碳化硅器件研發(fā)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表

PAGE1西企科環(huán)境技術(shù)評(píng)價(jià)證書類別：乙級(jí)環(huán)評(píng)報(bào)告－2023評(píng)價(jià)證書編號(hào)：第3604號(hào)西安派瑞功率半導(dǎo)體變流技術(shù)股份特大功率電力半導(dǎo)體器件性能產(chǎn)能提升和碳化硅器件研發(fā)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表（送審稿）李陜西企科環(huán)向境技術(shù)有限范公司勸二姥○刊一六年飛十一罷月落三東十日丙建設(shè)項(xiàng)目環(huán)俯境影響報(bào)告好表舌項(xiàng)鴿舅目星井名種涉稱：汽特大功率電袍力半導(dǎo)體器咐件性能產(chǎn)能駐提升兼末撕說(shuō)漿依和碳化白硅器件研發(fā)鞋項(xiàng)目總建設(shè)單位之(蕩蓋章孫)私：懶西安派瑞功掏率半導(dǎo)體變屈流技術(shù)股份藍(lán)巡部編制日期：列2023純年孩11畏月街30裳日障國(guó)家環(huán)境保愚護(hù)總局制渠《建設(shè)項(xiàng)目圾環(huán)境影響報(bào)蘋告表》編制陡說(shuō)明躁《建設(shè)項(xiàng)目民環(huán)境影響報(bào)亞告表》由具雁有從事環(huán)境頑影響評(píng)價(jià)工鏈作資質(zhì)的單源位編制。選1齒、項(xiàng)目名稱質(zhì)——變指項(xiàng)目立項(xiàng)泄批復(fù)時(shí)的名叛稱，應(yīng)不超拒過(guò)怪30今個(gè)字（兩個(gè)板英文字段作祥一個(gè)漢字）逗。昌2廁、建設(shè)地點(diǎn)康——講指項(xiàng)目所在舉地詳細(xì)地址獄，公路、鐵刑路應(yīng)填寫起欠止地點(diǎn)。禽3旨、行業(yè)類別辨——暈按國(guó)標(biāo)填寫欣。宗4罪、總投資養(yǎng)——發(fā)指項(xiàng)目投資田總額。朋5艙、主要環(huán)境布保護(hù)目標(biāo)慨——婦指項(xiàng)目區(qū)周煉圍一定范圍螞內(nèi)集中居民醫(yī)住宅區(qū)、學(xué)乘校、醫(yī)院、印保護(hù)文物、死風(fēng)景名勝區(qū)艱、水源地和哈生態(tài)敏感點(diǎn)針等，應(yīng)盡可漏能給出保護(hù)女目標(biāo)、性質(zhì)棗、規(guī)模和距世廠界距離等皆。估6交、結(jié)論與建比議帆——棄給出本項(xiàng)目碧清潔生產(chǎn)、衡達(dá)標(biāo)排放和類總量控制的干分析結(jié)論，外確定污染防苗治措施的有殼效性，說(shuō)明仿本項(xiàng)目對(duì)環(huán)據(jù)境造成的影蹈響，給出建倒設(shè)項(xiàng)目環(huán)境謊可行性的明椅確結(jié)論。同為時(shí)提出減少貨環(huán)境影響的徹其他建議。醒7帶、預(yù)審意見(jiàn)考——至由行業(yè)主管混部門填寫答吵復(fù)意見(jiàn)，無(wú)慮主管部門項(xiàng)績(jī)目，可不填心。沙8怕、審批意見(jiàn)長(zhǎng)——秘由負(fù)責(zé)審批達(dá)該項(xiàng)目的環(huán)缸境保護(hù)行政川主管部門批繳復(fù)。PAGE鏈項(xiàng)目名稱：弄特大功率電抽力半導(dǎo)體器素件性能產(chǎn)能醋提升和碳化盲硅器件研發(fā)索項(xiàng)目墊文件類型：仇環(huán)境影響報(bào)勒告表遭倘鬼唯犧嚷感適用的評(píng)價(jià)界范圍：個(gè)一般項(xiàng)目環(huán)洽境影響報(bào)告棟表筆進(jìn)權(quán)段法定代表人漂：摧王曉平概鉛抵殲字麗（簽章）娃主持編制機(jī)竟構(gòu)：菜陜西企科環(huán)花境技術(shù)有限留公司駱爆（簽章）線西安派瑞功頁(yè)率半導(dǎo)體變嗚流技術(shù)股份悲斤特大功率電顏力半導(dǎo)體器證件性能產(chǎn)能訂提升和碳化焰硅器件研發(fā)俱項(xiàng)目屈環(huán)境影響報(bào)泄告表編制人山員名單表踩編制慘主持人挨姓名取職（執(zhí)）業(yè)嘆資格證書編裳號(hào)遵登記（注冊(cè)過(guò)證）編號(hào)咱專業(yè)類別服本人簽名淘韓燁耕00015跌339芝B3604嗽02810鞏00泡社會(huì)服務(wù)毒主要編制人孝員情況嘗序號(hào)雙姓名歇職（執(zhí)）業(yè)悶資格證書編讀號(hào)呀登記（注冊(cè)乏證）編號(hào)沫編制內(nèi)容頁(yè)本人簽名慧1昌韓燁塘00015泰339恰B3604蝕02810敘00納項(xiàng)目基本情格況、評(píng)價(jià)適鉗用標(biāo)準(zhǔn)、工巖程分析、自邁然環(huán)境社會(huì)崇環(huán)境簡(jiǎn)況、戴環(huán)境影響分呆析禁2服李珊珊計(jì)0001貍5340行B3604有02703略00岸防治措施及竭預(yù)期治理效載果、環(huán)境質(zhì)猾量狀況、結(jié)怠論及建議PAGE16鴉建設(shè)項(xiàng)目基牢本情況鍬建設(shè)項(xiàng)目所竄在地自然環(huán)暖境社會(huì)環(huán)境常簡(jiǎn)況石自然環(huán)境簡(jiǎn)逼況(地形、早地貌、地質(zhì)累、氣候、氣露象、水文、迅植被、生物貿(mào)多樣性等)件：責(zé)一、地形地低貌變項(xiàng)目所在地罵周圍地勢(shì)開(kāi)紐闊平坦，起恭伏較小，地育貌單元屬于筋皂河二級(jí)階臘地。地面標(biāo)固高約199最.55-1提99.72獻(xiàn)m。境二、氣候氣弟象絮西安市位于覽關(guān)中平原中躍部，屬溫暖召帶半濕潤(rùn)半蝶干旱季風(fēng)氣劣候，大陸性躍氣候明顯。撈其主要特征懼是四季分明設(shè)，冬夏兩季逝長(zhǎng)，春秋兩想季短；春季吸氣溫升降急竊劇，多有干降旱和陣性大犁風(fēng)；夏季炎更熱多雨，冬記季寒冷干燥蝴，氣溫低，昂降雨少。年皺平均氣溫1武3.3℃，丙極端最低氣爭(zhēng)溫-20.念6℃，極端總最高氣溫4攔1.7℃?；槟昶骄L(fēng)速匆為1.7m羨/s。嘆平均降雨量基604mm體，分布不均傍，有50%蕉集中于7-灘9月份。最購(gòu)大積雪深度曉22cm，歇年平均氣壓霧97030飯Pa。閉常年主導(dǎo)風(fēng)烏向?yàn)闁|北風(fēng)煉，全年平均旦東北風(fēng)和偏偶東風(fēng)頻率為患40%；次洪主導(dǎo)風(fēng)向?yàn)橹蔽髂巷L(fēng)，頻博率為9%；網(wǎng)靜風(fēng)頻率為掠29%。全莫年常年出現(xiàn)甜厚度為30鬧0-400玻m的逆溫，夸最厚達(dá)52誤0m，冬季里更為突出。起三、水文跳建設(shè)地處于喜皂河的二級(jí)坊階地上，高明于一級(jí)階地挺3—5m，反地面寬闊平能整，起伏不盟大。地層自唯上而下依次纖為人工填土抹、第四系全撤新統(tǒng)殘積黑葬壚土、上更葉新統(tǒng)風(fēng)積黃剖土、殘積古倡土壤及沖擊襯粉質(zhì)黏土及據(jù)砂類土，厚席30-40滿m，含水層偵主要是上更汪新統(tǒng)沖洪積罩層、湖積物自（中細(xì)沙及構(gòu)亞粘土）構(gòu)嫩成，富水性歸強(qiáng)，透水性攏好，水質(zhì)較天好，水質(zhì)化測(cè)學(xué)類型屬低里礦化度HC清O腸3終-歡—Ca鞋2+鉤—Na負(fù)+遙型水。地下悉承壓水含水趴層埋深10稀0-380霧m，主要有勉中、下更新史統(tǒng)沖洪積粘卸土，沖湖積易粉質(zhì)粘土和殃砂礫石層呈暈不等厚互層輕構(gòu)成，水質(zhì)腸較好。樂(lè)四、植被肥項(xiàng)目建設(shè)地判為城市建成挑區(qū)，周圍植商物多為人工幸綠化植物，垮有楊、柳、朝桐、槐等。毒社會(huì)環(huán)境簡(jiǎn)桐況(社會(huì)經(jīng)脂濟(jì)結(jié)構(gòu)、教釀?dòng)?、文化、豈文物保護(hù)等寶)：少該項(xiàng)目位于站西安高新技吸術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)釋區(qū)新區(qū)內(nèi)，仁屬于高新區(qū)孟的二次創(chuàng)業(yè)擁的起步區(qū)規(guī)流劃范圍，區(qū)老域交通、水勁、電、氣等雷基礎(chǔ)設(shè)施和逮配套設(shè)施已羽基本完善，丘交通便利、挨環(huán)境優(yōu)美。債西安是我國(guó)證內(nèi)陸對(duì)外開(kāi)誘放城市，是帳承東啟西、訪連接南北的夠地理中心和萌東西交通大范動(dòng)脈和新歐而亞大陸橋的疑樞紐，享受攝沿海開(kāi)發(fā)城鵲市和西部開(kāi)尸發(fā)的各項(xiàng)優(yōu)群惠政策。西駝安高新技術(shù)清產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)泡位于西安市罷南郊科研、漠文教區(qū)，始隔建于198他8年，19楊91年3月筋被國(guó)務(wù)院批紗準(zhǔn)為國(guó)家級(jí)搭高新技術(shù)產(chǎn)崖業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)。跑園區(qū)緊鄰市拍內(nèi)交通干道度二環(huán)路，距鑒西安咸陽(yáng)國(guó)肢際機(jī)場(chǎng)35悲km，距隴燙海鐵路西安系客運(yùn)站僅十冬幾公里，距桃市中心5k孝m。經(jīng)過(guò)十艇幾年的發(fā)展螺，園區(qū)注冊(cè)敲企業(yè)已達(dá)5吊000余家抵；園區(qū)環(huán)境怨優(yōu)美、交通悅便利、基礎(chǔ)類設(shè)施完備、閘配套設(shè)施齊玉全；現(xiàn)已建病設(shè)了六個(gè)專畝業(yè)園區(qū)、四醉個(gè)大學(xué)園區(qū)計(jì)和長(zhǎng)安科技錄產(chǎn)業(yè)示范基拿地，形成了擠“十園一基構(gòu)地”的發(fā)展笨格局；在產(chǎn)蜂業(yè)實(shí)力、經(jīng)搭濟(jì)規(guī)模、體平制創(chuàng)新、科充技成果轉(zhuǎn)化宵、園區(qū)建設(shè)慌以及對(duì)外形浪象等方面，兼位居我國(guó)5翅3個(gè)國(guó)家級(jí)往高新區(qū)前三體位，是國(guó)家?guī)浭着鷾?zhǔn)的客亞太經(jīng)濟(jì)合崇作組織（A檢PEC）特耐別開(kāi)放的科不技園區(qū)。1叛994年以災(zāi)來(lái)，多次被線評(píng)為全國(guó)先鞋進(jìn)高新區(qū)，營(yíng)并于199軋7年經(jīng)國(guó)務(wù)富院批準(zhǔn)率先觸加入了AP欄EC科技工優(yōu)業(yè)園區(qū)組織各網(wǎng)絡(luò)；20瘡01年西安鏡高新區(qū)被科傘技部列為“蔑十五”期間旺重點(diǎn)建設(shè)的競(jìng)五個(gè)國(guó)家示識(shí)范高新區(qū)之蔽一；200汽2年12月尸，西安高新相區(qū)被聯(lián)合國(guó)城工業(yè)發(fā)展組窯織考察認(rèn)定磚為六個(gè)“中腎國(guó)最具活力暈的城市和地旱區(qū)”之一，影2003年外12月，西珍安高新區(qū)被芒評(píng)為“中國(guó)哲50家投資凈環(huán)境誠(chéng)信安喊全區(qū)”。2巖004年2萄月，西安高易新區(qū)通過(guò)了多國(guó)家環(huán)?？偯杈帧⒖萍疾磕豂SO14異000國(guó)家絲示范區(qū)現(xiàn)場(chǎng)況驗(yàn)收，成為瀉我國(guó)西部創(chuàng)司建的第一個(gè)翠ISO14辯000國(guó)家儉示范區(qū)。勁西安高新區(qū)把緊鄰西安市捕南郊科技文示化區(qū)，已建丑成為一個(gè)基車礎(chǔ)設(shè)施不斷倚優(yōu)化，配套親功能日益完騎善、軟硬環(huán)怨境優(yōu)良的高亭科技產(chǎn)業(yè)園節(jié)區(qū)，也是我膠國(guó)中西部地?zé)魠^(qū)最具國(guó)際商化、市場(chǎng)化標(biāo)、人文化、漏生態(tài)化的區(qū)跑域。到20伶04年年底設(shè)已完成一期豈、二期、新畏型工業(yè)園的治開(kāi)發(fā)及新區(qū)采的配套基礎(chǔ)瓦工程建設(shè)。尿擁有高標(biāo)準(zhǔn)桿的路網(wǎng)、通庫(kù)訊、水、電謠、氣、暖等抓公用設(shè)施，槳有全市一流虎的中學(xué)、小慨學(xué)、幼兒園踢，綠化覆蓋貫率40.1關(guān)％，人均綠貝化面積達(dá)到滑23.3m雁2雙。嘆項(xiàng)目建設(shè)地漿位于高新新扭區(qū)中部，區(qū)容域基礎(chǔ)設(shè)施巧和配套設(shè)施界基本完善。迅該項(xiàng)目位于欣西安高新技萌術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)屑區(qū)新區(qū)內(nèi)，啦緊鄰丈八三側(cè)路，處于高步新新區(qū)的中史心地帶。高鑼新新區(qū)是西刮安高新區(qū)的阻三期規(guī)劃區(qū)逝，也是開(kāi)發(fā)緊區(qū)的二次創(chuàng)亞業(yè)規(guī)劃區(qū)，陵規(guī)劃面積7合8.4km湯2策。目前已有懂百余家企業(yè)呈與開(kāi)發(fā)區(qū)簽好訂了投資意宵向，包括陜擁西金葉在內(nèi)標(biāo)的第一批入考區(qū)企業(yè)已進(jìn)灣入了項(xiàng)目實(shí)博施階段。三攔期規(guī)劃區(qū)的聽(tīng)交通、水、挖電、氣等基莫礎(chǔ)設(shè)施和配意套設(shè)施的建糟設(shè)也已全面喝落實(shí)，一個(gè)屆環(huán)境優(yōu)美、尖交通便利、可基礎(chǔ)設(shè)施完富備、配套設(shè)稍施齊全的高檢新新區(qū)（三魚期規(guī)劃區(qū)）立已經(jīng)初具規(guī)搬模。肉項(xiàng)目影響范引圍內(nèi)目前尚葬未發(fā)現(xiàn)需特辮殊保護(hù)的文合物古跡、風(fēng)去景名勝等環(huán)蘆境敏感點(diǎn)。無(wú)環(huán)境質(zhì)量狀瓣況腳建設(shè)項(xiàng)目所吸在地區(qū)域環(huán)溜境質(zhì)量現(xiàn)狀那及主要環(huán)境綠問(wèn)題(環(huán)境齊空氣、地表閃水、地下水就、聲環(huán)境等訴)消1、環(huán)境空躁氣質(zhì)量現(xiàn)狀仔2023年妄9月14日探~9月23峰日，西安普?qǐng)龌莪h(huán)境檢測(cè)眨技術(shù)有限公揪司對(duì)項(xiàng)目現(xiàn)尊有工程所在親地進(jìn)行環(huán)境尼監(jiān)測(cè)泳。監(jiān)測(cè)項(xiàng)目魯為PM蜓10旨、SO薯2殘、NO縮2款，監(jiān)測(cè)時(shí)間甚為連續(xù)監(jiān)測(cè)樸七天，監(jiān)測(cè)店結(jié)果見(jiàn)表叼8行、珠9壇，監(jiān)測(cè)點(diǎn)位唇見(jiàn)監(jiān)測(cè)報(bào)告怪（普惠檢（觀綜）字（2初016）第臨336號(hào)）粱。纏表廈8叉1小累時(shí)均值統(tǒng)計(jì)烤結(jié)果監(jiān)測(cè)項(xiàng)目評(píng)價(jià)項(xiàng)目SO2NO2濃度范圍（μg/m3）21~3726~51超標(biāo)率（％）00最大超標(biāo)倍數(shù)00GB3095-2023《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)（μg/m3）500200壺表涂9不24小時(shí)均漠值統(tǒng)計(jì)結(jié)果監(jiān)測(cè)項(xiàng)目評(píng)價(jià)項(xiàng)目SO2NO2PM10濃度范圍（μg/m3）25~2836~3994~108超標(biāo)率（％）000最大超標(biāo)倍數(shù)000GB3095-2023《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)（μg/m3）15080150蜜由監(jiān)測(cè)統(tǒng)計(jì)細(xì)結(jié)果可以看耐出，監(jiān)測(cè)期增間項(xiàng)目所在悲區(qū)域環(huán)境空吳氣中SO雜2穩(wěn)、NO器2鮮小時(shí)值、2象4小時(shí)均值奧，PM性10浩24小時(shí)均爽值符合GB溜3095-撲2023《腹環(huán)境空氣質(zhì)壞量標(biāo)準(zhǔn)》中葛二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。假2023年矛9月21日吼~9月23墨日，西安普惠惠環(huán)境檢測(cè)圈技術(shù)有限公街司對(duì)項(xiàng)目現(xiàn)丙有工程所在膜地進(jìn)行環(huán)境故監(jiān)測(cè)。監(jiān)測(cè)拋?lái)?xiàng)目為氯化階氫、硫酸霧分、氨氣、氟殼化物、非甲瘋烷總烴，監(jiān)騾測(cè)時(shí)間為連頑續(xù)監(jiān)測(cè)三天內(nèi)，監(jiān)測(cè)結(jié)果衡見(jiàn)表艱10話，監(jiān)測(cè)點(diǎn)位婆見(jiàn)監(jiān)測(cè)報(bào)告翻（普惠檢（擦綜）字（2蛾016）第圓336號(hào)）耐。駝表靠10壤1小聯(lián)時(shí)均值統(tǒng)計(jì)濃結(jié)果監(jiān)測(cè)項(xiàng)目評(píng)價(jià)項(xiàng)目氯化氫硫酸霧氨氣氟化物非甲烷總烴濃度范圍（μg/m3）ND(0.003)0.01~0.0170.052~0.079ND(6×10-2)0.288~0.409超標(biāo)率（％）00000最大超標(biāo)倍數(shù)00000TJ36-79《工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》（μg/m3）0.050.300.200.02/標(biāo)由監(jiān)測(cè)統(tǒng)計(jì)霜結(jié)果可以看傷出，監(jiān)測(cè)期椅間項(xiàng)目所在春區(qū)域環(huán)境空殼氣中氯化氫應(yīng)、硫酸霧、丟氨氣、氟化布物和非甲烷辟總烴1小時(shí)莖均值均符合危TJ36-奴79《工業(yè)圈企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)較生標(biāo)準(zhǔn)》。揚(yáng)2、聲環(huán)境堂質(zhì)量現(xiàn)狀澤2023年叉9月14日宴，西安普惠徹環(huán)境檢測(cè)技景術(shù)才在項(xiàng)目地東言、南、西、桌北廠界及南紫側(cè)逸翠園住斯宅小區(qū)內(nèi)，所各布設(shè)1個(gè)紐監(jiān)測(cè)點(diǎn)位，概共布設(shè)5個(gè)歇監(jiān)測(cè)點(diǎn)位（司白天企業(yè)正鍋常進(jìn)行生產(chǎn)軟的情況下監(jiān)有測(cè)），監(jiān)測(cè)東項(xiàng)目為等效澡連續(xù)A聲級(jí)海，晝、夜各錘監(jiān)測(cè)一次，木監(jiān)測(cè)1天，跳監(jiān)測(cè)結(jié)果見(jiàn)毫表酸1奧1寄。監(jiān)測(cè)點(diǎn)位考見(jiàn)監(jiān)測(cè)報(bào)告咐（普惠檢（濟(jì)綜）字（2科016）第捏047號(hào)）反。腎表咐1辱1束項(xiàng)目環(huán)境噪煌聲監(jiān)測(cè)結(jié)果牽統(tǒng)計(jì)表單位屈：dB(A湊)監(jiān)測(cè)點(diǎn)位2類標(biāo)準(zhǔn)晝間夜間晝間夜間1#（項(xiàng)目所在地東廠界）51.443.260502#（項(xiàng)目所在地南廠界）60.349.83#（項(xiàng)目所在地西廠界）62.548.74#（項(xiàng)目所在地北廠界）54.945.2逸翠園小區(qū)53.242.66050赤監(jiān)測(cè)結(jié)果表皮明：監(jiān)測(cè)期更間項(xiàng)目東、特北廠界晝間怠、夜間噪聲顆滿足GB1覽2348-小2023《走聲環(huán)境質(zhì)量輕標(biāo)準(zhǔn)》中2扣類標(biāo)準(zhǔn)，西傅、南廠界由趴于緊挨丈八美三路和錦業(yè)匪二路，晝間緒因車輛較多皮有所超標(biāo)，何夜間噪聲滿衣足GB12嗚348-2原008《聲烘環(huán)境質(zhì)量標(biāo)座準(zhǔn)》中2類犬標(biāo)準(zhǔn)；逸翠啄園小區(qū)晝間故、夜間噪聲捕滿足GB3廢096-2樸008《聲收環(huán)境質(zhì)量標(biāo)負(fù)準(zhǔn)》中2類怪標(biāo)準(zhǔn)。革3、地下水音環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)惕狀眉2023年傷9月14日限西安普惠環(huán)亡境檢測(cè)技術(shù)脆對(duì)揭地下水進(jìn)行初了監(jiān)測(cè)（普番惠檢（綜）犬字（201變5）第04粉7號(hào)），監(jiān)問(wèn)測(cè)結(jié)果見(jiàn)下劃表。祥表1列2些地下水監(jiān)測(cè)向結(jié)果項(xiàng)目點(diǎn)位2023年9月5日單位標(biāo)準(zhǔn)值項(xiàng)目地上游（袁旗寨新村）項(xiàng)目地附近（傅村）項(xiàng)目地下游（逸翠園小區(qū)）K+0.7740.7520.768mg/L/Na+7.127.157.08mg/L/Ca2+59.358.759.1mg/L/Mg2+10.69.789.94mg/L/Cl-6.566.246.51mg/L/SO42-15.115.115.3mg/L/pH7.587.627.59/6.5~8.5氨氮0.1360.1480.162mg/L≤0.2硝酸鹽2.261.751.78mg/L≤20亞硝酸鹽ND（0.001）ND（0.001）ND（0.001）mg/L≤0.02揮發(fā)性酚類ND（0.002）ND（0.002）ND（0.002）mg/L≤0.002氰化物ND（0.002）ND（0.002）ND（0.002）mg/L≤0.05砷ND（1.0）ND（1.0）ND（1.0）/L≤0.05汞ND（1.0）ND（1.0）ND（1.0）/L≤0.001鉻(六價(jià))ND(0.004)ND(0.004)ND(0.004)mg/L≤0.05總硬度98112108mg/L≤550鉛ND(2.5)ND(2.5)ND(2.5)/L≤0.05氟化物0.5430.8770.818mg/L≤1.0鎘ND(0.5)ND(0.5)ND(0.5)μg/L≤0.01鐵ND（0.1）ND（0.1）ND（0.1）mg/L≤0.3錳ND（0.1）ND（0.1）ND（0.1）mg/L≤0.1溶解性總固體372413398mg/L/高錳酸鹽指數(shù)3.63.23.8mg/L≤3.0總大腸菌群未檢出2未檢出個(gè)/L≤3.0細(xì)菌總數(shù)345277個(gè)/100mL≤100備注本次監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)僅對(duì)本次采樣點(diǎn)位所采集樣品有效。貓由上表知，猜監(jiān)測(cè)期間窗項(xiàng)目地上游組、下游、項(xiàng)聞目敞所在冊(cè)地的地下水?dāng)?shù)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)兼均滿足魄老懶啦災(zāi)洋鋸打。刑4、廢水桃2023年惡8月30日它，西安高新籃區(qū)中凱環(huán)境階檢測(cè)技術(shù)有算限公司在項(xiàng)徑目現(xiàn)有工程牽所在地污水差排放口對(duì)廢如水進(jìn)行了監(jiān)駐測(cè)，監(jiān)測(cè)項(xiàng)傳目為pH、藏氟化物、化碰學(xué)需氧量、剛氨氮擠，外各監(jiān)測(cè)一次估，監(jiān)測(cè)結(jié)果飾見(jiàn)表1和3純。監(jiān)測(cè)點(diǎn)位蓮見(jiàn)監(jiān)測(cè)報(bào)告戲（愧高環(huán)監(jiān)字(齒水)201親6涂—貸HJ負(fù)—邊321饅）。尸表1嚴(yán)3撈項(xiàng)目廢水監(jiān)種測(cè)結(jié)果表天單位：mg該/L從（除艇pH駛）項(xiàng)目日期項(xiàng)目日期pH氟化物化學(xué)需氧量氨氮7.058.2214.41.35減監(jiān)測(cè)結(jié)果表側(cè)明，擁項(xiàng)目排水脫COD、氟糾化物和氨氮躍滿足唇滿足DB6館1/224掠-2023損《黃河流域淹（陜西段）蹄污水綜合排冷放標(biāo)準(zhǔn)》二北級(jí)排放標(biāo)準(zhǔn)夢(mèng)，愉pH俊滿足狀GB897倡8-199穿6《污水綜葵合排放標(biāo)準(zhǔn)碗》二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)蜜要求。墾主要環(huán)境保跳護(hù)目標(biāo)(列蹲出名單及保候護(hù)級(jí)別)：檔本項(xiàng)目位于醋西安高新區(qū)軋錦業(yè)二路1慌3號(hào)轟。珠表1走4劈主要環(huán)境保病護(hù)目標(biāo)保護(hù)對(duì)象相對(duì)方位距廠界最近距離(m)保護(hù)內(nèi)容保護(hù)目標(biāo)逸翠園小區(qū)南側(cè)60空氣環(huán)境和聲環(huán)境達(dá)到GB3095-2023《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》中二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)、GB12348-2023《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》中2類標(biāo)準(zhǔn)。西安好運(yùn)來(lái)賓館西側(cè)60逸翠-尚府北區(qū)東側(cè)160項(xiàng)目廠區(qū)所在地60m160m逸翠-尚府北區(qū)改造廠房好運(yùn)來(lái)好遠(yuǎn)；中航工業(yè)科斯特汽車維修中心電科39所沃恩SEW霍尼維爾逸翠園小區(qū)60m項(xiàng)目廠區(qū)所在地60m160m逸翠-尚府北區(qū)改造廠房好運(yùn)來(lái)好遠(yuǎn)；中航工業(yè)科斯特汽車維修中心電科39所沃恩SEW霍尼維爾逸翠園小區(qū)60m蘭圖粥2糕項(xiàng)目四鄰關(guān)視系圖脾評(píng)價(jià)適用標(biāo)場(chǎng)準(zhǔn)居環(huán)固境冶質(zhì)友量局標(biāo)犧準(zhǔn)之1、獻(xiàn)大氣缺環(huán)境驢SO寺2固、NO擱2析小時(shí)值、2桶4小時(shí)均值圾，PM俱10虧24小時(shí)均偉值象執(zhí)行GB3淋095－2誦012《環(huán)任境空氣質(zhì)量夸標(biāo)準(zhǔn)》二級(jí)盞標(biāo)準(zhǔn)萄，皇氯化氫、硫草酸霧、氨氣棕、氟化物執(zhí)駛行基TJ36-咐79《工業(yè)男企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)職生標(biāo)準(zhǔn)》；湯2、聲環(huán)境乳執(zhí)行GB3擔(dān)096－2堂008《聲仔環(huán)境質(zhì)量標(biāo)僻準(zhǔn)》2類標(biāo)附準(zhǔn)；列3、地下水壓執(zhí)行GB/舟T1484部8-93《吸地下水環(huán)境蹈質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》局Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)。床污兼染參物兵排織放蘭標(biāo)偵準(zhǔn)終1、生產(chǎn)廢昨氣執(zhí)行《大脫氣污染物綜異合排放標(biāo)準(zhǔn)?！罚℅B1賺6297－禽1996）依中的二級(jí)標(biāo)來(lái)準(zhǔn)及《惡臭像污染物排放暮標(biāo)準(zhǔn)》（G島B145唉54-9殿3）宰表2易中的相關(guān)要余求；重2、職工餐奸廳油煙排放泰執(zhí)行GB1踏8483-鏡2001《摸飲食業(yè)油煙企排放標(biāo)準(zhǔn)（妹試行）》怒中型規(guī)模標(biāo)血準(zhǔn)遍；婆3、廢水排怖放執(zhí)行《黃猶河流域（陜記西段）污水梨綜合排放標(biāo)遇準(zhǔn)》（DB始61/22賊4-201毛1）二級(jí)標(biāo)離準(zhǔn)及《污水隱綜合排放標(biāo)沖準(zhǔn)》（GB斗8978-萌1996）崇二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。宗4、廠界噪躁聲執(zhí)行《工朵業(yè)企業(yè)廠界晝環(huán)境噪聲排察放標(biāo)準(zhǔn)》（梢GB123吳48－20懲08）中2援類標(biāo)準(zhǔn)。退5、固體廢冰物執(zhí)行《一詳般工業(yè)廢棄軋物貯存、處長(zhǎng)置場(chǎng)污染控聰制標(biāo)準(zhǔn)》（接GB185須99-20冊(cè)01）及其撐修改單誤的有關(guān)規(guī)定谷。之6、危險(xiǎn)廢間物貯存污染憶物控制執(zhí)行芝《危險(xiǎn)廢物席貯存污染控分制標(biāo)準(zhǔn)》（托GB185乓79-20喇01）及其向修改單粉的相應(yīng)規(guī)定者。錄總?cè)~量偉控甜制雹指估標(biāo)階按照《全國(guó)豆主要污染物魂排放總量控日制計(jì)劃》，娛本工程絮執(zhí)行污染物獸排放總量控主制因子為C察OD萍、氨氮壞，其排放總縫量控制指標(biāo)疼采用本項(xiàng)目菠完成后治理恨后的實(shí)際排縮放量。椒表滿1舊5各總量控制指帶標(biāo)類別污染物名稱本工程t/a控制指標(biāo)污水COD0.0520.182氨氮0.0050.018災(zāi)建設(shè)項(xiàng)目工微程分析詠工藝流程簡(jiǎn)地述（圖示）姓：氨水、氫氟酸、鹽酸和純水董本項(xiàng)目對(duì)現(xiàn)細(xì)有1#建筑王晶閘管工藝茫廠房、4#硬建筑化學(xué)品阻庫(kù)、5#建王筑動(dòng)力站進(jìn)攻行技術(shù)升級(jí)匯改造，僅購(gòu)醉置設(shè)備進(jìn)行族安裝，施工掉期影響較小搬；項(xiàng)目運(yùn)營(yíng)座期各產(chǎn)品的趴工藝流程相堡似，主要包爺括硅片腐蝕更、光刻、去剃膠、擴(kuò)散、承刻蝕等工藝通，具體工藝膏流程及產(chǎn)污伴環(huán)節(jié)見(jiàn)圖找3沒(méi)。氨水、氫氟酸、鹽酸和純水硝酸、氫氟酸、冰乙酸和純水脂1.產(chǎn)品工扭藝流程圖硝酸、氫氟酸、冰乙酸和純水含氟廢水、酸性廢氣、廢酸含氟廢水、酸性廢氣、氨氣、廢酸清洗硅片腐蝕含氟廢水、酸性廢氣、廢酸含氟廢水、酸性廢氣、氨氣、廢酸清洗硅片腐蝕光刻膠、環(huán)氧乙烷、乙酸潔凈車間光刻膠、環(huán)氧乙烷、乙酸潔凈車間廢水有機(jī)廢氣、廢酸擴(kuò)散一光刻一廢水有機(jī)廢氣、廢酸擴(kuò)散一光刻一氫氟酸、氟化銨去膠腐蝕氫氟酸、氟化銨去膠腐蝕含氟廢水、酸性廢氣氨氣廢水、硫酸霧廢酸含氟廢水、酸性廢氣氨氣廢水、硫酸霧廢酸廢水、廢氣廢水、廢氣光刻二擴(kuò)散二廢水、廢氣廢水、廢氣光刻二擴(kuò)散二廢水、廢氣廢水、廢氣擴(kuò)散三刻蝕廢水、廢氣廢水、廢氣擴(kuò)散三刻蝕含氟廢氣蒸發(fā)光刻三含氟廢氣蒸發(fā)光刻三廢水、有機(jī)廢氣合金表面造型廢水、有機(jī)廢氣合金表面造型潔凈車間廢水、廢氣腐蝕潔凈車間廢水、廢氣腐蝕保護(hù)保護(hù)芯片測(cè)試芯片測(cè)試封裝封裝廢包裝材料包裝出廠元件測(cè)試廢包裝材料包裝出廠元件測(cè)試學(xué)圖將3冒項(xiàng)目運(yùn)營(yíng)期薯生產(chǎn)工藝流席程及產(chǎn)污環(huán)澡節(jié)圖梅項(xiàng)目生產(chǎn)工叔藝流程簡(jiǎn)介范：灣該項(xiàng)目生產(chǎn)捉工藝布局主御要分為8部淚分：硅片清頑洗腐蝕區(qū)、暑擴(kuò)散區(qū)、光地刻區(qū)、蒸發(fā)幫合金區(qū)、表超面造型及保賣護(hù)區(qū)、芯片曬測(cè)試區(qū)、封僑裝區(qū)、包裝折出廠區(qū)。其很中擴(kuò)散、光租刻、蒸發(fā)合壞金、表面造能型及保護(hù)等徹主要工序均頸處于潔凈廠撤房中。賣（1）硅片陰腐蝕：主要曬是使用硝酸誦、氫氟酸、噴冰乙酸和純繭水等對(duì)硅片舌進(jìn)行清洗和曾腐蝕等表面論處理；碼（2）清洗丈：清洗主要仇使用氨水、英氫氟酸、鹽聞酸和純水等抖進(jìn)行表面清稻潔處理；認(rèn)（3）擴(kuò)散賠：主要是進(jìn)撤行高溫?fù)诫s爭(zhēng)制造PN結(jié)他，三次擴(kuò)散奇摻雜各不相橫同；?。?）光刻餅：主要是制頸造圖形，來(lái)轎形成特殊的議電結(jié)構(gòu)功能嫌，三次光刻沖制造的圖形狡也不同。光祖刻主要使用蒸光刻膠、環(huán)錫氧乙烷、乙交酸等；盟（5）光刻妨后腐蝕：采門用氫氟酸、案氟化銨和純罩水等；光刻策腐蝕后去膠圓采用硫酸和臺(tái)純水等；書（6）蒸發(fā)筍：在硅片表草面上鍍一層扛金屬膜，合變金后具有良春好的歐姆接街觸。蒸發(fā)前迫清潔采用氫怪氟酸；魂（7）表面奏造型：將硅夫片表面制造失出需要的形土狀，通過(guò)腐辣蝕保護(hù)形成起具有嚴(yán)格的器電壓特性芯斯片。造型過(guò)肥程主要使用舅金剛砂、丙劑酮和純水等脫；傻（8）最后恰進(jìn)行芯片的牌測(cè)試、封裝維和包裝，即爹為成品。勉根據(jù)工藝流旬程要求，項(xiàng)有目每道工序柱表面處理所園使用的化學(xué)更品全部為單靈獨(dú)密封槽存監(jiān)儲(chǔ)，定期補(bǔ)思充。清洗采銀用浸洗方式杜，對(duì)于每種攜化學(xué)試劑槽倘均按試劑性心質(zhì)，單獨(dú)設(shè)悼置抽風(fēng)罩；絞并按照揮發(fā)封氣體的酸、判堿以及有機(jī)穩(wěn)等性質(zhì)分別宵進(jìn)行處理。撒同時(shí)要求項(xiàng)助目所有使用臟的金剛砂和刺研磨粉全部發(fā)循環(huán)使用，翁生產(chǎn)使用各羅種酸、堿及碑有機(jī)溶劑也今全部密閉循完環(huán)使用，定悉期更換，更狐換下來(lái)的廢則液全部單獨(dú)孟收集，予廢酸直接進(jìn)喉入酸堿中和站池中和，產(chǎn)膊生的沉淀物剖與廢有機(jī)溶份劑均駕密閉陰涼存面放，委托相列關(guān)單位回收族處置。梯2.碳化緣硅（SiC脈）功率器件兩碳化硅功率提器件主要以庭研發(fā)為主，廉理論模擬為讓輔的研究方祝法和技術(shù)路屈線。主要研宇究方案和技刻術(shù)路線如圖績(jī)4鏈、圖早5訴所示。蹈高溫離子注嚴(yán)入和高溫退鵝火：離子注珍入的方法就麻是在真空中查、低溫下，進(jìn)把雜質(zhì)離子浪加速，獲得受很大動(dòng)能的芝雜質(zhì)離子即匪可以直接進(jìn)挪入半導(dǎo)體材稀料中；同時(shí)丸也會(huì)在半導(dǎo)伐體中產(chǎn)生一識(shí)些晶格缺陷鎖，因此在離下子注入后需勾用低溫進(jìn)行歸退火或激光矩退火來(lái)消除昂這些缺陷。掏鈍化層的形組成：就是在艱半導(dǎo)體器件涌表面覆蓋保贏護(hù)介質(zhì)膜，隨以防止表面啟污染。遵研發(fā)實(shí)驗(yàn)室舅以研發(fā)為主蠢，主要污染爛物為員工的旦生活污水格，其他均不賄產(chǎn)污。燦圖濃4姨4H-常SiCS敘BD器件研吉究方案和技為術(shù)路線燭圖杰5趨4H-鏈SiCM免OSFET諷器件的研究暢方案和技術(shù)直路線電主要污染工任序：蝴施工期貨本項(xiàng)目使用壟原有廠房進(jìn)玉行技術(shù)升級(jí)拖改造，僅購(gòu)孫置設(shè)備安裝委，施工期影巾響較小。酬1.廢水芬主要來(lái)源于板施工人員生先活據(jù)污便水，機(jī)主要污染因牛子是COD刮、BOD芽5淺、SS、氨啞氮。麻2.廢氣菜汽車運(yùn)輸揚(yáng)利塵及尾氣。雀3.噪聲鬧設(shè)備安裝噪稿聲。案4.固體艦廢肺棄喇物嚼施工人員生弦活垃圾和廢踏棄設(shè)備包裝妻物。捏營(yíng)運(yùn)期覆1.廢水引（1）生產(chǎn)癢廢水：主要煮由以下三部將分組成。目a.元器件紗等表面清洗尖過(guò)程產(chǎn)生的竹少量穗廢寫水置，主要污染玉物為pH、基COD、氟坡化物和氨氮優(yōu)等；更b.調(diào)純水站產(chǎn)生青的堂濃水輪，主要污染膏指標(biāo)為驢SS關(guān)；某c.廢氣處亞理產(chǎn)生的酸戲堿水，主要慘污染物為p稻H、COD返、氟化物和愿氨氮等。庫(kù)（2）生活該污水：職工模生活產(chǎn)生的糖污水，主要達(dá)污染因子為牽COD、S侍S、氨氮等喘。甘2.廢氣涼（1）生產(chǎn)治廢氣：項(xiàng)目擺生產(chǎn)過(guò)程中釋產(chǎn)生的廢氣翁主要有三類蠶，分別如下泄。選a.表面畜清洗過(guò)程中華產(chǎn)生的少量檔氯化氫、氟責(zé)化物和硫酸助霧；隙b.表面預(yù)清洗過(guò)程中零產(chǎn)生的氨氣烘；撿c.表面陰處理過(guò)程中輩產(chǎn)生的有機(jī)筑廢氣非甲烷洲總烴。練（2）職工精食堂產(chǎn)生的鐘油煙廢氣。阻3.噪聲止項(xiàng)目的主要綠噪聲源是偽風(fēng)機(jī)、空調(diào)擇機(jī)組、冷卻上循環(huán)泵和真基空泵等設(shè)備筍。控4.灰固體廢嫩棄樓物旦項(xiàng)目運(yùn)行后糞，固體廢棄輸物主要有：鋼（1）廢舊鉗塑料和廢包爬裝材料等；有（2）廢腐樹(shù)蝕液、去膠桌液等各類廢船有機(jī)溶劑和綱廢酸；（3鑄）艘污水處理站傾的生物炭；春（敏4艙）膽廢機(jī)油；（所5）強(qiáng)生活垃圾。劣項(xiàng)目主要污繡染物產(chǎn)生及株預(yù)計(jì)排放情欠況菊內(nèi)容狗類型屋排放源喇（編號(hào)）醋污染物辰名稱誕濃度及產(chǎn)生瞧量盲（單位）頌排放濃度及犧排放量懸（單位）毫廢水污染物妖職工偉生活污水和虧車間生產(chǎn)廢糠水行COD途19.20薯mg/m零3劃0.070罵t/a棉14.4盡mg/m襖3仔0.解05蹲2t/a傳氨氮故2.37攀mg/m心3奶0.警009祖t/a防1.35某mg/m雖3屑0.0崖05糞t/a素氟化物殼1西3.7豎mg/m概3女0.05捷0尋t/a偏6.85扶mg/m萌3服0.0者25改t/a堪SS悲12.50菜mg/m蓄3慎0.045嬌t/a能5烈mg/m戀3未0.呈018槳t/a爆石油類萌0.16虧mg/m秋3轎0.拌001誘t/a芹0.14照mg/m驢3駛0.0淺01誼t/a軋動(dòng)植物油肅0.53罷mg/m塊3擺0.0絡(luò)02示t/a稅0.21銹mg/m迎3