GB/T 16944-2009電子工業(yè)用氣體氮

犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜１６９４４—２００９

代替ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７

電子工業(yè)用氣體氮

犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔—犖犻狋狉狅犵犲狀

２００９１０３０發(fā)布２０１００５０１實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

書

犌犅／犜１６９４４—２００９

前言

本標(biāo)準(zhǔn)代替ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７《電子工業(yè)用氣體氮》。

本標(biāo)準(zhǔn)與ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７相比主要變化如下：

———修改電子工業(yè)用氮的適用范圍（ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７的第１章，本版的第１章）；

———修改規(guī)范性引用文件（ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７的第２章，本版的第２章）；

———修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容（ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７的第３章，本版的第３章）；

———修改電子工業(yè)用氮抽樣和判定規(guī)則（ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７的４．１，本版的４．１）；

———增加電子工業(yè)用氮采樣要求（見４．１．３）；

———修改氫、氧、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法（ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７的４．３、４．４、４．６，本版的

４．３）；

———修改總烴分析方法的檢測(cè)限（１６９４４—１９９７的４．７，本版的４．４）；

———修改水分含量的分析方法（ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７的４．５，本版的４．６）；

———修改標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全（ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７的第５章，本版的第５章）；

———增加規(guī)范性附錄Ａ，并把測(cè)定電子工業(yè)用氮中的氫、氧、一氧化碳、二氧化碳含量的方法寫入該

附錄（見附錄Ａ）。

本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ａ為規(guī)范性附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì)歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：中國計(jì)量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計(jì)院。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：周澤義、周鵬云。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７。

Ⅰ

書

犌犅／犜１６９４４—２００９

電子工業(yè)用氣體氮

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氣體氮的技術(shù)要求，試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于以深冷法從空氣中提取的氣態(tài)和液態(tài)氮，以及經(jīng)電化學(xué)方法得到的氮。它們?cè)诔?/p>

規(guī)模集成電路制造中用作保護(hù)、吹掃、覆蓋、加壓，化學(xué)氣相淀積等。

分子式：Ｎ２。

相對(duì)分子質(zhì)量：２８．０１３４（按２００５年國際相對(duì)原子質(zhì)量計(jì)算）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＧＢ１９０危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

ＧＢ／Ｔ３８６４工業(yè)氮

ＧＢ５０９９鋼質(zhì)無縫氣瓶（ＧＢ５０９９—１９９４，ｎｅｑＩＳＯ４７０５：１９９３）

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標(biāo)志

ＧＢ／Ｔ８９８４氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳?xì)浠衔锏臏y(cè)定氣相色譜法

ＧＢ１４１９４永久氣體氣瓶充裝規(guī)定

ＧＢ１６９１２深度冷凍法生產(chǎn)氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程

ＪＢ／Ｔ５９０５真空多層絕熱低溫液體容器

ＪＢ／Ｔ６８９７低溫液體運(yùn)輸車

ＪＢ／Ｔ６８９８低溫液體貯運(yùn)設(shè)備使用安全規(guī)則

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程

壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程

壓力管道安全管理與監(jiān)察規(guī)定

３技術(shù)要求

電子工業(yè)用氣體氮的質(zhì)量應(yīng)符合表１的要求。

表１技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目指標(biāo)

－２

氮（Ｎ２）純度（體積分?jǐn)?shù)）／１０≥９９．９９９９９９．９９９６

－６

氫（Ｈ２）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜０．１１．０

－６

氧（Ｏ２）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜０．２０．５

一氧化碳（ＣＯ）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０－６＜０．１０．５

－６

二氧化碳