BG真空規(guī)管中文手冊(cè)

熱陰極電離復(fù)合真空計(jì) 使用說明書 BG804171BE目錄 產(chǎn)品標(biāo)識(shí) 有效范圍 使用范圍 工作原理 注冊(cè)商標(biāo) 1 安全 1.1 使用符號(hào) 1.2 人員素質(zhì) 1.3 一般安全規(guī)則 1.4 賠償責(zé)任與保修 2 技術(shù)參數(shù) 3 安裝 3.1 真空連接 3.1.1 拆卸和安裝電子學(xué)單元 3.1.2 安裝延伸件 3.2 電源連接 3.2.1 與COMBIVACIT23一起使用 3.2.2 與其它測(cè)量?jī)x器一起使用 4 運(yùn)行 4.1 測(cè)量原理，測(cè)量特性 4.2 真空計(jì)工作原理 4.3 除氣 4.4 顯示器 4.5 RS232C接口 4.5.1 功能說明IR090輸出IR090輸入 5 維護(hù) 5.1 維護(hù) 5.2 真空計(jì)調(diào)整 5.3 真空計(jì)清洗 5.4 安裝障板 5.5 更換障板 5.6 更換規(guī)管 5.7 故障查找 6 拆卸 7 產(chǎn)品返修 8 附件 9 備件 10 廢物處理 附錄 A. 測(cè)量訊號(hào)與壓強(qiáng)的關(guān)系 B. 氣體種類與壓強(qiáng)的關(guān)系 污染申報(bào)表 參閱本說明書中的章節(jié)，采用符號(hào)（→XY）。參閱其它文獻(xiàn)，采用符號(hào)（→［Z］）。產(chǎn)品標(biāo)識(shí) 與LeyboldInficon聯(lián)系時(shí)，請(qǐng)標(biāo)明產(chǎn)品標(biāo)牌上給出的信息。將信 息復(fù)制在標(biāo)牌的復(fù)印件上。 有效范圍 本說明書適用于下列件號(hào)的產(chǎn)品 不帶顯示器 12090 （法蘭DN25ISO-KF） 12092 （法蘭DN40CF-R） 帶顯示器 12091 （法蘭DN25ISO-KF） 12094 （法蘭DN40CF-R） 產(chǎn)品的件號(hào)在標(biāo)牌上標(biāo)明。 本公司保留對(duì)說明書不預(yù)先通知的技術(shù)更改權(quán)。使用范圍 IR090用于在壓強(qiáng)5×10-10…1000毫巴范圍內(nèi)非易燃性氣體和氣體混合物的真空測(cè)量。 真空計(jì)規(guī)管是SKYSmart真空計(jì)規(guī)管系列的一個(gè)組成部分?？? 與COMBIVACIT23或其它測(cè)量?jī)x器一起工作。工作原理 在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)，熱陰極電離復(fù)合真空計(jì)有連續(xù)的測(cè)量特性。 它的測(cè)量訊號(hào)是對(duì)數(shù)壓強(qiáng)輸出。 真空計(jì)的功能包括BA規(guī)熱陰極電離測(cè)量系統(tǒng)（用于p＜2.0×10-2 毫巴）和皮拉尼測(cè)量系統(tǒng)（用于p＞5.5×10-3毫巴）。在2.0×10-2 毫巴至p＞5.5×10-3毫巴的交叉壓強(qiáng)范圍內(nèi)，輸出兩個(gè)測(cè)量系統(tǒng) 的混合訊號(hào)。只有當(dāng)皮拉尼測(cè)量系統(tǒng)的壓強(qiáng)低于2.4×10-2毫巴 的閾值時(shí)，才能轉(zhuǎn)換至熱陰極測(cè)量系統(tǒng)（防止燈絲燒斷）。當(dāng)壓 強(qiáng)超過3.2×10-2毫巴時(shí)切斷電源。注冊(cè)商標(biāo) Combivac Leybold SKY LeyboldInficon1 安全1.1 使用符號(hào) 危險(xiǎn)有關(guān)防止任何人身傷害的信息。警告有關(guān)防止設(shè)備和環(huán)境損傷的信息。注有關(guān)正確掌握或使用的信息。如不注意可導(dǎo)致設(shè)備故障或局部損傷。 提示，建議 1.2 人員素質(zhì)技術(shù)熟練的人員本說明書中涉及的全部工作必須由經(jīng)過技術(shù)培訓(xùn)、有經(jīng)驗(yàn)的或由產(chǎn)品的最終用戶委派的人員執(zhí)行。 1.3 一般安全規(guī)則 ? 遵守安全使用規(guī)則，對(duì)過程介質(zhì)采取必要的預(yù)防措施。 注意材料（→第7頁(yè)）與過程介質(zhì)之間可能的反應(yīng)。 注意用于產(chǎn)品產(chǎn)生的熱導(dǎo)致過程介質(zhì)可能產(chǎn)生的反應(yīng)。 ? 全部工作必須在遵守安全使用規(guī)則和必要的預(yù)防措施下進(jìn) 行。注意本說明書中的安全要點(diǎn)。 ? 在開始工作前，檢查是否有被污染的真空元件。當(dāng)處理被污 染的元件時(shí)，遵守有關(guān)的規(guī)程和采取必要的預(yù)防措施。 與其它用戶交流安全方面的經(jīng)驗(yàn)。1.4 賠償與保修責(zé)任 如最終用戶或第三方有以下情況，LeyboldInficon將不承擔(dān)賠償 與保修責(zé)任。 ? 不理會(huì)本說明書中的要求 ? 在不適當(dāng)?shù)臓顟B(tài)下使用本產(chǎn)品 ? 對(duì)產(chǎn)品作任何變動(dòng)（修改，更改等） ? 使用不是相應(yīng)產(chǎn)品文件中所列的附件 對(duì)所使用的過程介質(zhì)，由最終用戶負(fù)責(zé)。技術(shù)參數(shù)測(cè)量 測(cè)量范圍（空氣，氮，氧） 5×10-10至1000毫巴,連續(xù) 精度 15%讀值 （10-8至10-2毫巴） （5分鐘后穩(wěn)定） 重復(fù)性 5%讀值 （10-8至10-2毫巴） （5分鐘后穩(wěn)定） 與氣體種類的關(guān)系 附錄B發(fā)射 發(fā)射on閾值 2.4×10-2毫巴 發(fā)射off閾值 3.2×10-2毫巴 發(fā)射電流 p≤7.2×10-6毫巴 5毫安 7.2×10-6＜p＜3.2×10-2毫巴 25微安 發(fā)射電流轉(zhuǎn)換 25微安5毫安 7.2×10-6毫巴 5毫安25微安 3.2×10-5毫巴除氣 電流 約16毫安/約4.0瓦 （p＜7.2×10-6毫巴） 控制輸入訊號(hào) 0伏/24伏，PLC-值，高動(dòng)態(tài) 時(shí)長(zhǎng) 至多3分，接著自動(dòng)停止 在除氣模式中，IR090保持提供測(cè)量值，誤差大于正常運(yùn)行。輸出訊號(hào) 輸出訊號(hào) 0至10伏 測(cè)量范圍 0.774伏5×10-10毫巴 10伏1000毫巴 電壓與壓強(qiáng)的關(guān)系 對(duì)數(shù)，0.75伏/量級(jí) 誤差訊號(hào) ＜0.3伏/0.5伏（→第25頁(yè)） 最小負(fù)荷 10仟?dú)W RS232C接口 波特率 9000波特 數(shù)據(jù)格式 二進(jìn)位數(shù)據(jù)組 8數(shù)據(jù)位 1停止位 無(wú)奇偶位 無(wú)同步交換 訊號(hào)值 ≈±8伏 連接件 T×D（傳送數(shù)據(jù)） 接腳13 R×D（接收數(shù)據(jù)） 接腳14 GND（外殼接地） 接腳15顯示器 平板型 LCD-點(diǎn)陣，32×16象素 帶有本底照明 尺寸 16.0×11.2毫米2 壓強(qiáng)單位 毫巴（缺?。?，乇，帕 電源 危險(xiǎn)真空計(jì)必須連接符合超低電壓接地保護(hù)（SELV-E，按照EN61010）要求的電源和測(cè)量?jī)x器。連接真空計(jì)必須有保險(xiǎn)絲。 真空計(jì)電壓 24伏直流（20至28伏）2） 最大紋波2Vpp 功率損耗 標(biāo)準(zhǔn) ≤0.5安 除氣 ≤0.8安 發(fā)射起始（＜200毫安） ≤1.4安 功率損耗 ≤16瓦 保險(xiǎn)絲1） ≤1.25AT 規(guī)管電纜 電連接件 DSub連接件，15腳，插頭 電纜 僅用于模擬值 無(wú)除氣功能 4極加屏蔽 用于模擬值 有除氣功能 5極加屏蔽 全部功能 包括RS232C接口 7極加屏蔽 電纜長(zhǎng)度，最長(zhǎng)（24伏直流） 35毫米（0.25毫米2導(dǎo)線） 50毫米（0.34毫米2導(dǎo)線） 100毫米（1.0毫米2導(dǎo)線） 用于RS232C工作 ≤30米 真空 真空側(cè)的材料 不銹鋼，銥，氧化釔，玻璃， NiFe，NiCr，鎢，鉬，銅 內(nèi)容積 DN25ISO-KF ≤24毫升 DN40CF-R ≤34毫升 壓強(qiáng)，最大 2巴（絕對(duì)） 環(huán)境 允許溫度 儲(chǔ)存 -20℃至70℃ 工作 0℃至50℃ 烘烤 +150℃（無(wú)電子學(xué)單元或 帶延伸件→第28頁(yè)） 相對(duì)濕度 （年平均/在60天中） ≤65/85%（無(wú)凝聚） 使用 僅室內(nèi) 海拔高至2000米NN 保護(hù)類型 IP30 1）COMBIVACIT23滿足這些要求 2）電源的最低電壓必須隨測(cè)量電纜的長(zhǎng)度等比增加 尺寸 法蘭DN25ISO-KF 測(cè)量［毫米］ 重量 285克 法蘭DN40CF-R 測(cè)量［毫米］ 重量 550克3 安裝3.1 真空連接注注意：真空元件灰塵與損傷將影響真空元件的功能取持真空元件時(shí)采取適當(dāng)措施確保清潔和防止損傷危險(xiǎn)注意：真空系統(tǒng)中有壓力＞1巴如不正確或不小心地夾緊和打開，可能受到彈開部件的傷害，或受到泄漏的保護(hù)氣體傷害采用可使用工具打開或夾緊的夾具（如軟管卡箍夾環(huán)）危險(xiǎn)注意：電源電壓不正確接地的產(chǎn)品在故障中是極危險(xiǎn)的真空計(jì)必須電連接至接地的真空室。連接件必須符合EN61010的保護(hù)接地要求：?CF法蘭滿足這個(gè)要求?KF法蘭的真空計(jì)，使用導(dǎo)體的金屬夾環(huán) ? 真空計(jì)可任何方向安裝。但不允許任何微?；蚰畚镞M(jìn)入測(cè) 量室。 ? 必須有足夠的安裝空間（第8頁(yè)）。 ? 如必須無(wú)電子學(xué)單元時(shí)才能連接法蘭，卸下電子學(xué)單元（ 第10頁(yè)）。 ? 建議采用金屬密封的真空法蘭（超密封環(huán)第28頁(yè)），因 為橡膠密封（Vitilan，Viton）可影響測(cè)量精度，釋放氣體于 10-6毫巴量級(jí)。 ? 真空計(jì)內(nèi)裝有篩網(wǎng)。存在嚴(yán)重污染的應(yīng)用條件下建議安裝選 件障板（第28頁(yè)）以防止光和快粒子損壞電極（第24 頁(yè)）。 ? 規(guī)管可烘烤至150℃。溫度50℃以上必須卸下電子學(xué)單元 （第10頁(yè)）或安裝（第11頁(yè)）延伸件（附件第28 頁(yè)）。 步驟 1 取下保護(hù)蓋 維護(hù)時(shí)需要 使用保護(hù)蓋連接法蘭安裝真空計(jì)時(shí)，注意連接件周圍是否在真空計(jì)安裝后允許插入調(diào)整針桿（第21頁(yè)）。安裝帶有顯示器的真空計(jì)時(shí)注意要便于閱讀顯示器。3.1.1拆卸和安裝電子學(xué)單元需用工具/材料 ? L型六角板手2.5毫米拆卸 a） 擰下電子學(xué)單元（2）側(cè)面的內(nèi)六角螺釘（1）卸下電子學(xué)單元，不要扭轉(zhuǎn)它。 安裝 a） 將電子學(xué)單元放置在規(guī)管（3）上（注意接腳（4）的正確位 置）。 b） 將電子學(xué)單元插至機(jī)械止點(diǎn)，并用內(nèi)六角螺釘（1）鎖住它。 使用選件延伸件（→見第28頁(yè)）規(guī)管可在運(yùn)行中烘烤至150℃ （僅在p＜10-2毫巴，因?yàn)樵诟邷叵缕だ嵋?guī)管測(cè)量不正確）。注注意：上升的熱量如帶有延伸件的電子學(xué)單元位于規(guī)管上方，當(dāng)烘烤時(shí)可因上升的熱量而被損壞。將規(guī)管水平方向安裝。 烘烤區(qū)域 步驟 a） 取下電子學(xué)單元（2）（→見第10頁(yè)）。 b） 將規(guī)管（3）插入延伸件（6）至機(jī)械止點(diǎn)，注意接腳（4） 的正確位置。 c） 用內(nèi)六角螺釘（7）緊固規(guī)管。d） 插入電子學(xué)單元（2）至機(jī)械止點(diǎn)，注意接腳（4a）的正確 位置。 e） 用內(nèi)六角螺釘（1）緊固電子學(xué)單元（2）。 3.2 電源連接3.2.1與COMBIVACIT23一起使用如真空計(jì)與COMBIVACIT23一起使用需要一根規(guī)管電纜（→見 第28頁(yè)）。 ? 將插頭連接真空計(jì)，并用螺絲緊固。 ? 電纜另一端的插頭與COMBIVACIT23連接，并緊固。3.2.2與其它測(cè)量?jī)x器一起使用真空計(jì)可與其它測(cè)量?jī)x器一起使用在此情況下，需使用單獨(dú)的規(guī) 管電纜（預(yù)配置電纜→見第28頁(yè)）。 電纜長(zhǎng)度不超過5米（導(dǎo)體截面0.34毫米2），可在正訊號(hào)輸出（接腳2）與公共接地GND（接腳5）之間測(cè)量，不影響測(cè)量精度。如電纜長(zhǎng)度超過5米，建議在正訊號(hào)輸出（接腳2）與訊號(hào)接地（接腳12）之間進(jìn)行測(cè)量（由于在電源接地線上的功率損失，最大允許電纜長(zhǎng)度的公用模式訊號(hào)約為1.0伏）。 步驟 1 打開電纜合（D-Sub，15-腳， 插座）。準(zhǔn)備電纜。按圖焊接規(guī)管電纜。圖1 電連接件 接腳1 未用 接腳2 訊號(hào)輸出 （測(cè)量訊號(hào)） 接腳3 未用 接腳4 未用 接腳5 電源接地GND 接腳6 未用 接腳7 除氣on， 電纜合，焊接側(cè) 高動(dòng)態(tài) 接腳8 電源24伏直流 接腳9 未用 接腳10 未用 接腳11 未用 接腳12 訊號(hào)接地GND 接腳13 RS232C，T×D 接腳14 RS232C，R×D 接腳15 屏蔽外殼GND警告電源接地GND（接腳5）和屏蔽（接腳15）必須與保護(hù)接地連接。不正確的連接、不正確的極性或不允許的電源電壓將損壞真空計(jì)。 4 裝回電纜合。 5 按照測(cè)量?jī)x器連接件裝備電纜 的另一端 6 插入電纜合。 用螺釘將電纜合 緊固在真空計(jì)上 7 將電纜的另一端與測(cè)量?jī)x器連接4 運(yùn)行 當(dāng)供應(yīng)電壓時(shí)，在腳2與腳12之間有測(cè)量訊號(hào)（測(cè)量訊號(hào)與壓強(qiáng)的關(guān)系→附錄A）。 估計(jì)約10分鐘的穩(wěn)定時(shí)間。一旦真空計(jì)電源on后，不管壓強(qiáng)如何，一直讓它保持on。4.1 測(cè)量原理，測(cè)量特性 IR090包含兩個(gè)單獨(dú)的測(cè)量系統(tǒng)（熱陰極B-A計(jì)和皮拉尼計(jì)）。 B-A計(jì) B-A計(jì)測(cè)量系統(tǒng)按照Bayard-Alpert原理，設(shè)計(jì)于低x-射線限值。 測(cè)量系統(tǒng)原理基于氣體電離。由熱陰極（F）發(fā)射的電子,電離氣 體分子，產(chǎn)生的離子與測(cè)量室的壓強(qiáng)成正比。離子收集極（IC） 收集它們產(chǎn)生離子流I+，并將其輸送至測(cè)量?jī)x器的靜電放大器。 離子流的大小與發(fā)射電流Ie、氣體種類和氣體壓強(qiáng)p有關(guān)，其 關(guān)系式為： 系數(shù)C代表規(guī)管靈敏度。通常是指對(duì)氮?dú)獾撵`敏度。 測(cè)量下限為5×10-10毫巴（金屬密封）。為使靈敏度覆蓋從5×10-10毫巴至10-2毫巴整個(gè)測(cè)量范圍，在高壓強(qiáng)范圍（低真空）使用低發(fā)射電流，低壓強(qiáng)范圍（高真空）使用高發(fā)射電流。發(fā)射電流的轉(zhuǎn)換在壓強(qiáng)降低時(shí)發(fā)生在7.2×10-6毫巴，在壓強(qiáng)升高時(shí)發(fā)生在3.2×10-5毫巴。在轉(zhuǎn)換閾值，IR090可暫時(shí)（＜2秒）偏離規(guī)定的精度。圖1B-A測(cè)量系統(tǒng)示意圖 F 熱陰極（燈絲） IC 離子收集極 EC 電子收集極（篩網(wǎng)）皮拉尼計(jì) 在一定限值內(nèi)氣體的熱導(dǎo)與壓強(qiáng)有關(guān)。Pirani將這個(gè)物理現(xiàn)象用于壓強(qiáng)測(cè)量。采用自調(diào)整電橋作為測(cè)量電路（見圖2）。傳感元件采用細(xì)的鎢絲。通過適當(dāng)?shù)目刂齐娐穼⒔z電阻（即溫度） 保持不變。測(cè)量供應(yīng)給絲的電功率來(lái)測(cè)量熱導(dǎo)從而測(cè)量壓強(qiáng)。 自調(diào)整電橋的基本原理示于圖2中。 圖2電橋電壓U用于測(cè)量氣體壓強(qiáng)，并進(jìn)行進(jìn)一步電處理（線性化，數(shù)字化）。 測(cè)量范圍 IR090覆蓋從5×10-10毫巴至1000毫巴整個(gè)連續(xù)的測(cè)量范圍。 ? 皮拉尼計(jì)始終監(jiān)測(cè)壓強(qiáng)。? 熱陰極計(jì)（由皮拉尼計(jì)控制）只在壓強(qiáng)低于2.4×10-2毫巴下工作。如被測(cè)量的壓強(qiáng)高于轉(zhuǎn)換閾值，熱陰極計(jì)被關(guān)斷，皮拉尼計(jì)輸出訊號(hào)顯示測(cè)量值。當(dāng)皮拉尼計(jì)的測(cè)量值低于轉(zhuǎn)換閾值（p=2.4×10-2毫巴）時(shí)，熱陰極計(jì)接通。熱陰極加熱后即輸出測(cè)量值。在5.5×10-3至2.0×10-2毫巴的搭接范圍內(nèi)兩個(gè)計(jì)均輸出訊號(hào)（→見圖3）。圖3當(dāng)壓強(qiáng)上升超過閾值（p=3.2×10-2毫巴）時(shí)，熱陰極計(jì)將被關(guān)斷。輸出將回到皮拉尼計(jì)的讀值。 與氣體種類的關(guān)系 測(cè)量訊號(hào)與氣體種類有關(guān)。特性曲線對(duì)干燥空氣，氮和氧是正確的。對(duì)其它氣體可轉(zhuǎn)換（→見附錄B）。 4.2 真空計(jì)工作原理 規(guī)管測(cè)量電流（B-A計(jì)和皮拉尼計(jì)）由電流/頻率轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換成與頻率有關(guān)的測(cè)量讀值。由微處理器產(chǎn)生這個(gè)頻率訊號(hào)的數(shù)字輸出，即總壓強(qiáng)測(cè)量值。這個(gè)值有一個(gè)0至10伏的模擬輸出（腳2/腳12），并可通過RS232C接口（腳13/腳14/腳15）讀出數(shù)字值。帶有顯示器的真空計(jì)（產(chǎn)品號(hào)12091和12094）顯示壓強(qiáng)值。通過軟件，輸出壓強(qiáng)值限制于10伏（大氣壓）。除轉(zhuǎn)換測(cè)量訊號(hào)的功能外，微處理器的功能還包括監(jiān)測(cè)發(fā)射電流、基于從兩個(gè)規(guī)管的兩次測(cè)量計(jì)算總壓強(qiáng)、壓強(qiáng)顯示（產(chǎn)品號(hào)12091和12094）和通過RS232C接口進(jìn)行通訊。4.3 除氣 污染 注由于污染損壞的真空計(jì)不屬于保修范圍。 熱陰極電離真空計(jì)電極系統(tǒng)上的淀積層可導(dǎo)致不穩(wěn)定的測(cè)量讀 值。建議在低于7.2×10-6毫巴壓強(qiáng)下（5毫安發(fā)射電流）對(duì)陽(yáng)極進(jìn)行除氣。根據(jù)應(yīng)用，這功能可手動(dòng)啟動(dòng)或由系統(tǒng)控制器（PLC）自動(dòng)啟動(dòng)。如烘烤未及時(shí)切斷，3分鐘后IR090將自動(dòng)關(guān)斷烘烤。對(duì)于重復(fù)的除氣過程，控制訊號(hào)首先必須從ON（24伏）至OFF（0伏），然后重新ON（24伏）開始除氣。建議在3分鐘除氣后通過系統(tǒng)控制器重新將烘烤OFF，以達(dá)到一個(gè)明確的工作狀態(tài)。除氣過程通過電子轟擊將電子收集極的柵絲加熱至約700℃。4.4 顯示器 產(chǎn)品號(hào)為1209112094的真空計(jì)內(nèi)裝有LCD-點(diǎn)陣，32×16象素兩行顯示器。第一行顯示壓強(qiáng)值，第二行顯示壓強(qiáng)單位，必要時(shí)將顯示功能和誤差。本底照明通常是綠色，當(dāng)出現(xiàn)故障時(shí)變成紅色。壓強(qiáng)顯示為毫巴（缺?。?、乇或帕。壓強(qiáng)單位可通過RS232C接口改變（→見第20頁(yè)）。 壓強(qiáng)顯示 測(cè)量，壓強(qiáng)單位 功能顯示 （無(wú)） 皮拉尼模式 E 發(fā)射電流25微安 E1 發(fā)射電流5毫安 D 除氣 R 1000毫巴調(diào)整（皮拉尼計(jì)） 誤差顯示 ok 無(wú)誤差 （本底照明綠色）4 皮拉尼計(jì)報(bào)警 （本底照明紅色） 9 皮拉尼計(jì)誤差 （本底照明紅色） 8 熱陰極電離計(jì)誤差 （本底照明紅色） 內(nèi)部數(shù)據(jù)連接故障 （本底照明紅色）4.5 RS232C接口 通過RS232C接口可傳送數(shù)字測(cè)量數(shù)據(jù)和儀器情況以及設(shè)定儀 器參數(shù)。 RS232C接口工作于雙重模式。約每20毫秒發(fā)送一個(gè)9字節(jié)的 字符串。 工作參數(shù) ? 9600波特，設(shè)定值 ? 8個(gè)數(shù)據(jù)位 ? 1個(gè)停止位 ? 無(wú)奇偶校驗(yàn) ? 無(wú)信號(hào)交換 要求接線 ? T×D 腳13 ? R×D 腳14 ? GND 腳15IR090輸出 發(fā)送的字符串（幀）是9個(gè)字節(jié) 數(shù)據(jù)字符串（字節(jié)1至字節(jié)7）是7個(gè)字節(jié) 字符串的格式 例： 字節(jié)號(hào) 數(shù)據(jù) 字節(jié)0 數(shù)據(jù)字符串長(zhǎng)度 （始終7） 字節(jié)1 頁(yè)碼 （始終5） 位 字節(jié)2 狀態(tài) 0 發(fā)射狀態(tài) 0=發(fā)射off 1=25微安 1 發(fā)射狀態(tài) 2=5毫安 3=除氣 2 調(diào)整狀態(tài) 1當(dāng)1000毫安調(diào)整時(shí) 3 切換位，用每個(gè)已知的字符串改變 4 單位 0=毫巴 1=除氣 5 單位 2=帕 字節(jié)3 誤差 4 誤差 5=皮拉尼計(jì)未調(diào)整好 5 誤差 8=電離計(jì)誤差 6 誤差 9=皮拉尼計(jì)故障 7 誤差 字節(jié)4 測(cè)量高-字節(jié) 字節(jié)5 測(cè)量低-字節(jié) 字節(jié)6 軟件版號(hào)（缺省輸出） 字節(jié)7 規(guī)管型號(hào)（IR090：始終10） 字節(jié)8 數(shù)據(jù)字符串的校驗(yàn)和 壓強(qiáng)計(jì)算 p/毫巴 p/乇 p/帕 例（見上） 高-字節(jié)=242，低-字節(jié)=48 p［毫巴］=1000毫巴IR090輸入 傳送至真空計(jì)的指令，發(fā)送5個(gè)字節(jié)的字符串（幀）（無(wú)＜CR＞）。 字節(jié)1至字節(jié)3組成數(shù)據(jù)字符串。 字符串的格式 字節(jié)0 數(shù)據(jù)字符串長(zhǎng)度（始終3） 字節(jié)1 功能 字節(jié)2 地址 字節(jié)3 數(shù)據(jù) 字節(jié)4 數(shù)據(jù)字符串的校驗(yàn)和 下列字符串是可能的：字節(jié)號(hào)01234在顯示中設(shè)定單位為毫巴31662078在顯示中設(shè)定單位為乇31662179在顯示中設(shè)定單位為帕31662280電源-故障-安全儲(chǔ)存當(dāng)前單位3326262156將除氣on（3分鐘后將它off）316931481在3分鐘前將除氣off316931052145 維護(hù)5.1 維護(hù) 危險(xiǎn)注意：污染的部件污染的部件可損害您的健康。在工作前，檢查工作部件是否已污染。按照相關(guān)的規(guī)程，采取必要的措施處理這些部件。5.2 真空計(jì)調(diào)整 真空計(jì)在出廠前已校準(zhǔn)。通過使用中不同的氣候條件、安裝位置、老化或污染（→見17頁(yè)）和規(guī)管更換（→見25頁(yè)），可產(chǎn)生特性曲線的偏移，必須重新校準(zhǔn)。僅皮拉尼計(jì)可以調(diào)整，只在大氣壓下調(diào)整。按下按鈕數(shù)字值和模擬值可在大氣壓下調(diào)整至10伏。在下列情況下，調(diào)整是必須的：? 在大氣壓下輸出訊號(hào)＜10伏或顯示器讀值＜大氣壓? 在放空時(shí)輸出電壓在測(cè)量壓強(qiáng)達(dá)到大氣壓之前達(dá)到10伏1）（帶顯示器的真空計(jì)在大氣壓出現(xiàn)誤差指示“5”（皮拉尼規(guī)管報(bào)警→見18頁(yè)）。1）由軟件將輸出電壓限制于10伏。需用工具 ? 針桿約?1.3×50毫米（例如，曲別針）步驟 1 將真空計(jì)在大氣壓下工作約10分鐘。如真空計(jì)工作在電離 計(jì)范圍前，預(yù)期需冷卻時(shí)間約30分鐘。 （真空計(jì)溫度=室溫）。插入針桿通過標(biāo)志＜全量程＞的開口，按下內(nèi)部的按鈕約5秒鐘。 當(dāng)按下約4秒鐘時(shí)，帶顯示器的真空計(jì)將指示讀值“1000毫巴”和功能“A”。調(diào)整將自動(dòng)進(jìn)行并在另一個(gè)4秒鐘后停止。功能“A”的指示消失。5.3 真空計(jì)清洗 電極系統(tǒng)上的少量淀積物可通過陽(yáng)極除氣去除（除氣→見第17頁(yè)）。在嚴(yán)重污染的情況下可容易地更換障板（→見第24頁(yè)）。如規(guī)管被嚴(yán)重污染必須更換不能清洗（→見第25頁(yè)）。外殼的清洗用濕布即可。不要使用腐蝕性的或磨損性的清洗劑。注不要讓任何液體進(jìn)入規(guī)管。在再次使用前讓規(guī)管保持良好的干燥狀態(tài)。5.4 安裝障板 在嚴(yán)重污染的過程中為保護(hù)電極不受光或快速微粒的打擊，建議 用選件障板來(lái)代替篩網(wǎng)（→見第28頁(yè)）。注注意：對(duì)污染靈敏的區(qū)域污染將加長(zhǎng)抽空時(shí)間。戴上清潔的無(wú)纖維手套和使用清潔的工具。 需用工具/材料 ? 障板（→見28頁(yè)） ? 鑷子 ? 桿子（如鉛筆） 步驟 a） 用鑷子小心地取出篩網(wǎng)。 b） 在規(guī)管開口上小心地放入障板。 c） 在中心位置用桿子將障板往下壓，直至它被阻擋住。5.5 更換障板 在嚴(yán)重污染的情況下，可容易地更換障板。注注意：對(duì)污染靈敏的區(qū)域污染將加長(zhǎng)抽空時(shí)間。戴上清潔的無(wú)纖維手套和使用清潔的工具。 需用工具/材料 ? 新障板（→見第28頁(yè)） ? 螺絲刀，1號(hào) ? 桿子（如鉛筆） 步驟 a） 用螺絲刀小心地取出障板。 b） 在規(guī)管開口上小心地放入新的障板。 c） 在中心位置用桿子將障板往下壓，直至它被阻擋住。5.6 更換規(guī)管 以下情況必須更換規(guī)管： ? 規(guī)管被嚴(yán)重污染時(shí) ? 規(guī)管損壞時(shí)，例如燈絲已斷。需用工具/材料 ? L型六角板手，2.5毫米 ? 更換用規(guī)管（→見第28頁(yè)） 步驟 a） 取下規(guī)管（→見第26頁(yè)） b） 從損壞的規(guī)管上取下電子學(xué)單元，裝在新的規(guī)管上（→見第10頁(yè)） c） 調(diào)整真空計(jì)（→見第21頁(yè)）。5.7 故障查找 問題可能原因解決方法測(cè)量訊號(hào)＜0.2伏連接電纜損壞或未插好檢查連接電纜測(cè)量訊號(hào)始終＜0.29伏無(wú)電源電壓將電源on真空計(jì)在不確定的條件下將真空計(jì)off后再on（復(fù)位）測(cè)量訊號(hào)＜0.3伏（顯示：誤差=8）熱陰極計(jì)誤差（規(guī)管故障）更換規(guī)管（→見第25頁(yè)）測(cè)量訊號(hào)＜0.5伏（顯示：誤差=9）皮拉尼計(jì)誤差（規(guī)管故障）更換規(guī)管（→見第25頁(yè)）測(cè)量訊號(hào)＜0.5伏電子學(xué)單元未正確安裝在規(guī)管上檢查連接顯示：無(wú)訊號(hào)內(nèi)部數(shù)據(jù)連接不工作將真空計(jì)off，5秒鐘后再on更換電子學(xué)單元在出現(xiàn)誤差的情況下，首先將電源off，5秒鐘后再on，可能會(huì)有所助益。6 拆卸危險(xiǎn)注意：污染的部件污染的部件可損害您的健康。在工作前，檢查工作部件是否已污染。按照相關(guān)的規(guī)程，采取必要的措施處理這些部件。注注意：真空元件灰塵與損傷將影響真空元件的功能取拿真空元件時(shí)采取適當(dāng)措施確保清潔和防止損傷 步驟 1 將真空系統(tǒng)放空。 2 將真空計(jì)退出運(yùn)行。拔下連接電纜插頭。 4 從真空系統(tǒng)中卸下真空計(jì)。 5 蓋上保護(hù)蓋。7 產(chǎn)品返修 警告注意：發(fā)送已污染的產(chǎn)品產(chǎn)品送LeyboldInficon返修應(yīng)無(wú)危害性物質(zhì)（例如：放射性、毒性、腐蝕性或微生物）。遵守有關(guān)國(guó)家和公司的規(guī)定，和附一份完整的污染申報(bào)表（→見35頁(yè)） 無(wú)完整的污染申報(bào)表的產(chǎn)品將返回發(fā)送者。8 附件訂貨號(hào)24伏直流電源/RS232C線按要求（12106）延伸件，100毫米按要求（12706）COMBIVACIT23，控制器16380規(guī)管電纜帶Dsub連接件（真空計(jì)）-另一端未規(guī)定，10米規(guī)管電纜IR090–IT23，10米1636916383障板DN25ISO-KF/DN40CF-R12107超密封圈外支撐環(huán)超密封圈的夾環(huán)8837588376882779 備件 訂購(gòu)備件時(shí)，請(qǐng)?zhí)峁┫铝行畔ⅲ? ? 儀器標(biāo)牌上的全部信息 ? 按備件清單中的訂貨號(hào)和說明訂貨號(hào)IR090規(guī)