硅片生產(chǎn)培訓(xùn)課件

太陽能多晶硅片生產(chǎn)培訓(xùn)Contents太陽能光伏行業(yè)簡介1多晶硅片的定位2多晶硅片生產(chǎn)工藝流程3工藝圖片流程4

太陽能光伏行業(yè)簡介太陽能電池產(chǎn)業(yè)是近幾年發(fā)展最快的產(chǎn)業(yè)之一，最近5年來以超過40%的速度高速增長。在各種類型的太陽能電池中，晶體硅太陽能電池由于其轉(zhuǎn)換效率高，技術(shù)成熟而繼續(xù)保持領(lǐng)先地位，占據(jù)了90%以上的份額，預(yù)計今后十年內(nèi)晶體硅仍將占主導(dǎo)地位。太陽能電池產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，帶動硅錠/硅片的需求也大增。隨著市場需求的增長，涌現(xiàn)了很多硅片生產(chǎn)企業(yè)，特別是多晶硅硅錠的生產(chǎn)向大規(guī)?；l(fā)展，單廠生產(chǎn)能力已達到百兆瓦級。多晶硅錠/片生產(chǎn)工藝成熟，生產(chǎn)設(shè)備主要從國外引進（美國GTSOLAR，德國ALD，瑞士HCT、M&B等）。

單/多晶硅片簡介單晶硅片用單晶硅片生產(chǎn)的電池片具有電池轉(zhuǎn)換效率高、穩(wěn)定性好等特點，但是單晶成本較高、能耗大。多晶硅片用多晶硅片生產(chǎn)的電池片轉(zhuǎn)換效率略低于單晶硅電池，但多晶硅片成本低，生產(chǎn)效率高。從工業(yè)化發(fā)展來看，重心已由單晶向多晶方向發(fā)展。太陽能硅片多晶硅片生產(chǎn)工藝流程定向結(jié)晶多晶硅錠開方多晶硅料去頭尾磨面倒角切片硅片清洗檢測包裝多晶硅料太陽能級多晶硅純度為：99.9999%（6N）定向結(jié)晶太陽能電池硅錠的定向結(jié)晶是一個硅的提純過程，是基于雜質(zhì)的分凝效應(yīng)進行的。如下圖所示，一雜質(zhì)濃度為C0的成分，當(dāng)溫度下降至T*時，其固液界面處固相側(cè)的雜質(zhì)濃度為C*S。從多晶硅到爐內(nèi)結(jié)晶過程圖示多晶硅錠多晶硅經(jīng)過在鑄錠爐內(nèi)定向結(jié)晶，生長成為多晶硅錠。規(guī)格為：840*840*250mm（長*寬*高）

去頭尾、磨面、倒角根據(jù)工藝要求，將多晶硅方棒去頭尾、磨面、倒角去頭尾：將方棒的頭尾部分切割掉。磨面：用研磨機將方棒的四個側(cè)面拋光。倒角：用倒角機將側(cè)面拋光后的方棒的四個側(cè)楞倒成45度角。倒角示意圖處理后效果圖

切片切片：就是將長*寬為156*156mm或者125*125mm的方棒切割成厚度為180μm～220μm的硅片.原理：通過一根鋼線（典型直徑160μm）來回順序纏繞2或4個導(dǎo)輪而形成線網(wǎng)，導(dǎo)輪上刻有精密線槽，槽距決定切片的厚度。晶棒兩側(cè)的砂嘴將砂漿噴在線網(wǎng)上，導(dǎo)輪轉(zhuǎn)動線網(wǎng)將砂漿帶進晶棒里，鋼線將研磨砂緊壓在晶體表面上并往前移動，進行研磨式切割，晶棒同時慢速地被往下推過線網(wǎng)，經(jīng)過幾個小時的切割，上千的晶片便切割完成。清洗清洗分為脫膠預(yù)清洗和硅片清洗。目的是將硅片潔凈，為電池片工藝做好準(zhǔn)備。脫膠預(yù)清洗：對切割后的硅片進行脫膠剝離清洗。

清洗工藝：噴淋清洗→醋酸脫膠（四工位）→水洗（兩工位）硅片清洗：對線切后的硅片進行清洗、烘干處理。

清洗工藝：如下圖。

檢測效果圖少子壽命檢測效果圖電阻率