電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

1、電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范325單向流和混合流潔凈室（區(qū)）的的噪聲級（空態(tài)）不應(yīng)大于65dB（A）,非單向流潔凈室（區(qū)）的噪聲級（空態(tài)）不應(yīng)大于60dB（A）。4331按火災(zāi)危險性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產(chǎn)區(qū)段或房間之間，或有防火分隔要求時，應(yīng)設(shè)隔墻；5.4.2物料凈化用室與潔凈室（區(qū)）之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。5.5.6潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置真空泵時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1使用油潤滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)；2對傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵，可燃?xì)怏w濃度超過爆炸卜.限的20%時，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分：3傳輸易燃、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真

2、空泵，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮?dú)獯祾?。氮?dú)獯祾呖刂崎y應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。6.2.1潔凈廠房的耐火等級不應(yīng)低于二級。626在綜合性廠房的個防火分區(qū)內(nèi)，凈生產(chǎn)區(qū)域與般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷設(shè)施。不燃燒體隔斷設(shè)施應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范GB50073的有關(guān)規(guī)定。6.2.7潔凈廠房的安全出口的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定；1每一生產(chǎn)層、每個防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目,應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范GB50073的有關(guān)規(guī)定2安全出II應(yīng)分散布置，并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志;安全疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計防火規(guī)范GB50016的有關(guān)規(guī)定。安全疏散用門應(yīng)向硫散方向開啟，

3、并應(yīng)設(shè)觀察玻璃窗；3丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房，在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)各自帶火災(zāi)報警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報警探測系統(tǒng)后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍。注：對于玻璃基板尺寸大于1500mmXI850mm的TFT-LCD廠房，且潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.02人/ITV,其疏散距離應(yīng)按工藝需要確定，但不得大于120m。628潔凈廠房的潔凈區(qū)各層外墻應(yīng)設(shè)置專用消防II,并應(yīng)符合卜列規(guī)定：1潔凈區(qū)各層專用消防I】的設(shè)計，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范GB50073的有關(guān)規(guī)定；2潔凈廠房外墻上的吊門、電控自

4、動門以及裝有柵欄的窗，均不應(yīng)作為專用消防II。6.2.9潔凈廠房內(nèi)有爆炸危險的房間應(yīng)靠建筑外墻布置，且不得與疏散安全I(xiàn)I（樓梯間）貼鄰。有爆炸危險的房間的防爆措施、泄爆面枳等應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計防火規(guī)范GB50016的有關(guān)規(guī)定。63.1潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應(yīng)大于50,材料的煙密度等級應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法GB/T862

5、7的有關(guān)規(guī)定。7.1.6潔凈室（區(qū)）與周圍的空間應(yīng)保持一定的靜壓差，靜壓差應(yīng)符合卜列規(guī)定：1各潔凈室（區(qū)）與周圍空間的靜壓差應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定：2不同等級的潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于等于bPa；3潔凈室（區(qū)）與非潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa：4潔凈室（區(qū)）與室外的靜壓差應(yīng)大于lOPa。7.5.1空氣潔凈度等級嚴(yán)于8級的潔凈室（區(qū)）不應(yīng)采用散熱器采暖。7.5.31應(yīng)防止室外氣流倒灌；2含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)按其物理化學(xué)性質(zhì)采取相應(yīng)防火防爆措施；4對含有水蒸汽或凝結(jié)物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置坡度及排放II;5排風(fēng)介質(zhì)中含行劇毒物質(zhì)時，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機(jī)和處理設(shè)備，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電

6、源；6排風(fēng)介質(zhì)中含易燃、易爆等危險物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機(jī)，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；7排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng),其風(fēng)量應(yīng)按在正常運(yùn)行和事故情況卜風(fēng)管內(nèi)爆炸危險的氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20%計：8排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置消除靜電的接地裝置。7.5.4 對排風(fēng)系統(tǒng)中含有毒性、爆炸危險性物質(zhì)的排氣管路，應(yīng)保持相對于路由區(qū)域一定的負(fù)壓值。5 潔凈室（區(qū)）事故排風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計，應(yīng)符合下列規(guī)定：1事故排風(fēng)區(qū)域的換氣次數(shù)不應(yīng)小于12次/h；2應(yīng)設(shè)置自動和手動控制開關(guān)、手動控制開關(guān)應(yīng)分別設(shè)置在潔凈室（區(qū)）和潔凈室（區(qū)）外便于操作的地點：3應(yīng)設(shè)置應(yīng)急

7、電源。7.6.1潔凈廠房中的疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機(jī)械排煙設(shè)施。7.7.2凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管的防火閥的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范GB50073的有關(guān)規(guī)定。含有可燃、有毒氣體或化學(xué)品的排風(fēng)管道，不得設(shè)置熔片式防火閥。7.7.72排煙系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作；3附件、保溫材料和消聲材料等均應(yīng)采用不燃材料或難燃材料。4.2.VI 生產(chǎn)、生活排水系統(tǒng)應(yīng)分別設(shè)置。生產(chǎn)排水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備排出的廢水性質(zhì)、污染物濃度和水晶等特點確定。有害廢水應(yīng)經(jīng)廢水處理達(dá)到國家或地方排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。4.3.VI 潔凈室（區(qū)）內(nèi)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備相連接的重力排水管道，應(yīng)在排出口以下部位設(shè)置水封裝置。排水

8、系統(tǒng)應(yīng)有完善的通氣系統(tǒng)。潔凈廠房必須設(shè)置消防給水系統(tǒng)。消防給水系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計防火規(guī)范GB50016的有關(guān)規(guī)定。1潔凈室（區(qū)）的生產(chǎn)層及上下技術(shù)夾層（不含不通行的技術(shù)夾層），應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓；3存放可燃?xì)怏w鋼瓶的特氣柜中應(yīng)設(shè)置自動滅火設(shè)施。9.2.33不循環(huán)支管的長度不應(yīng)大于管徑的6倍：4干管應(yīng)設(shè)置清洗I；5管道系統(tǒng)必須密封，不得有滲氣現(xiàn)象；潔凈室（區(qū)）內(nèi)的可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道應(yīng)明敷，穿過潔凈室（區(qū)）的墻壁或樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采取密時措施。可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間；當(dāng)必須穿過時應(yīng)設(shè)套管或雙層管

9、。10.1.72不得出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間；3管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃口和取樣口。10.1.81可燃?xì)怏w管道設(shè)置閥門時應(yīng)設(shè)置閥門箱，閥門箱應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報警和事故排風(fēng)裝,報警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖：3引至室外的放散管，應(yīng)設(shè)置防雷保護(hù)設(shè)施：4應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。氣體純化間（站）或氣體入口室內(nèi)，設(shè)有氫氣等可燃?xì)怏w純化裝置或管道時，氣體純化間（站）或氣體入1室的火災(zāi)危險性應(yīng)按甲類確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1應(yīng)靠外墻設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置防爆泄壓設(shè)施；2氫氣等可燃?xì)怏w引入管道上應(yīng)設(shè)置自動切斷陽；3應(yīng)具有良好的自然通風(fēng)，并應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)裝置：4應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報警裝置，并應(yīng)與事故排風(fēng)裝置聯(lián)鎖；5應(yīng)設(shè)置

10、導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。潔凈廠房內(nèi)的氧氣管道等，應(yīng)采取卜.列安全技術(shù)措施：1管道及閥門附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格的脫脂處理：2應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施：3氧氣引入管道上應(yīng)設(shè)置自動切斷閥。潔凈廠房內(nèi)的特種氣體的儲存分配間應(yīng)采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔墻與潔凈室（區(qū)）分隔，隔墻上的門窗應(yīng)為甲級防火門窗。10.431特種氣體鋼瓶（含硅烷或硅烷混合物）應(yīng)設(shè)置隹具有連續(xù)機(jī)械排風(fēng)的特氣柜中：2排風(fēng)機(jī)、泄漏報警、自動切斷閥均應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；3一個特氣分配系統(tǒng)供多臺生產(chǎn)設(shè)備使用時，應(yīng)設(shè)置多路閥門箱：10.4.5硅烷或硅烷混合物的氣瓶應(yīng)存放在潔凈廠房建筑外的儲存區(qū)內(nèi)。儲存區(qū)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：1儲存區(qū)應(yīng)至少三面敞開，

11、氣瓶應(yīng)固定在鋼制框架上：2氣瓶或氣瓶組與周圍的構(gòu)筑物或用欄的間距應(yīng)大于3.0m：3儲存區(qū)頂棚的高度應(yīng)大于3.5m。11.2.11化學(xué)品儲存間（區(qū)）的儲量不應(yīng)超過該化學(xué)品24h的消耗量：2化學(xué)品應(yīng)按物化特性分類儲存：當(dāng)物化性質(zhì)不容許同庫儲存時，應(yīng)采用實體墻分隔:3危險化學(xué)品應(yīng)儲存在單獨(dú)的儲存間或儲存分配間內(nèi)，與相鄰房間應(yīng)采用耐火極限大于1.50b的隔墻分隔；5各類化學(xué)品儲存、分配間應(yīng)設(shè)置機(jī)械排風(fēng)。機(jī)械排風(fēng)應(yīng)采用應(yīng)急電源：6易爆化學(xué)品儲存、分配間，應(yīng)采用不發(fā)生火花的防靜電地面：7輸送易燃、易爆化學(xué)品的管道，應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施；8接至用戶的輸送易燃、易爆化學(xué)品的總管上，應(yīng)設(shè)置自動和手動切斷閥。

12、11.2.2潔凈廠房內(nèi)采用容器傳送危險化學(xué)品時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1嚴(yán)禁在出入II、魔散走廊儲存和分配危險化學(xué)品。潔凈廠房內(nèi)運(yùn)送易燃化學(xué)品的走廊應(yīng)設(shè)置自動滅火系統(tǒng)。2運(yùn)送危險化學(xué)品的推車運(yùn)載最不得超過250L：單個容器的容最不應(yīng)超過20L；3物理化學(xué)特性不相容的危險化學(xué)品不得采用同一推車運(yùn)送。11.23當(dāng)采用壓力罐輸送危險化學(xué)品時，應(yīng)符合卜列規(guī)定：1輸送系統(tǒng)設(shè)備、管道應(yīng)采用與所輸送的化學(xué)品相容的材質(zhì)；2壓力罐應(yīng)設(shè)置減壓通風(fēng)II,減壓通風(fēng)口的排氣管應(yīng)接至安全區(qū)域；3輸送系統(tǒng)應(yīng)只容許采用氮?dú)庠鰤海?在分配和使用處應(yīng)設(shè)置手動切斷閥；5應(yīng)設(shè)置液位監(jiān)控和自動關(guān)閉裝置，并應(yīng)設(shè)置溢流應(yīng)對設(shè)施。11.2.5液態(tài)

13、危險化學(xué)品的儲存、分配間，應(yīng)設(shè)置溢出保護(hù)設(shè)施，并應(yīng)符合卜.列規(guī)定：1儲存罐或罐組應(yīng)設(shè)置保護(hù)堤，保護(hù)堤堤內(nèi)容積應(yīng)大于最大儲罐的容枳或20min消防用水量;保護(hù)堤的高度不應(yīng)低于500mm;2化學(xué)品相互接觸引起化學(xué)反應(yīng)的可燃液體儲罐或罐組之間，應(yīng)設(shè)置隔堤，隔堤不得滲漏:管道穿過隔堤時應(yīng)采用不燃材料密封。隔堤高度不應(yīng)低于400mm;3應(yīng)設(shè)置液體泄露報警.4應(yīng)設(shè)置緊急淋浴和洗眼器。113.1化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用,應(yīng)按所輸送的化學(xué)品的物理化學(xué)性質(zhì)確定，并應(yīng)選擇化學(xué)穩(wěn)定性能良好和相容性好的材料。12.18潔凈廠房內(nèi)，可燃?xì)怏w或液體的儲存、分配間的電氣設(shè)計，應(yīng)根據(jù)可燃?xì)怏w或液體的特性確定，并應(yīng)符合現(xiàn)行

14、國家標(biāo)準(zhǔn)爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范GB50058的有關(guān)規(guī)定。12.231潔凈室（區(qū)）內(nèi)應(yīng)設(shè)備用照明；12.2.4潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明，其照度不應(yīng)低于5.0lxo在安全出入【I、疏散通道或疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)設(shè)置硫散標(biāo)志。在專用消防口應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明指示燈。123.2潔凈廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動報警系統(tǒng)，其防護(hù)等級應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范GB50116的有關(guān)規(guī)定。當(dāng)防火分區(qū)面枳超過現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計防火規(guī)范GB50016規(guī)定的最大建筑面枳允許值時，保護(hù)等級應(yīng)為一級。12341潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層、機(jī)房、站房等均應(yīng)設(shè)置火災(zāi)探測器，其中潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)置

15、智能型探測器：3硅烷儲存、分配間（區(qū)），應(yīng)設(shè)置紅外線一紫外線火焰探測器：1236潔凈廠房內(nèi)下列場所應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報警裝置：1易燃、易爆、有毒氣體的儲存分配間（區(qū)以2易燃、易爆、有毒氣體的氣瓶柜和分配閥門箱內(nèi)；3工藝設(shè)備的氣體分配箱和排風(fēng)管內(nèi)。1237潔凈廠房內(nèi)氣體報警裝置的聯(lián)動控制，應(yīng)符合卜列規(guī)定：1應(yīng)自動啟動相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置：2應(yīng)自動關(guān)閉相關(guān)部位的進(jìn)氣閥；3應(yīng)自動關(guān)閉相關(guān)部位的電動防火門、防火卷簾門：4報警信號應(yīng)發(fā)送至消防控制室和氣體控制室。應(yīng)自動啟動泄漏現(xiàn)場的聲光警報裝置和應(yīng)急廣播。1238潔凈廠房內(nèi)易燃、易爆、有毒氣體泄漏報警值應(yīng)為其爆炸卜限值或允許濃度值的20%。1244凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時，電加熱器與風(fēng)機(jī)應(yīng)聯(lián)鎖控制，并應(yīng)