蔡司場發(fā)射掃描電鏡操作培訓(xùn)

1、樣品臺的安裝：請注意圖片上箭頭方向樣品臺的安裝：請注意圖片上箭頭方向樣品臺背面：卡槽樣品臺背面：卡槽點擊此處，可以選擇燈絲的開關(guān)和高壓的開關(guān)嚴(yán)禁擅自更改Fil I和Extractor V處的數(shù)值。如需更改，請先取得服務(wù)工程師的同意。雙擊或者拉動滑塊可以改變不同的EHTSEM Control: Gun 界面選擇不同的探頭選擇SE2 探頭收集極電壓值選擇兩種不同探頭的信號進(jìn)行混合混合信號時，兩個探頭的信號比例調(diào)節(jié)圖像的亮度調(diào)節(jié)圖像對比度選擇不同的尺寸的光闌激活此處，可進(jìn)行光闌對中光闌對中燈絲對中像散校準(zhǔn)電子束移動高電流模式觀察六孔光闌的位置和形狀選擇圖像存儲的分辨率掃描速度圖像的凍結(jié)是以手動形式還

2、是掃完整幅圖片后積分次數(shù)或者是平均次數(shù)圖像噪音去除的六種方式選擇：幀平均，幀積分，線平均，線積分，像素平均，連續(xù)平均。樣品臺目前所在的位置雙擊數(shù)據(jù)區(qū)，輸入你想要去的位置。輸入后，樣品臺移動到你輸入的位置。點擊功能塊，輸入你要移動的距離。例如：現(xiàn)在樣品臺X，Y的位置在64.125，64.485 你想讓X和Y方向各移動2mm，你可在XY 激活后輸入2，2后點擊OK即可。激活此處：樣品臺泄真空時，Z方向自動下降到最低點激活此處：樣品的上升時，SEM的工作距離自動進(jìn)行更改。激活此處：樣品臺控制器失效點擊Pump，樣品室開始抽真空。點擊Vent，泄掉樣品室內(nèi)的真空。激活此處：當(dāng)機器在Standby狀態(tài)時

3、，真空泵停止工作?？旖萱I：詳細(xì)說明見下。數(shù)據(jù)區(qū)：顯示電鏡當(dāng)前的一些參數(shù)控制真空，燈絲開關(guān)，EHT的開關(guān)。當(dāng)Gun或者EHT出現(xiàn)綠勾時，代表正在工作。Vac出現(xiàn)綠勾時，代表真空已經(jīng)達(dá)到工作要求顯示鼠標(biāo)左鍵和中鍵當(dāng)前的功能基本介紹導(dǎo)出保存設(shè)定保存設(shè)定預(yù)覽或更改保存設(shè)定導(dǎo)入注解保存設(shè)定管理保存注解點擊Display LUT可以對圖片的明亮對比度，三元色進(jìn)行修改跳出對話框雙擊或者Ctrl+A跳出注解對話框選擇注解對象選擇鼠標(biāo)控制撤銷上次更改導(dǎo)入注解保存注解刪除所有注解導(dǎo)出區(qū)域選擇加入文字注解導(dǎo)出參數(shù)插入用戶bmp格式圖片圓型注解區(qū)長方形注解區(qū)注解區(qū)直線粘帖面板放大區(qū)域微標(biāo)尺固定長度標(biāo)尺點對點距離測量角

4、度測量正四邊形測量圓測量左右寬測量上下寬測量可移動左右寬測量可移動上下寬測量激活對話框后調(diào)出狀態(tài)欄激活對話框后調(diào)出用戶工具欄數(shù)據(jù)區(qū)控制激活后，屏幕上顯示米字準(zhǔn)線常見問題：當(dāng)使用AsB探頭時，如果看不見影像。請先檢查一下左圖的設(shè)置是否在“high”,然后檢查工作距離，EHT是否過低。光闌尺寸是否過小。樣品臺進(jìn)行初始化。常見問題：當(dāng)水冷機出現(xiàn)不正常工作后，重新啟動水冷機并使之正常工作。有時會發(fā)生樣品臺不能動，重新啟動電鏡，EM Server 提示樣品臺沒有初始化。這時需要初始化樣品臺連續(xù)中心點：激活此功能后，屏幕上出現(xiàn)一個十字座標(biāo)。拖動十字座標(biāo)到感興趣點，點擊鼠標(biāo)左鍵。感興趣點將自動移到屏幕中心。

5、樣品臺導(dǎo)航器：顯示樣品座的位置和一些參數(shù)。請注意：這只代表樣品座的位置。不是樣品的位置。樣品臺控制器：當(dāng)1號操縱桿上下移動，控制樣品臺上下移動。當(dāng)1號操縱桿左右移動，控制樣品臺左右傾斜。當(dāng)2號操縱桿上下左右移動，控制樣品臺前后左右移動。當(dāng)旋擰2號操縱桿，控制樣品臺順時或逆時旋轉(zhuǎn)。圖片保存：當(dāng)圖片凍結(jié)后，鼠標(biāo)移動到圖片上，點擊鼠標(biāo)右鍵后， 選擇Send to，然后選擇需要保存圖片的格式選中需要保存的圖片格式后，跳出左邊的對話框選擇你要保存的目錄輸入要保存圖片的名字保存圖片調(diào)出圖片(請注意只有TIFF格式的圖片才能SmartSem軟件中調(diào)出）：鼠標(biāo)移動到屏幕中央。點擊鼠標(biāo)右鍵，點擊Import T

6、iff點擊Import TIFF后，跳出以下對話框選擇要調(diào)入圖片的文件夾選擇要調(diào)入的圖片Ag微球水溶液微球水溶液將將Ag微球水溶液超聲處理微球水溶液超聲處理2分鐘分鐘用移液槍取用移液槍取10 ul分散均勻的分散均勻的Ag微微球涂在清潔的硅片表面球涂在清潔的硅片表面 放在紅外燈下烘干放在紅外燈下烘干用導(dǎo)電膠把樣品固定在樣品臺上用導(dǎo)電膠把樣品固定在樣品臺上放入放入SEM腔室觀測腔室觀測5KV, 10k,Inlens探測器探測器 5KV, 25k,Inlens探測器探測器5KV, 40k,Inlens探測器探測器 5KV, 100k,Inlens探測器探測器 5KV, 150k,Inlens探測器探測器 5KV, 200k,Inlens探測器探測器 二次電子二次電子Inlens探測器探測器二次