標(biāo)準(zhǔn)解讀

《JJG 77-2006 干涉顯微鏡》與《JJG 77-1983》相比，在多個(gè)方面進(jìn)行了更新和改進(jìn)，以適應(yīng)技術(shù)進(jìn)步和實(shí)際應(yīng)用需求的變化。主要變化包括但不限于：

  1. 適用范圍的擴(kuò)展：新標(biāo)準(zhǔn)不僅適用于傳統(tǒng)的光學(xué)干涉顯微鏡，還涵蓋了基于數(shù)字處理技術(shù)的新一代干涉顯微鏡系統(tǒng)，這反映了近年來(lái)干涉測(cè)量技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。

  2. 術(shù)語(yǔ)定義的更新：隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，《JJG 77-2006》對(duì)部分專(zhuān)業(yè)術(shù)語(yǔ)進(jìn)行了重新定義或增加了新的定義項(xiàng)，旨在更加準(zhǔn)確地描述相關(guān)概念和技術(shù)特點(diǎn)，確保行業(yè)內(nèi)交流的一致性和準(zhǔn)確性。

  3. 技術(shù)要求及檢驗(yàn)方法的調(diào)整：針對(duì)不同類(lèi)型的干涉顯微鏡，《JJG 77-2006》提出了更為詳細(xì)的技術(shù)指標(biāo)要求，并且對(duì)于如何進(jìn)行這些指標(biāo)的檢測(cè)給出了具體指導(dǎo)。比如，增加了對(duì)非接觸式三維形貌測(cè)量系統(tǒng)的性能評(píng)價(jià)內(nèi)容，以及相應(yīng)的測(cè)試條件、步驟等。

  4. 增加了安全性和環(huán)境保護(hù)方面的要求：考慮到設(shè)備使用過(guò)程中可能涉及到的安全問(wèn)題以及對(duì)環(huán)境的影響，《JJG 77-2006》特別強(qiáng)調(diào)了產(chǎn)品設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)考慮的人體工程學(xué)因素、電磁兼容性等安全性要求；同時(shí)，也提到了關(guān)于廢棄電子產(chǎn)品回收處理的相關(guān)規(guī)定。

  5. 附錄信息的補(bǔ)充：為了更好地幫助使用者理解和執(zhí)行該標(biāo)準(zhǔn)，《JJG 77-2006》在附錄中提供了更多實(shí)用性的參考資料，如典型應(yīng)用案例分析、常見(jiàn)故障排除指南等，增強(qiáng)了標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)際操作指導(dǎo)意義。


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....

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  • 現(xiàn)行
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  • 2006-05-23 頒布
  • 2006-11-23 實(shí)施
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JJG 77-2006干涉顯微鏡_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量檢定規(guī)程

JJG77—2006

干涉顯微鏡

InterferenceMicroscopes

2006-05-23發(fā)布2006-11-23實(shí)施

國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

JJG77—2006

干涉顯微鏡檢定規(guī)程??

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?JJG77—2006?

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VerificationRegulationof?代替JJG77—1983?

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InterferenceMicroscopes

本規(guī)程經(jīng)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局年月日批準(zhǔn)并自

2006523,

年月日起施行

20061123。

歸口單位:全國(guó)幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

起草單位:中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

本規(guī)程委托全國(guó)幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋

JJG77—2006

本規(guī)程主要起草人:

杜華中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

高思田中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

參加起草人:

趙有祥中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

朱小平中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

JJG77—2006

目錄

范圍……………………

1(1)

引用文獻(xiàn)………………

2(1)

概述……………………

3(1)

計(jì)量性能要求…………

4(3)

干涉濾光片的特性…………………

4.1(3)

測(cè)微鼓輪微分筒刻線(xiàn)錐面的內(nèi)棱邊與固定套管刻線(xiàn)面之間的距離……………

4.2(3)

測(cè)微目鏡十字線(xiàn)分劃板的指標(biāo)線(xiàn)與毫米分劃板刻線(xiàn)的相對(duì)位置………………

4.3(3)

測(cè)微目鏡測(cè)微鼓輪刻線(xiàn)與毫米分劃板刻線(xiàn)的相符性……………

4.4(3)

測(cè)微目鏡的示值誤差………………

4.5(3)

光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量…………………

4.6(3)

工作臺(tái)與主光軸的相互位置………

4.7(4)

輔助成像裝置的特性………………

4.8(4)

儀器的示值誤差……………………

4.9(4)

通用技術(shù)要求…………

5(4)

計(jì)量器具控制…………

6(5)

檢定條件……………

6.1(5)

檢定項(xiàng)目……………

6.2(6)

檢定方法……………

6.3(6)

檢定結(jié)果的處理……………………

6.4(10)

檢定周期……………

6.5(10)

附錄干涉顯微鏡示值誤差檢定結(jié)果的不確定度評(píng)定……………

A(11)

附錄檢定證書(shū)和檢定結(jié)果通知書(shū)內(nèi)頁(yè)格式…………………

B()(16)

JJG77—2006

干涉顯微鏡檢定規(guī)程

1范圍

本規(guī)程適用于雙光束干涉顯微鏡的首次檢定后續(xù)檢定和使用中檢驗(yàn)

、。

2引用文獻(xiàn)

本規(guī)程引用下列文獻(xiàn)

:

通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義

JJF1001—1998

測(cè)量不確定度評(píng)定與表示

JJF1059—1999

測(cè)量?jī)x器特性評(píng)定技術(shù)規(guī)范

JJF1094—2002

干涉濾光片檢定規(guī)程

JJG812—1993

使用本規(guī)程時(shí)應(yīng)注意使用上述引用文獻(xiàn)的現(xiàn)行有效版本

,。

3概述

干涉顯微鏡由干涉和顯微系統(tǒng)組成利用光波干涉原理來(lái)測(cè)量表面粗糙度參數(shù)它

,。

是以范圍為的光波波長(zhǎng)為標(biāo)尺將被測(cè)表面與標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)鏡面相比較

(530~600)nm,,

再經(jīng)顯微系統(tǒng)高倍放大后來(lái)觀察和測(cè)量被測(cè)表面的微觀幾何形狀特性雙光束干涉顯

,。

微鏡主要用于表面粗糙度評(píng)定參數(shù)Rz的測(cè)量該儀器可用來(lái)測(cè)量精密加工零件的表面

。

如平面圓柱面等外表面也可用來(lái)測(cè)量零件表面刻線(xiàn)鍍層等深度目前常用的儀器

、,

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