潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

1、潔凈廠房設(shè)計規(guī)范第一章總則第1.0.1條潔凈廠房設(shè)計必須貫徹執(zhí)行國家的有關(guān)方針政策，做到技術(shù)先進、經(jīng)濟合理、安全適用、確保質(zhì)量、符合節(jié)約能源和環(huán)境保護的要求。第1.0.2條本規(guī)范適用于新建和改建、擴建的潔凈廠房設(shè)計，但不適用于以細菌為控制對象的生物潔凈室。本規(guī)范有關(guān)防火和疏散、消防設(shè)施章節(jié)的規(guī)定，不適用于建筑高度超過24米的高層潔凈廠房和地下潔凈廠房的設(shè)計。第1.0.3條在利用原有建筑進行潔凈技術(shù)改造時，潔凈廠房設(shè)計必須根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，因地制宜、區(qū)別對待，充分利用已有的技術(shù)設(shè)施。第1.0.4條潔凈廠房設(shè)計應為施工安裝、維護管理、檢修測試和安全運行創(chuàng)造必要的條件。第1.0.5條潔凈廠房設(shè)計除應

2、按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應符合現(xiàn)行的國家標準、規(guī)范的有關(guān)要求。第二章空氣潔凈度等級第2.0.1條空氣潔凈度應按表2.0.1規(guī)定劃分為四個等級。空氣潔凈度表2.0.1等級每立方米（母升）空Q中另0.6微米塵粒數(shù)每立方汴（每升）空氣中/5微米塵粒數(shù)100吸35X100（3.5）1000級36X1000（35）這2500,6IV?60ISO通道、休息室100暗房工作室30第8.2.4條無采光窗潔凈區(qū)混合照明中的一般照明，其照度值應該按等級混合照明照度值的1015%采用，并不應低于150勒克斯。第8.2.5條潔凈廠房內(nèi)應設(shè)置供人員疏散用的事故照明。在應急安全出口和疏散通道轉(zhuǎn)角處應設(shè)置標志燈。在專用消防口處應

3、設(shè)置紅色應急照明燈。第8.2.6條潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應小于0.7。第三節(jié)控制、通信和防護第8.3.1條潔凈廠房的凈化空氣調(diào)節(jié)控制系統(tǒng)，應滿足生產(chǎn)工藝對溫度、濕度和正壓的要求。凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)所采用的電加熱器，應設(shè)置無風斷電保護。第8.3.2條潔凈廠房內(nèi)應設(shè)置與廠房內(nèi)外聯(lián)系的通信裝置。第8.3.3條潔凈廠房（包括技術(shù)夾層）應單獨或組合設(shè)置感溫、感光、感煙等形式的火災探測器。報警器（受訊臺）應設(shè)置在有人值班的地點，供電應可靠。第8.3.4條潔凈區(qū)內(nèi)應設(shè)緊急按鈕。如發(fā)生火災危險時，應能發(fā)出報警信號，并應同時切斷風機電源。附錄一名詞解釋序號本規(guī)范用名詞曾用名詞解釋檢聲車合章一中和間級特氣力

4、空等要空壓閉度主對、密凈為，度的活定要濕制氣規(guī)需、控空范據(jù)度行其規(guī)根溫進原本5技術(shù)夾層管道夾層技術(shù)閣樓主的的以案鞏水裝夾平管道1技不夾道技J、走J即技n技，E管械雙墻主要以垂直構(gòu)件分隔成的供安裝管線等設(shè)質(zhì)庾用的建筑走道技術(shù)豎井主要以垂直鉤件分隔制成的供安裝鳥可管法使用的井式建筑輔助空間建筑風道以建筑構(gòu)件組成田風道輕型吊頂輕吊頂、軟吊頂以輕型骨架和飾面板材安裝組成的頂棚2潔凈區(qū)凈化區(qū)由潔存室所組成的區(qū)域3人身得1旬用篁人潮生活潔摩區(qū)工作人員在進入潔間窗區(qū)之前按一定程序進行凈化的輔助用富4物料凈化用室物料在進入潔凈區(qū)之前按一,J-.cn、力LMMtFLLEOri10的綜合效果it含塵濃JS指單位停

5、積空氣中所含懸浮塵粒的數(shù)量潔凈度指潔凈環(huán)境中空氣含生粒紜少的程度指塵粒由某種測定方法測出的長度名義尺寸，并不含有具體的幾何形狀的意義口當采用光學顯微鏡測B湍的長度當采目光散射式粒子計效器測定時，是才善港生粒（如聚本爆小球）作散射光強度的等效比較而得至室空氣凈化全面凈優(yōu)通過空氣凈化等技術(shù)措施使軍內(nèi)整個空間的空氣含生濃度達到本規(guī)池的空氣潔凈度等級，這種方式稱全空空氣凈化14局部空氣凈化局!到這才慟見犁的空氣潔凈度等級卷編局部空q凈化15層流潔凈室平行希在潔凈室內(nèi)，空氣以均勻的斷面速度沿平行湎線流動（與流體力學的層流概念不完全相同）16亂標潔凈室在潔凈室內(nèi)，空氣以不均勻的速度呈不平行流線流前17潔凈

6、工作區(qū)指潔凈室內(nèi)（除生產(chǎn)工藝特寐重京外）寓曲面0.81.5米高度的區(qū)域IB第一潔凈工作區(qū)指水平層流潔密室工作區(qū)內(nèi)空氣潔凈度最后的工作位置19空工收淋堂、通道式空氣吹海室風淋辭空氣潛浴室齡翳具.衣20氣閘室為保持潔凈區(qū)的空氣潔凈度和正壓控制而退置的援沖121潔凈工作服尼龍服、無生殖為了把工作人員1衣服產(chǎn)生的生粒娘;落艇用笛翅童唐裝的皮膚和F最小程9、田潔凈22過謔器顫定風指彳和P即任一定流速下，回力為最合理時i吏其效率的過濾器23隨道式潔凈室在潔凈室內(nèi)采用層流簟組成隧道式的垂直層流理的局部潔凈工海區(qū)，以布富有較局空氣潔凈前要求的生產(chǎn)工序或生產(chǎn)流水線24外圍建筑指安裝裝配式潔凈室所在,的新建或改建

7、建筑物25氣流組織指對氣流流向和均勻度按一定要求進行組織26浦膜顯微鏡計故法18iwr同空粒大小和故里的方法27純水去離十水深度脫鹽水指溫度25c時，電阻率大于0.1X106歐姆E米的水28高純水指涓度2EC時，電阻率大于0.1X1/6歐嫄厘米，水中大手或等于口.5,喬的塵粒小于300粒，竄升，潔微生物小于9個，量升的觸水29純水絡端凈化裝置純水后處理設(shè)備在用水點附近，對水質(zhì)作進一步凈化處理的裝置30高純氣體指眄度大于或等于英，9曲%,含水量小于期的氣ft31氣怦蟄端得化建置在用氣京附近，電國體作進一手兜化通的裝置G2高效氣壓過濾器氣棒過濾后，達到小干或等干0.5微米塵粒含量小于或等于粒/升的

8、氣體過淳器附錄二潔凈室空氣潔凈度的測試一、潔凈室的空氣潔凈度，應進行下列測試：（一）空態(tài)、靜態(tài)測試空態(tài)測試：潔凈室已竣工，凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài)，室內(nèi)沒有工藝設(shè)備和生產(chǎn)人員的情況下邊行測試。靜態(tài)測試：潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài)，工藝設(shè)備已安裝，室內(nèi)沒有生產(chǎn)人員的情況下進行測試。（二）動態(tài)測試潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進行測試。二、潔凈室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測，可按一般通用、空氣調(diào)節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。三、空態(tài)、靜態(tài)測試（一）測試前的準備1、應對潔凈室及其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)進行徹底清潔。2、采用光散射粒子計數(shù)器對高效空氣過濾器進行檢漏測試。首先測定高效空氣

9、過濾器的上風側(cè)靜壓箱內(nèi)（或風管內(nèi)）粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數(shù)應為大于或等于30,000粒/升。如若不夠，可引入煙霧，然后開始檢漏。將粒子計數(shù)器（或檢漏裝置）的采樣口距離高效空氣過濾器2-3厘米處，可以24厘米/秒的速度移動，對高效空氣過濾器整個斷面封頭膠處和安裝框架處進行掃描。當粒子計數(shù)器讀數(shù)為空氣口大于或等于0.5微米的塵粒超過3粒/分升（或其穿透率大于0.01%。）即認為該處有明顯滲漏，必須進行堵漏。（二）測試內(nèi)容1、總送風量、總回風量、新鮮空氣量、排風量等；2、潔凈室壓力值；3、層流潔凈室斷面風速和氣流流向；4、潔凈工作區(qū)的潔凈度；5、室內(nèi)溫度、濕度及其控制能力的調(diào)整測試；6、潔凈

10、室內(nèi)噪聲。（三）潔凈工作區(qū)空氣潔凈度的測試方法對于粒徑大于或等于0.5微米的塵粒計數(shù)，宜采用光散射粒子計數(shù)法。對于粒徑大于或等于5微米的塵粒計數(shù)。也可采用濾膜顯微鏡計數(shù)法。光散射粒子計數(shù)法：1、光散射粒子計數(shù)器采樣量100級：每次采樣量大于或等于1升。1,000級10,000級：每次采樣量大于或等于0.3升。100,000級：每次采樣量大于或等于0.1升。對于100級潔凈室，宜采用大流量粒子計數(shù)器進行測試；如果條件不具備時，可采用每次采樣量不小于1升的粒子計數(shù)器。2、采樣注意事項(1)采樣管必須干凈，連接處嚴禁滲漏。(2)采樣管的長度，應根據(jù)儀器的允許長度。當無規(guī)定時，不宜大于1.5米。(3)

11、采樣管口的流速，宜與潔凈室斷面平均風速相接近。測試人員應在采樣口的下風側(cè)。(4)采樣順序應按含塵濃度從低到高進行。3、測點布置(1)檢測在潔凈工作區(qū)內(nèi)進行。當生產(chǎn)工藝無特殊要求時，取樣高度宜為離地面1米。(2)層流潔凈室測點總數(shù)不小于20點，測點間距為0.52.0米，粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數(shù)允許有一個點超過。水平層流潔凈室測點僅布置在第一潔凈工作區(qū)內(nèi)。(3)亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50平方米布置5個測點(附圖2),每增加2050平方米，增加3-5個測點。4、數(shù)據(jù)整理(1)每個測點的數(shù)據(jù)整理應在測試儀器穩(wěn)定運行的條件下連續(xù)三次采樣，取其平均值，即為該點的實測數(shù)值。(2)對于大于或

12、等于0.5微米的塵粒數(shù)確定：層流潔凈室取各測定點最大值，亂流潔凈室取各測點的平均值。(四)正壓值測定應采用精度可達0.01毫米水柱的微壓計。四、動態(tài)測試在潔凈工作區(qū)操作位置選擇有代表性測點的氣流上風向進行，測試方法同空態(tài)、靜態(tài)測試附錄三潔凈廠房生產(chǎn)的火災危險性分類舉例生產(chǎn)類別舉例甲徽型軸承裝配的精研間、裝配前的檢查間精密F它螺儀裝配的漕洗間碳荒棘希世甲工段化工尸的寸酮、丙酮、壞乙酮易燃熔布的物理提油工作演（為敵抗飩劑的眼前工作問）雷卓體抽料廠隹用喜氣麗拉晶就硅烷熱金解室盍帆造工廠,也孽清洗間（使用迫點小手犯匕的曷嫩液溜）外通最化孝氣相沆祖同疝化學試劑K薦而乙膠片廠的洗ED車間丙計算機店記錄數(shù)據(jù)

13、的磁盤貯存間顯像管廠愛配工段燒槍閭磴帶裝配工般集成電路工廠的氧化、獷散間、光刻間附錄四凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計對施工的要求一、風管、靜壓箱和附件的施工，應符合下列要求：（一）施工現(xiàn)場應保持清潔。風管及其附件、靜壓箱、空氣調(diào)節(jié)器、技術(shù)夾層、機房以及其它設(shè)備、裝置等的清潔工作應邊施工邊進行；（二）風管、靜壓箱和附件等制作后，應存放在清潔、干燥的地點，并應采取防止積塵的措施；（三）采用復合鋼板、鍍鋅鋼板制作的風管，在加工、安裝、施工過程中造成的破損應補涂涂料；（四）清掃、擦拭應選用不產(chǎn)塵、不掉纖維的工具和材料。二、高效和亞高效空氣過濾器的安裝，應符合下列要求：（一）必須在土建施工、凈化空調(diào)系統(tǒng)初效、中效

14、空氣過濾器安裝完畢，全系統(tǒng)進行檢查、擦試、吹洗運轉(zhuǎn)12小時后方能進行；（二）高效空氣過濾器必須在安裝時方可從保護袋中取出，同時應進行透光目視檢查。凡濾紙破損、漏膠和外框變形者，不得安裝；（三）過濾器與安裝框架之間，必須采取密封措施；（四）過濾器安裝就位后，必須進行檢漏和堵漏。三、裝配式潔凈室、空氣吹淋室、氣閘室、余壓調(diào)節(jié)閥等凈化設(shè)備和部件的安裝，應嚴格按照產(chǎn)品的安裝、施工要求進行。附錄五凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計對維護管理的要求一、潔凈室的空氣，宜按附表5規(guī)定進行監(jiān)測潔凈室的空氣監(jiān)測頻數(shù)附表5、空氣活鑒測凈度項目,等緩100100010,000100,000溫度每班二次濕度野旺二校正壓值用周一次每月

15、一次、潔凈度每周一次每三個月一次每大個月一次附錄六凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)風管壁厚風管壁厚附表6冷軋鍍鋅翎板制風管鋁板制風管不銹鋼板制風管塑料板制風營外徑或最大迫寶岸親）壁厚年君外用或最大邊檜煌疝壁厚（S求）外管或最煌米）壁厚（W羽）外徑或聚曜塔i忍壁！1002000,51003201.01005000.51003203.022AB000.753606301.5麗011200.7&3506304.056s11301.0T0920002.012502001.0TOO”10005.0125020001.21.51120200000i1002000.5L0A3201.0lOOFOO0.51203203.02205000.TE3606301.556011200.761005004.056Ck-JI皺.1.0TOCr-,2&頗.2.0.刖1.0,n做5.01191BrB125020001.21.5100012505.016002000S.0附錄七本規(guī)范用詞說