擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器的壓力測(cè)量實(shí)驗(yàn)

1、實(shí)驗(yàn)四擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器的壓力測(cè)量實(shí)驗(yàn)一、實(shí)驗(yàn)?zāi)康模毫私鈹U(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器測(cè)量壓力的原理與方法。二、實(shí)驗(yàn)儀器壓力傳感器模塊、溫度傳感器模塊、數(shù)顯單元、直流穩(wěn)壓源+4V、土5三、實(shí)驗(yàn)原理在具有壓阻效應(yīng)的半導(dǎo)體材料上用擴(kuò)散或離子注入法，形成4個(gè)阻值相等的電阻條。并將它們連接成惠斯通電橋，電橋電源端和輸出端引出，用制造集成電路的方法封裝起來(lái)，制成擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器。平時(shí)敏感芯片沒(méi)有外加壓力作用，內(nèi)部電橋處于平衡狀態(tài)，當(dāng)傳感器受壓后芯片電阻發(fā)生變化，電橋?qū)⑹テ胶?，給電橋加一個(gè)恒定電壓源，電橋?qū)⑤敵雠c壓力對(duì)應(yīng)的電壓信號(hào)，這樣傳感器的電阻變化通過(guò)電橋轉(zhuǎn)換成壓力信號(hào)輸出。四、實(shí)驗(yàn)內(nèi)容與步驟1.

2、擴(kuò)散硅壓力傳感器MPX10已安裝在壓力傳感器模塊上，將氣室1、2的活塞退到20ml處，并按圖4-1接好氣路系統(tǒng)。其中P1端為正壓力輸入、P2端為負(fù)壓力輸入，PX10有4個(gè)引出腳，1腳接地、2腳為Uo+、3腳接+5V電源、4腳為Uo-；當(dāng)P1P2時(shí)，輸出為正；當(dāng)P1VP2時(shí)，輸出為負(fù)。二通0三通氣壓計(jì)2氣壓計(jì)1+5V檢Y_P22.檢查氣路系統(tǒng)，動(dòng)。4V保持不并能T.接入+壓表，選擇調(diào)節(jié)X:R21LPl氣室2n氣室1值2IZ1纟IC別推進(jìn)氣室I、？的兩個(gè)活塞，對(duì)應(yīng)的氣壓計(jì)有顯示壓力值、土15嗎流穩(wěn)壓電源，模塊20V檔，打開(kāi)實(shí)驗(yàn)臺(tái)總電Rw2到適當(dāng)-開(kāi)實(shí)驗(yàn)臺(tái)位置并保持不動(dòng),用導(dǎo)線源。出端品接控制臺(tái)上數(shù)顯直流電2少9Rwi的輸入端Ui短路,Rw3Uol+15v然后調(diào)節(jié)Rw3使直流電壓表200mV檔顯示為零，取下短路導(dǎo)線。5.退回氣室1、2的兩個(gè)活塞，使兩個(gè)氣壓計(jì)均指在“零”刻度處，將MPx10的輸出接到差動(dòng)放大器的輸入端Ui,調(diào)節(jié)Rwl使直流電壓表200mv檔顯8.保持負(fù)壓力輸入P2壓力0.095Mpa不變，減小正壓力輸入P1的壓力，每隔0.005Mpa記下模塊輸出Uo2的電壓值。直到P1的壓力達(dá)到O.OMpa；填入表4-3。0.005Mpa記下模塊輸出Uo2的電壓值。直到P2的壓力達(dá)到O.OMpa；填入表4-4P(KP)Uo2(V)五、實(shí)驗(yàn)報(bào)告1.根據(jù)表4-1、4-2、4-3所得數(shù)據(jù)