GB/T 13388-1992硅片參考面結(jié)晶學(xué)取向Ｘ射線測量方法

標(biāo)準(zhǔn)解讀

GB/T 13388-1992 是一項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn)，全稱為《硅片參考面結(jié)晶學(xué)取向X射線測量方法》。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了使用X射線衍射技術(shù)來測定硅片參考面上的結(jié)晶學(xué)取向的方法，旨在為半導(dǎo)體材料的質(zhì)量控制和特性分析提供統(tǒng)一的測量規(guī)范。以下是該標(biāo)準(zhǔn)的主要內(nèi)容概述：

1. 范圍：明確了本標(biāo)準(zhǔn)適用于單晶硅片，特別是用于集成電路和其它電子器件制造的硅片，規(guī)定了通過X射線衍射技術(shù)測定其結(jié)晶學(xué)取向的具體方法。

2. 引用標(biāo)準(zhǔn)：列出了實(shí)施該測量方法所依據(jù)或參考的其他相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)和國際標(biāo)準(zhǔn)，確保測量過程的準(zhǔn)確性和可比性。

3. 術(shù)語和定義：對(duì)標(biāo)準(zhǔn)中使用的專業(yè)術(shù)語進(jìn)行了定義，包括結(jié)晶學(xué)取向、布拉格角、衍射峰等，有助于讀者準(zhǔn)確理解測量中的概念。

4. 原理：闡述了X射線衍射的基本原理，即當(dāng)X射線照射到晶體時(shí)，會(huì)根據(jù)布拉格定律在特定角度產(chǎn)生衍射現(xiàn)象，通過分析這些衍射峰可以確定晶體的取向。

5. 儀器要求：詳細(xì)描述了進(jìn)行X射線衍射測量所需的儀器設(shè)備規(guī)格和性能要求，包括X射線源、探測器、樣品臺(tái)及其精確度和穩(wěn)定性等，以保證測量結(jié)果的可靠性。

6. 樣品制備與處理：說明了硅片樣品在測量前的準(zhǔn)備步驟，如清潔、減薄、定向標(biāo)記等，確保測量過程中樣品狀態(tài)的一致性和代表性。

7. 測量程序：具體描述了測量的操作步驟，包括如何設(shè)置儀器參數(shù)（如掃描范圍、步進(jìn)大?。?、樣品放置方式、數(shù)據(jù)采集方法及必要的重復(fù)測量以提高數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。

8. 數(shù)據(jù)處理與分析：規(guī)定了如何從原始衍射數(shù)據(jù)中提取有用信息，計(jì)算結(jié)晶學(xué)取向角，以及如何評(píng)估和報(bào)告測量結(jié)果的不確定度。

9. 質(zhì)量控制：提出了確保測量質(zhì)量的措施，如定期校準(zhǔn)儀器、使用標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行驗(yàn)證等，確保測量結(jié)果的可靠性和重復(fù)性。

10. 安全要求：強(qiáng)調(diào)了在進(jìn)行X射線衍射測量時(shí)應(yīng)遵守的安全規(guī)范，以防輻射傷害，包括操作人員的防護(hù)裝備和實(shí)驗(yàn)室的安全措施。

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