GB/T 25915.3-2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分：檢測(cè)方法

ICS13.040.35C70中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T25915.3-2010/ISO14644-3：2005潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分：檢測(cè)方法Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments-Part3：Testmethods(ISO14644-3:2005.IDT)2011-01-14發(fā)布2011-05-01實(shí)施中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局愛(ài)布中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化餐理委員會(huì)

GB/T25915.3-2010/ISO14644-3：2005二次前言引言1范圍規(guī)范性引用文件3術(shù)語(yǔ)和定義3.1一般術(shù)語(yǔ)3.2空氣懸浮粒子測(cè)量3.3空氣過(guò)濾器和過(guò)濾系統(tǒng)3.43.5靜電測(cè)量3.6測(cè)量器具和測(cè)量條件3.7占用狀態(tài)4檢測(cè)規(guī)程4.1潔凈室檢測(cè)4.2原理55檢測(cè)報(bào)告附錄A（資料性附錄)檢測(cè)項(xiàng)目的選擇和實(shí)施順序附錄B（資料性附錄)檢測(cè)方法附錄C（資料性附錄)檢測(cè)儀器參考文獻(xiàn)

GB/T25915.3-2010/IS014644-3:2005前GB/T25915《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》分為八個(gè)部分：第1部分：空氣潔凈度等級(jí)；第2部分：證實(shí)持續(xù)符合GB/T25915.1的檢測(cè)與監(jiān)測(cè)技術(shù)要求：第3部分：檢測(cè)方法；第4部分：設(shè)計(jì)、建造、啟動(dòng)；第5部分：運(yùn)行：第6部分：詞匯：-第7部分：隔離裝置(潔凈風(fēng)罩、手套箱、隔離器、微環(huán)境)第第8部分：空氣分子污染分級(jí)本部分是GB/T25915的第3部分本部分按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草本部分使用翻譯法等同采用ISO14644-3:2005《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分：檢測(cè)方法》。本部分由全國(guó)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC319）提出并歸口。本部分由蘇州尚科潔凈技術(shù)有限公司、上?？菩艡z測(cè)科技有限公司、北京市產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)所負(fù)責(zé)起草，蘇州英德?tīng)柺覂?nèi)空氣技術(shù)有限公司、北京控制工程研究所、蘇州克林絡(luò)姆空調(diào)系統(tǒng)工程有限公司、蘇州工業(yè)園區(qū)宏基潔凈科技有限公司、蘇州高科凈化有限責(zé)任公司、凈微（蘇州)科技有限公司、萊特浩斯儀器(蘇州)有限公司、深圳金開(kāi)利環(huán)境科技有限公司參加起草。本部分主要起草人：吳俊民、涂光備、丁衛(wèi)敏、張利群、蔡杰、陳思源、張訓(xùn)彪、嚴(yán)勤豐、邊炳秀、郭良、徐偉

GB/T25915.3-2010/ISO14644-3:2005潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境將空氣污染物控制在合適的水平.以便完成對(duì)污染敏感的工作。航天、微電子、制藥、醫(yī)療器械、食品、醫(yī)療等行業(yè)的產(chǎn)品和工藝受益于對(duì)空氣污染的控制。GB/T25915的本部分給出了對(duì)GB/T25915其他各部分所介紹并規(guī)定的潔凈室特征進(jìn)行檢測(cè)的方法。?。罕静糠植⑽窗ㄋ袧崈羰覅?shù)的檢測(cè)規(guī)程。涉及特定產(chǎn)品和特定工藝的潔凈室和潔凈區(qū)及相關(guān)參數(shù)的檢測(cè)規(guī)程和所用儀器.在SAC/TC319編制的其他文件中討論例如,對(duì)活物質(zhì)的控制與檢測(cè)規(guī)程(GB/T25916).潔凈室功能性檢測(cè)(GB/T25915.4—2010),隔離裝置檢測(cè)（GB/T25915.7—2010)。此外，潔凈室的檢測(cè)活動(dòng)中也可以考電采用其他適用標(biāo)準(zhǔn)。GB/T25915的本部分的陳述中參照了美國(guó)材料與試驗(yàn)協(xié)會(huì)（ASTM),歐洲標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)(CEN）德國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)(DIN).美國(guó)環(huán)境科學(xué)技術(shù)學(xué)會(huì)（IEST),日本空氣潔凈協(xié)會(huì)（JACA）,日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（JIS)和國(guó)際半導(dǎo)體制造協(xié)會(huì)（SEMI）等團(tuán)體編制的標(biāo)準(zhǔn)，

GB/T25915.3-2010/IS014644-3:2005潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分：檢測(cè)方法警告一-GB/T25915的本部分的應(yīng)用可能涉及有害材料、作業(yè)和設(shè)備。GB/T25915的本部分未提及與應(yīng)用有關(guān)的所有安全性問(wèn)題。使用前·GB/T25915本部分的用戶(hù)有責(zé)任制定適當(dāng)?shù)陌踩托l(wèi)生獵施·并遵守各種強(qiáng)制性規(guī)定。1范圍GB/T25915的本部分規(guī)定了潔凈室和潔凈區(qū)空氣懸浮粒子潔凈度等級(jí)的檢測(cè)方法，以及潔凈室和潔凈區(qū)性能的檢測(cè)方法。性能檢測(cè)針對(duì)是空態(tài)、靜態(tài)和動(dòng)態(tài)3種可能的占用狀態(tài)下的單向流和非單向流型式潔凈室和潔凈區(qū)。本文件推薦了測(cè)定性能參數(shù)用檢測(cè)儀器和檢測(cè)規(guī)程。某些檢測(cè)方法受限于潔凈室或潔凈區(qū)的類(lèi)型,為此·本文件推薦了若干替代方法。為了滿(mǎn)足不同用戶(hù)的要求.對(duì)于某些檢測(cè)項(xiàng)目，本文件推薦了幾種不同的方法和儀器。若需方與供方協(xié)商同意，也可以使用本部分未介紹的其他替代方法。替代方法未必給出相同的測(cè)量結(jié)果。本部分不適用于測(cè)量潔凈室或隔離裝置內(nèi)的產(chǎn)品或工藝。2規(guī)范性引用文件下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件.僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T25915.1-2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：空氣潔凈度等級(jí)(ISO14644-1：1999，IDT）GB/T25915.2-2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第2部分：證明持續(xù)符合GB/T25915.1的檢測(cè)與監(jiān)測(cè)技術(shù)要求(ISO14644-2:2000,IDT)GB/T25915.4—2010清凈室及相關(guān)受控環(huán)境第4部分：設(shè)計(jì)、建造、啟動(dòng)（ISO14644-4:2001IDT）ISO7726：1998熱環(huán)境人體功效學(xué)物理量測(cè)量?jī)x器3術(shù)語(yǔ)和定義下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文