烷遇水反應(yīng)，這時(shí)就還需 要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。排風(fēng)系統(tǒng)和放空系統(tǒng)也是特氣系統(tǒng)的重要組成部分。其排風(fēng)系統(tǒng)也根據(jù)危險(xiǎn)品性質(zhì)分成普 通排風(fēng)系統(tǒng)（GEX）、酸性排風(fēng)系統(tǒng)（SEX）、洛劑排風(fēng)系統(tǒng)（VEX）、氨氣排風(fēng)系統(tǒng)（AEX） o普通排風(fēng)系統(tǒng)釆用鍍鋅鐵皮風(fēng)管，酸性排風(fēng)一般采用玻璃鋼風(fēng)管，溶劑和氨氣 排風(fēng)一般采用不銹鋼風(fēng)管。氣柜的排風(fēng)也是根據(jù)其性質(zhì)接入上面不同的排風(fēng)系統(tǒng)。氣體的 放空是指特氣管道和氣柜中的特氣經(jīng)氮?dú)庀♂尯笊椒趴展艿琅欧诺酱髿饣蚺棚L(fēng)系統(tǒng)中，有 的劇毒性或高危害性的氣體建議排放到尾氣處理器中經(jīng)處理后排放至相應(yīng)的排風(fēng)系統(tǒng)中。 放空系統(tǒng)一般采用SUS304不銹鋼管道，一直延伸到屋頂，高出屋面兩米左右，并設(shè)防雨 罩。六:GMS和GDS系統(tǒng)氣體監(jiān)控系統(tǒng)（GMS）通過(guò)計(jì)算機(jī)