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第十三章數(shù)字式傳感器第一頁(yè),共35頁(yè)。數(shù)字式傳感器與模擬式傳感器相比有以下優(yōu)點(diǎn):(1)測(cè)量精度和分辨率高;(2)穩(wěn)定性好,抗干擾能力強(qiáng);(3)便于與微機(jī)接口,信號(hào)易于處理和存儲(chǔ).適宜遠(yuǎn)距離傳輸(chuánshū);(4)可以減少讀數(shù)誤差。第二頁(yè),共35頁(yè)。數(shù)字式傳感器的發(fā)展不長(zhǎng),到目前為止它有兩種類型:(1)以編碼方式產(chǎn)生代碼型的數(shù)字信號(hào);代碼型數(shù)字傳感器又稱編碼器,它輸出的信號(hào)是數(shù)字代碼,每一個(gè)代碼對(duì)應(yīng)一個(gè)輸入量的值。這類傳感器有絕對(duì)式光電編碼器和接觸式碼盤等.(2)輸出計(jì)數(shù)型的離散(lísàn)脈沖信號(hào);計(jì)數(shù)型數(shù)字傳感器又稱脈沖數(shù)字傳感器,它輸出的脈沖數(shù)與輸入量成正比。這類傳感器有增量式光電脈沖編碼器、光柵傳感器等。第三頁(yè),共35頁(yè)。數(shù)字式傳感器可以測(cè)線位移,也可以測(cè)角位移,還可用來(lái)計(jì)數(shù)。如計(jì)數(shù)型傳感器加上計(jì)數(shù)器可用來(lái)檢測(cè)輸送帶上的產(chǎn)品個(gè)數(shù)。數(shù)字式傳感器在自動(dòng)檢測(cè)和自動(dòng)控制中得到了日益廣泛的應(yīng)用。本章主要介紹常用的數(shù)字式位置(wèizhi)檢測(cè)傳感器,如光柵傳感器、光電式編碼器和感應(yīng)同步器等。第四頁(yè),共35頁(yè)。13.1光柵傳感器
光柵按工作原理和用途可分為:物理光柵和計(jì)量光柵。物理光柵是利用光柵的衍射現(xiàn)象,主要用于光譜分析和光波波長(zhǎng)的檢測(cè)。計(jì)量光柵則利用光柵的莫爾條紋現(xiàn)象.主要應(yīng)用于線位移和角位移的檢測(cè)。計(jì)量光柵按應(yīng)用場(chǎng)合不同有:透射光柵和反射光柵。按用途不同有:測(cè)量線位移的長(zhǎng)光柵和測(cè)量角位移的圓光柵;按光柵的表面結(jié)構(gòu)(jiégòu)不同有幅值(黑白)光柵和相位(閃耀)光柵。
第五頁(yè),共35頁(yè)。13.1.1光柵的結(jié)構(gòu)及工作原理1.光柵結(jié)構(gòu)圖中a為柵線的寬度(不透光),b為柵線間寬(透光),“a+b=w稱為光柵的柵距(也稱光柵常數(shù)(chángshù))。通常a=b=W/2,也可刻成a:b=1.1:0.9。目前常用的光柵每毫米刻成l0、25、50、l00、250條等線條。第六頁(yè),共35頁(yè)。2.光柵測(cè)量原理把兩塊柵距相等的光柵(光柵l,光柵2)面向?qū)μ婧显谝黄?,中間留有很小的間隙,并使兩者的柵線之間形成一個(gè)很小的夾角,如圖13—2所示。這樣就可以看到在近于垂直柵線方向(fāngxiàng)上出現(xiàn)明暗相間的條紋,這些條紋叫莫爾條紋。第七頁(yè),共35頁(yè)。長(zhǎng)光柵橫向(hénɡxiànɡ)莫爾條紋兩塊光柵的柵線重合部位,透光面積最大,形成條紋的亮帶,它是由一系列四棱形圖案構(gòu)成(gòuchéng)的;兩塊光柵的柵線錯(cuò)開部位,形成條紋的暗帶,它是由一些黑色叉線圖案組成的。因此莫爾條紋的形成是由兩塊光柵的遮光和透光效應(yīng)形成的。第八頁(yè),共35頁(yè)。莫爾條紋測(cè)位移具有以下特點(diǎn)(tèdiǎn):(1)位移的放大作用當(dāng)光柵每移動(dòng)一個(gè)光柵柵距W時(shí).莫爾條紋便跟著移動(dòng)—個(gè)條紋寬度BH.如果光柵作反向移動(dòng),條紋移動(dòng)方向也相反。莫爾條紋的間距BH與兩光柵線紋夾角θ之間的關(guān)系為θ越小,BH越大,這相當(dāng)于把柵距W放大了1/θ倍。例如θ=0.1度,則1/θ=573,即莫爾條紋寬度BH是柵距W的573倍.這相當(dāng)于把柵距放大了573倍,說(shuō)明光柵具有位移放大作用,從而提高了測(cè)量的靈敏度。第九頁(yè),共35頁(yè)。(2)莫爾條紋移動(dòng)方向反映位移方向如光柵1沿著刻線垂直方向向右移動(dòng)時(shí),莫爾條紋將沿著光柵2的柵線向上移動(dòng);反之.當(dāng)光柵l向左移動(dòng)時(shí),莫爾條紋沿著光柵2的柵線向下移動(dòng)。因此根據(jù)莫爾條紋移動(dòng)方向就可以對(duì)光柵l的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行辨向。(3)誤差的平均效應(yīng)莫爾條紋由光柵的大量刻線形成.對(duì)線紋的刻劃(kèhuá)誤差有平均抵消作用.能在很大程度上消除短周期誤差的影響。
(4)莫爾條紋的光強(qiáng)度變化近似(jìnsì)正弦變化
第十頁(yè),共35頁(yè)。13.1.2光柵傳感器的組成光柵傳感器作為一個(gè)完整的測(cè)量裝置(zhuāngzhì)包括光柵讀數(shù)頭、光柵數(shù)顯表兩大部分。光柵讀數(shù)頭利用光柵原理把輸入量(位移量)轉(zhuǎn)換成響應(yīng)的電信號(hào)的部分;光柵數(shù)顯表是實(shí)現(xiàn)細(xì)分、辨向和顯示功能的電子系統(tǒng)。第十一頁(yè),共35頁(yè)。1.光柵讀數(shù)頭光柵讀數(shù)頭主要由標(biāo)尺(主)光柵、指示(副)光柵、光路系統(tǒng)和光電元件等組成。標(biāo)尺光柵的有效長(zhǎng)度即為測(cè)量范圍。指示光柵比標(biāo)尺光柵短得多.但兩者一般刻有同樣的柵距,使用時(shí)兩光柵互相重疊。兩者之間有微小的空隙。標(biāo)尺光柵一般固定在被測(cè)物體上,且隨被測(cè)物體一起(yīqǐ)移動(dòng),其長(zhǎng)度取決于測(cè)量范圍,指示光柵相對(duì)于光電元件固定。第十二頁(yè),共35頁(yè)。從圖看出,兩條暗帶中心線之間的光強(qiáng)變化是從黑暗(hēiàn)到漸暗,到漸亮,一直到最亮,又從最亮經(jīng)漸亮到漸暗,再到最暗的漸變過(guò)程。主光柵移動(dòng)一個(gè)柵距W.光強(qiáng)變化一個(gè)周期.若用光電元件接收莫爾條紋移動(dòng)時(shí)光強(qiáng)的變化,則將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào).接近于正弦周期函數(shù),如以電壓輸出.即第十三頁(yè),共35頁(yè)。2.光柵數(shù)顯表光柵讀數(shù)頭實(shí)現(xiàn)了位移量由非電量轉(zhuǎn)換為電量,位移是向量.因而對(duì)位移量的測(cè)量除了確定大小之外,還應(yīng)確定其方向。為了(wèile)辨別位移的方向,進(jìn)一步提高測(cè)量的精度,以及實(shí)現(xiàn)數(shù)字顯示的目的,必須把光柵讀數(shù)頭的輸出信號(hào)送入數(shù)顯表作進(jìn)一步的處理。光柵數(shù)顯表由整形放大電路、細(xì)分電路、辨向電路及數(shù)字顯示電路等組成。第十四頁(yè),共35頁(yè)。辨向原理:采用一個(gè)光電元件的光柵讀數(shù)頭,無(wú)論主光柵作正向還是反向移動(dòng),莫爾條紋都作明暗交替變化,光電元件總是輸出同一規(guī)律(guīlǜ)變化的電信號(hào),不能辨別運(yùn)動(dòng)方向。為了能夠辨向,需要有相位差為π/2的兩個(gè)電信號(hào)。第十五頁(yè),共35頁(yè)。第十六頁(yè),共35頁(yè)。(2)細(xì)分技術(shù)為提高分辨率和測(cè)量(cèliáng)比柵距更小的位移量,可采用細(xì)分技術(shù)。
所謂細(xì)分,就是在莫爾條紋信號(hào)變化一個(gè)周期內(nèi),發(fā)出若干個(gè)脈沖,如一個(gè)周期內(nèi)發(fā)出n個(gè)脈沖。即可使測(cè)量(cèliáng)精度提高到n倍,而每個(gè)脈沖相當(dāng)于原來(lái)柵距的1/n。由于細(xì)分后計(jì)數(shù)脈沖頻率提高到了n倍,因此也稱之為n倍頻。
第十七頁(yè),共35頁(yè)。在上述辨向原理中可知,在相差(xiānɡchà)BH/4位置上安裝兩個(gè)光電元件,得到兩個(gè)相位相差(xiānɡchà)的電信號(hào)、若將這兩個(gè)信號(hào)反相就可以得到四個(gè)依次相差(xiānɡchà)的信號(hào),從而可以在移動(dòng)一個(gè)柵距的周期內(nèi)得到四個(gè)計(jì)數(shù)脈沖,實(shí)現(xiàn)四倍頻細(xì)分。第十八頁(yè),共35頁(yè)。13.2編碼器將機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)的模擬量(位移)轉(zhuǎn)換成以數(shù)字代碼形式表示的電信號(hào),這類傳感器稱為(chēnɡwéi)編碼器。編碼器以其高精度、高分辨率和高可靠性被廣泛用于各種位移的測(cè)量。第十九頁(yè),共35頁(yè)。13.3.2信號(hào)處理方式第二十七頁(yè),共35頁(yè)。(4)莫爾條紋的光強(qiáng)度變化近似(jìnsì)正弦變化第二十三頁(yè),共35頁(yè)。(4)可以減少讀數(shù)誤差。分段繞組分為兩組,在空間相差90度相角,故又稱為正弦、余弦繞組。數(shù)字式傳感器的發(fā)展不長(zhǎng),到目前為止它有兩種類型:采用二進(jìn)制編碼器時(shí),任何微小的制作誤差,都可能造成讀數(shù)的粗誤差。式中的θ=2πx/w稱為感應(yīng)(gǎnyìng)電動(dòng)勢(shì)的相位角,它在一個(gè)節(jié)距W之內(nèi)與定尺和滑尺的相對(duì)位移有一一對(duì)應(yīng)的關(guān)系,每經(jīng)過(guò)一個(gè)節(jié)距,變化一個(gè)周期(2π)。第三十四頁(yè),共35頁(yè)。(1)測(cè)量精度和分辨率高;第二十五頁(yè),共35頁(yè)。2光柵傳感器的組成第二十九頁(yè),共35頁(yè)。數(shù)字式傳感器與模擬式傳感器相比有以下優(yōu)點(diǎn):(3)便于與微機(jī)接口,信號(hào)易于處理和存儲(chǔ).適宜遠(yuǎn)距離傳輸(chuánshū);編碼器按其結(jié)構(gòu)形式有接觸式、光電式、電磁式等,后兩種為非接觸式編碼器。非接觸式編碼器具有非接觸、體積小和壽命長(zhǎng),且分辨率高的特點(diǎn)。其中光電式編碼器的性價(jià)比最高,它作為精密位移傳感器在自動(dòng)測(cè)量和自動(dòng)控制技術(shù)中得到(dédào)了廣泛的應(yīng)用。目前我國(guó)已有23位光電編碼器。
第二十頁(yè),共35頁(yè)。13.2.1光電式編碼器由安裝在旋轉(zhuǎn)軸上的編碼圓盤(yuánpán)(碼盤)、窄縫以及安裝在圓盤(yuánpán)兩邊的光源和光敏元件等組成。碼盤由光學(xué)玻璃制成,其上刻有許多同心碼道,每位碼道上都有按一定規(guī)律排列的透光和不透光部分,即亮區(qū)和暗區(qū)。當(dāng)光源將光投射在碼盤上時(shí),轉(zhuǎn)動(dòng)碼盤,通過(guò)亮區(qū)的光線經(jīng)窄縫后,由光敏元件接收。光敏元件輸出信號(hào)的組合反映出按一定規(guī)律編碼的數(shù)字量。第二十一頁(yè),共35頁(yè)。二進(jìn)制碼盤具有以下主要特點(diǎn):(1)一個(gè)n位二進(jìn)制碼盤的最小分辨率,即能分辨的角度為(2)二進(jìn)制為有權(quán)碼,編碼Cn,Cn-1’….,C1對(duì)應(yīng)于有零位算起的轉(zhuǎn)角為;(3)碼盤轉(zhuǎn)動(dòng)中,CK變化時(shí),所有(suǒyǒu)的Cj(j<K)應(yīng)同時(shí)變化。
第二十二頁(yè),共35頁(yè)。采用二進(jìn)制編碼器時(shí),任何微小的制作誤差,都可能造成讀數(shù)的粗誤差。這主要是因?yàn)槎M(jìn)制碼當(dāng)某一較高的數(shù)碼改變時(shí),所有比它低的各位數(shù)碼均需同時(shí)改變。如果由于(yóuyú)刻劃誤差等原因,某一較高位提前或延后改變,就會(huì)造成粗誤差。為了消除粗誤差,可采用雙讀數(shù)頭法,或用循環(huán)碼代替二進(jìn)制碼。第二十三頁(yè),共35頁(yè)。(1)循環(huán)碼是一種無(wú)權(quán)碼,(2)從任何數(shù)變到相鄰數(shù)時(shí),僅有一位數(shù)碼發(fā)生變化,如果任一碼道刻劃有誤差,只要誤差不太大,且只可能(kěnéng)有一個(gè)碼道出現(xiàn)讀數(shù)誤差.產(chǎn)生的誤差最多等于最低位的一個(gè)比特。(3)對(duì)于n位循環(huán)碼碼盤,與二進(jìn)制碼一樣,具有種不同編碼,最小分辨率為
第二十四頁(yè),共35頁(yè)。因?yàn)檠h(huán)碼是一種無(wú)權(quán)(wúquán)碼,這給譯碼造成一定困難。通常先將它轉(zhuǎn)換成二進(jìn)制碼然后再譯碼。第二十五頁(yè),共35頁(yè)。13.2.2磁編碼器由磁鼓與磁阻探頭(tàntóu)組成。
第二十六頁(yè),共35頁(yè)。
感應(yīng)同步器是利用兩個(gè)平面形印刷電路繞組的互感隨相對(duì)位置不同而變化的原理,將直線(zhíxiàn)位移或角位移轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。第二十七頁(yè),共35頁(yè)。13.3.1結(jié)構(gòu)原理感應(yīng)同步器有直線式和旋轉(zhuǎn)式兩種,分別用于直線位移和角位移測(cè)量,兩者原理相同。直線式(長(zhǎng))感應(yīng)同步器由定尺和滑尺組成。在定尺和轉(zhuǎn)子上的是連續(xù)(liánxù)繞組,在滑尺和定子上的則是分段繞組。分段繞組分為兩組,在空間相差90度相角,故又稱為正弦、余弦繞組。第二十八頁(yè),共35頁(yè)。13.3.2信號(hào)處理方式按信號(hào)處理方式來(lái)分.可分為鑒相和鑒幅方式兩種。特征是用輸出感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)的相位(xiàngwèi)或幅值來(lái)進(jìn)行處理。下面以長(zhǎng)感應(yīng)同步器為例進(jìn)行敘述。1.鑒相方式滑尺的正余弦繞組在空間位置上錯(cuò)開l/4定尺節(jié)距,激勵(lì)時(shí)加上等幅等頻,相位(xiàngwèi)差為90度的交流電壓,即分別以sinwt和coswt來(lái)激勵(lì),這樣,就可根據(jù)感應(yīng)電勢(shì)的相位(xiàngwèi)來(lái)鑒別位移量,故叫鑒相型。
第二十九頁(yè),共35頁(yè)。當(dāng)正弦繞組單獨(dú)激勵(lì)時(shí)勵(lì)磁電壓為感應(yīng)(gǎnyìng)電勢(shì)為式中:k為耦合系數(shù)。當(dāng)余弦繞組單獨(dú)激勵(lì)時(shí)(勵(lì)磁電壓),感應(yīng)(gǎnyìng)電勢(shì)為
第三十頁(yè),共35頁(yè)。按疊加原理求得定尺上總感應(yīng)(gǎnyìng)電動(dòng)勢(shì)為
式中的θ=2πx/w稱為感應(yīng)(gǎnyìng)電動(dòng)勢(shì)的相位角,它在一個(gè)節(jié)距W之內(nèi)與定尺和滑尺的相對(duì)位移有一一對(duì)應(yīng)的關(guān)系,每經(jīng)過(guò)一個(gè)節(jié)距,變化一個(gè)周期(2π)。
第三十一頁(yè),共35頁(yè)。2.鑒幅方式如在滑尺的正弦、余弦繞組加以同頻、同相但幅值不等的交流激磁電壓,則可根據(jù)感應(yīng)電勢(shì)振幅來(lái)鑒別(jiànbié)位移量,稱為鑒幅型。加到滑尺兩繞組的交流
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