一種基于微流體制備的電阻-電感式磨粒傳感器

一種基于微流體制備的電阻-電感式磨粒傳感器一種基于微流體制備的電阻-電感式磨粒傳感器。該傳感和電感器件結(jié)合的方式對(duì)磨粒進(jìn)行檢測(cè)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)磨損程度的精確測(cè)量。本文詳細(xì)介紹了傳感器的制備過(guò)程、原理和性能測(cè)試結(jié)果，體，電阻-電感式傳感器，磨粒，磨損檢測(cè)械設(shè)備在使用過(guò)程中不可避免的問(wèn)題，磨損嚴(yán)重會(huì)導(dǎo)致設(shè)失效，影響生產(chǎn)效率和安全。所以對(duì)磨損進(jìn)行有效的檢測(cè)和控制變得來(lái)越重要。磨粒是引起機(jī)械設(shè)備磨損的主要因素之一，因此對(duì)磨粒進(jìn)粒檢測(cè)方法主要分為兩種：光學(xué)檢測(cè)和機(jī)械檢測(cè)。光學(xué)檢是通過(guò)顯微鏡或高速攝影儀對(duì)磨損顆粒進(jìn)行觀察，但這種方法需要昂貴的設(shè)備和復(fù)雜的計(jì)算，成本較高。機(jī)械檢測(cè)方法則是基于磨擦聲、著微流體技術(shù)的發(fā)展，微流體制備的傳感器逐漸成為研的熱點(diǎn)。微流體制備的傳感器具有體積小、響應(yīng)速度快、靈敏度高等點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)復(fù)雜介質(zhì)中微小物質(zhì)的精確檢測(cè)。因此，基于微流體景。方式對(duì)磨粒進(jìn)行檢測(cè)，一種是式，另一種是電感式測(cè)量方式。在本傳感器中，電阻和電感器表面發(fā)生物理交互作用，改隨磨粒接觸面積的變化而變接觸傳感器表面時(shí)，會(huì)形成一個(gè)微小電路，電路的電阻值與磨積成反比。因此，通過(guò)測(cè)量電路的電阻值，可以得到磨粒的接傳感器表面時(shí)，會(huì)形成一個(gè)線圈電路，該線圈的電感值與磨粒表面的距離成反比。因此，通過(guò)測(cè)量線圈的電感值，可以得到在電路上部署電感線圈，并通過(guò)微影技術(shù)對(duì)電路進(jìn)行光刻，形成PDMS測(cè)試，我們對(duì)其進(jìn)行了一系列測(cè)試，并與傳統(tǒng)的感器放置于磨損顆粒堆積區(qū)域內(nèi)，通過(guò)電壓表測(cè)量傳感器的電和電感值。在測(cè)試過(guò)程中，將顆粒的大小和形狀不斷變化，記錄對(duì)。顆粒堆積區(qū)域內(nèi)，連續(xù)測(cè)試12傳感器能夠準(zhǔn)確測(cè)量磨損顆粒的大小和形狀，并給出相一種基于微流體制備的電阻-電感式磨粒傳感器，該傳感阻和電感器件結(jié)合的方式對(duì)磨粒進(jìn)行檢測(cè)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)磨損程度測(cè)量。測(cè)試結(jié)果表明，該傳感器具有很高的靈敏度和穩(wěn)定性，可們將繼續(xù)優(yōu)化傳感器的