薄膜制備相關(guān)流程

薄膜制備相關(guān)流程

薄膜制備相關(guān)流程一、薄膜襯底的清洗薄膜襯底的清洗特別重要,清洗是否潔凈直接影響后期樣品成膜的質(zhì)量,因此襯底清洗一點(diǎn)不能馬虎。

試驗(yàn)室用的較多的一般有兩種襯底,一種為玻璃導(dǎo)電襯底主要用于光伏討論,其透亮?????,一面導(dǎo)電,通過(guò)萬(wàn)用電表測(cè)試,在導(dǎo)電的一面進(jìn)行旋涂成膜,見(jiàn)后圖,一種為單晶襯底主要用于類的討論,可以在薄膜表面的同一面兩端鍍電極進(jìn)行相關(guān)測(cè)試。

新買襯底主要按以下流程清洗:1、依次分別用甲苯、***、乙醇、去離子水超聲清洗20分鐘,清洗溫度30-40度。

清洗完畢的襯底浸泡于無(wú)水乙醇中。

2、玻璃導(dǎo)電襯底的進(jìn)一步清洗:氨水:雙氧水:純潔水比例為1:1:5,該溶液放于表面皿將需要清洗的襯底完全浸泡,表面皿用蓋玻片掩蓋。

將其置于烤膠機(jī)上或80度熱臺(tái)上煮至不再冒氣泡位置。

煮時(shí)不能離人。

襯底的進(jìn)一步清洗:濃硫酸:雙氧水比例為3:1,溶液放于表面皿將需要清洗的襯底完全浸泡,表面皿用蓋玻片掩蓋。

將其置于烤膠機(jī)上或80度熱臺(tái)上煮至不再冒氣泡位置。

煮時(shí)不能離人。

同時(shí),該操作要當(dāng)心操作,從配溶液起反應(yīng)就比較猛烈。

3、待以上煮泡溶液不冒泡時(shí),將表面皿從熱臺(tái)取下冷卻。

襯底用去離子水清洗后存于無(wú)水乙醇中浸泡待用。

4、需使用襯底懸涂成膜時(shí),將無(wú)水乙醇中的襯底取出用無(wú)塵布擦凈即可。

二、懸涂成膜前期工作主要是查找合適的溶劑將需要成膜的樣品溶解。

一般懸涂成膜比較抱負(fù)的溶劑是,也即溶劑極性較大粘度較高為宜。

在懸涂前,需要查找一個(gè)合適的溶劑將樣品溶解。

可通過(guò)多次嘗試查找合適的溶劑:將約10毫克樣品用不同的200微升溶劑溶解,查找一個(gè)合適的溶劑。

三、勻膠機(jī)和烤膠機(jī)的使用1、在將有樣品的襯底放在勻膠機(jī)進(jìn)行懸涂前,放置空白襯底于勻膠機(jī)樣品座上,留意樣品座通過(guò)中間的氣孔將襯底吸牢,勿將溶液漏入氣孔導(dǎo)致機(jī)器損壞。

用移液槍將樣品溶液勻稱涂在襯底上。

樣品座前期處理:將用雙面膠層疊六層后粘于樣品座,用燒熱的針將氣孔戳好即可2、開(kāi)泵,按鍵開(kāi)勻膠機(jī),按勻膠機(jī)上的按鈕,將樣品吸住吸牢。

3、設(shè)置轉(zhuǎn)速和懸涂時(shí)間。

一般用右邊高速旋轉(zhuǎn)的設(shè)置較多,懸涂的速度和時(shí)間與樣品濃度與溶液粘度相關(guān)一般6000轉(zhuǎn),較稀溶液用2000-3000轉(zhuǎn),懸涂一般都大于30秒。

設(shè)置好后按,開(kāi)頭懸涂。

4、懸涂完畢,按按鈕,關(guān)泵。

將樣品從樣品座取下樣品放置均用潔凈的鑷子。

5、懸涂好的樣品平放于烤膠機(jī)上。

烤膠機(jī)為一熱臺(tái),設(shè)置溫度將樣品烤干溶劑完全揮發(fā)即可。

6、成膜是否勻稱在高倍顯微鏡下觀看拍照。

四、鐵電薄膜的電極制備襯底一面導(dǎo)電有電極,另一面需要通過(guò)濺射涂電極。

詳細(xì)操作如下:1、將濺射電極的模板用耐溫塑料膠固定在薄膜表面。

2、將模板掩蓋的材料固定在離子濺射儀的樣品座上樣品座與金靶距離約5厘米后,將離子濺射儀安裝好。

3、開(kāi)油泵,關(guān)閉針閥,抽真空至真空表不動(dòng)為止。

4、為旋旋針閥放入空氣,慢調(diào)至試驗(yàn)腔內(nèi)電流在6-8之間。

5、開(kāi)