GB/T 31472-2015X光電子能譜中荷電控制和荷電基準(zhǔn)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)指南

ICS1722020

N26..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T31472—2015

X光電子能譜中荷電控制和

荷電基準(zhǔn)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)指南

Standardguidetochargecontrolandchargereferencing

techniquesinX-rayphotoelectronspectroscopy

2015-05-15發(fā)布2016-01-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T31472—2015

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位信息產(chǎn)業(yè)專(zhuān)用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院蘇州晶瑞化

:、、

學(xué)有限公司天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司

、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人李雨辰何秀坤劉筠劉兵李翔

:、、、、。

Ⅰ

GB/T31472—2015

引言

射線光電子能譜用于固體材料表面元素組成和元素化合態(tài)的測(cè)試與表征通過(guò)某一元素結(jié)合能

X,

的細(xì)微變化可獲得該元素化合態(tài)信息

。

對(duì)于絕緣樣品表面光激發(fā)的光電子發(fā)射會(huì)導(dǎo)致表面正電荷積累改變表面電勢(shì)因此使測(cè)得的

,X,,

光電子譜峰位向高結(jié)合能偏移表面感生電荷的數(shù)量在樣品表面的分布及其與試驗(yàn)條件的依賴(lài)關(guān)系

。、

決定于許多因素包括樣品成分樣品的均勻性表面電導(dǎo)率總光致電離截面表面形貌激發(fā)光的

,、、、、、X

特殊空間分布中和電子等荷電積累是發(fā)生在樣品表面和材料內(nèi)部的三維現(xiàn)象

、。。

本標(biāo)準(zhǔn)描述了各種已經(jīng)或即將用于采集和解析絕緣樣品表面的射線光電子能譜數(shù)據(jù)的荷電控

X

制與針對(duì)荷電偏移的校正方法目的是通過(guò)控制荷電積累校正由于表面充電引起的結(jié)合能飄移以得

,,,

到有意義且可重現(xiàn)的絕緣樣品的測(cè)試數(shù)據(jù)

。

Ⅱ

GB/T31472—2015

X光電子能譜中荷電控制和

荷電基準(zhǔn)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)指南

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了射線光電子能譜的荷電控制和荷電基準(zhǔn)技術(shù)

X(XPS)。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于荷電控制和荷電定位技術(shù)不適用于其他電子激發(fā)系統(tǒng)

XPS,。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學(xué)分析詞匯

GB/T22461—2008(ISO18115:2001,IDT)

表面化學(xué)分析射線光電子能譜儀能量標(biāo)尺的校準(zhǔn)

GB/T22571—2008X

俄歇電子能譜術(shù)和射線光電子能譜術(shù)的樣品處理標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)則

SJ/T10458—1993X

3術(shù)語(yǔ)和定義

界定的術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

GB/T22461—2008。

4符號(hào)和縮略語(yǔ)

下列符號(hào)和縮略語(yǔ)適用于本文件

。

BE結(jié)合能單位為電子伏

———,(eV);

BE校準(zhǔn)后結(jié)合能單位為電子伏

corr———,(eV);

BE測(cè)量結(jié)合能單位為電子伏

meas———,(eV);

BE參考結(jié)合能單位為電子伏

ref———,(eV);

BE參考線的標(biāo)準(zhǔn)結(jié)合能單位為電子伏

meas,ref———,(eV);

譜峰在背底以上半高峰寬單位為電子伏

FWHM———,(eV);

Δ荷電校正時(shí)與測(cè)得的結(jié)合能相加的校準(zhǔn)能量值單位為電子伏

corr———,(eV)。

5儀器

51實(shí)際的譜儀可能應(yīng)用了本標(biāo)準(zhǔn)中涉及的一個(gè)或多個(gè)荷電補(bǔ)償技術(shù)在儀器操作過(guò)程中應(yīng)遵

.XPS。

循廠家提供的手冊(cè)和其他說(shuō)明文件進(jìn)行

。

52荷電控制需要特殊的儀器附件如電子中和槍或沉積物蒸發(fā)源

.,。

53特定樣品裝備程序例如將樣品安裝在細(xì)金屬網(wǎng)眼下[5