隔振平臺分類及原理(減振平臺電鏡減振臺)

隔振平臺分類及原理（減振平臺、電鏡減振臺）——理化phychemi一、分類隔振技術分為主動隔振和被動隔振主動隔振：通過傳感器和執(zhí)行器，提供大小相等，方向相反的力，抵消振動對目標的影響被動隔振：通過機械裝置限制振動無源隔振：使用彈簧，彈性體，流體，或負剛度組件實現(xiàn)減振有源隔振：使用氣動系統(tǒng)實現(xiàn)。二、隔振原理（1）被動隔振技術--彈簧一個最簡單的無源隔離器。彈簧反作用于被減振物體，通過變形來吸收一定的能量。一個簡單的例子就是汽車減振器，在這種情況下，沖擊或振動產生機械能，被轉換為熱能，熱能被浸泡彈簧的油吸收，從而減少傳遞到車身上振動。其固有頻率可以做到很低，但是阻尼很小。優(yōu)點是擾動源頻率和系統(tǒng)固有頻率差很遠時，隔振效果非常好。缺點就是一旦共振放大很嚴重。（2）被動隔振技術-橡膠橡膠也是通過變形來吸收振動。與彈簧的區(qū)別是，橡膠能在各個方向吸收。（3）被動隔振技術-氣動平臺氣動系統(tǒng)采用壓縮空氣活塞，吸收地面的振動。其缺點是結構與操作復雜，需要外部氣源的支持。（4）被動隔振技術-負剛度技術負剛度隔振臺提供一個簡單，可靠，高效隔振解決方案，可提供6自由度的隔離，低至0.5Hz或更低的諧振頻率。對于一個0.5赫茲系統(tǒng),可隔離1Hz以上的振動，優(yōu)于氣動平臺5-IOHz的范圍可讓多個隔振臺一起使用。負載從幾十公斤到幾噸。易于使用和調整。比氣動平臺經(jīng)濟，占用更少的空間，且不需要進行維護。三、隔振設備種類（1）MinusKBM-10超薄

(2)MinusKBM-6經(jīng)濟型規(guī)格:18"Wx20"Dx4.6"H(457mmWx508mmDx117mmH)有效負載范圍：10-105lbs(4.5-48kg)水平：2.5Hz垂直：1.5Hz真空和潔凈室適用(3)隔振工作站?有著更好的人體工程學的舒適，是專門為超低固有頻率的應用而設計的產品。?MinusK的專利負剛度隔振器:具有超低固有頻率的簡潔被動隔振光學臺,

更高的內部結構頻率和優(yōu)秀的垂直和水平隔震動效率?只要調整至0.5Hz固定頻率，我們的工作站就能實現(xiàn)2Hz下93%的阻隔效率，5Hz下99%的阻隔效率和10Hz下99.7%的阻隔效率可以為各種應用定制輔助工作平臺,圍欄,裝架,地震約束,可伸縮的腳輪,和許多其他選項附帶KineticSystem動力系統(tǒng)四、隔振效果WWz自眄丄b止丄,a□w尹呻叭」M加、「nEiB』lI!<tKTtlp*JIffiMO)?呻3林QjfiQWWz自眄丄b止丄,a□w尹呻叭」M加、「nEiB』lI!<tKTtlp*JIffiMO)?呻3林QjfiQ心7J|tSeH5nvMRi^*X￥Z：W^?住STHA：l如《□!：：!_-!IS-5；

FwaP—也"-；fSQRaqMonJ<-3T?WnxM|IMi*SeaawiS-R':如『：叩IIC-料J?噸JX洌「朋f(]歸址]TV6JIEhJ-i此田A：」Hij腫咄再n>：!l^空催Al'JfJleg*WSC-2240K4gLI1^￡￡7i疋r-、J,-Wrz二：耳弋：心.o片)AXrws商?a<Q3莊Hjsa&rij：1'Ii*H'f宇:日咱XTopical0.5HzTransmissibility&苦q'sEUKU巴I-<.11:1:\&苦q'sEUKU巴I-<.11:1:\Hiah-PerfermanceAirPbmaf4=j^minisk^?!$?$剛闔Dim%iNKtll」LC11J.111.,.11!1]111]J.4.5.7123fl57MWWfrfi-WdBFREQUENCY(Hz}BM-1Vertical佃t2&fmHz1?0He佃t2&fmHz1?0HeFREQUENCY(Hz)五、應用領域理化MinusK隔振平臺在顯微鏡微觀領域（顯微鏡（SPM）,掃描電鏡（