FFU Interlock的原理與應(yīng)用

1、FFU Interlock的原理與應(yīng)用利用偵測風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速快慢來有效判斷FFU運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常以防止產(chǎn)品Particle污染問題1風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速偵測與訊號轉(zhuǎn)換利用光學(xué)檢測器（Photo-Micro Sensor）偵測風(fēng)機(jī)葉片上固定環(huán)狀貼紙，貼紙為黑白兩色并各為180度。當(dāng)檢測器偵測到白色區(qū)域時，由于反射率達(dá)90 %以上，致使輸出訊號為導(dǎo)通狀態(tài)，我們假設(shè)它為1。當(dāng)檢測器偵測到黑色區(qū)域時，反射率變的極低，輸出訊號即為關(guān)閉狀態(tài)，我們假設(shè)它為0。當(dāng)正常風(fēng)機(jī)在運(yùn)轉(zhuǎn)時，黑白貼紙交錯被光學(xué)檢測器感應(yīng)，使得輸出訊號構(gòu)成 0 - 1 - 0 - 1 波形。2波形與計算方法所以利用檢視脈沖寬度來定義時間長度，即可了解風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)情

2、況。例如，假設(shè)風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)速度低于50轉(zhuǎn)以下為不正常狀況，其運(yùn)算原理為 :運(yùn)轉(zhuǎn)速度f = 50Hz 周期時間T = 1/50Hz = 20 ms當(dāng)脈沖寬度大于10ms , 即視為異常3應(yīng)用于SMIF SYSTEMSMIF ARM : 適用機(jī)型 : LPT2200, LPI2200Mini-Environment : 適用范圍 : Particle concern issue任何需要 FFU Interlock 設(shè)備4與SMIF ARM 整合設(shè)計概念風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速訊號SMIF ARMFan RunningFan Error機(jī)臺 PIO ReadyAutomation Ready機(jī)臺 PIO FailedA

3、utomation FailedARM Action StopARM 可收/下貨ARM無法收/下貨可自行定義轉(zhuǎn)速快慢決定Fan error5SMIF ARM風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速控制圖示 利用上述概念偵測風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速快慢判斷異常與否，再與SMIF ARM訊號整合，來控制ARM是否可以收/下貨甚至于在傳送過程中斷動作，以便人員確認(rèn)產(chǎn)品潔凈程度。6與Mini-Environment 整合設(shè)計概念風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速訊號System ControllerFAN or System Controller OkFAN or System Controller ErrorNo alarmAlarm and Red Lamp onSMI

4、F Arm Action StopSMIF power interrupter module ( Option )最多可連接4個風(fēng)機(jī)Battery Supply 控制器電源供應(yīng)中斷時可發(fā)出警告聲響7Mini-Environment風(fēng)機(jī)控制器圖示Spare Portcan connect toSMIF power interrupter moduleto prevent arm has any action in case particle high issue8偵測風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速的優(yōu)點(diǎn)可自行設(shè)定轉(zhuǎn)速快慢來決定風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常。測量點(diǎn)單純精準(zhǔn)。不會因Mini-Environment的體積大小與形狀不同，而須增加測點(diǎn)或是量測誤差值過大而產(chǎn)生誤判?？膳cSMIF ARM訊號連結(jié)成一套完整Interlock系統(tǒng)，避免發(fā)生環(huán)境潔凈度問題后，而ARM仍可收 / 下貨與動作。價格便宜。與一般風(fēng)壓或風(fēng)量偵測儀器比較更仍節(jié)省一半以上的成本。應(yīng)用范圍廣泛，任何需監(jiān)控風(fēng)機(jī)功能之設(shè)備機(jī)臺皆可使用。9風(fēng)速的設(shè)定與調(diào)整根據(jù)美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)潔凈室規(guī)格，Class 1100的環(huán)境之下，風(fēng)速標(biāo)準(zhǔn)必須達(dá)到0.350.5